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针对微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)惯性器件受微加工应力影响显著的问题,设计了一种推拉差分式MEMS晶圆工艺控制监控(Process Control Monitor,PCM)应力表征结构,实现了对MEMS晶圆不同位置应力的测量,避免了电学测试过程中采用晶圆探针引入额外应力的问题。建立了该应力表征结构的数值仿真模型,根据仿真结果对应力表征结构的尺寸参数进行了优化设计,并实际加工了推拉差分式MEMS晶圆应力表征结构。应力表征结构反映出实际加工的MEMS晶圆中不同位置应力大小、方向和应力分布情况。试验结果表明,MEMS晶圆整体上以拉应力为主,同时呈现一种中心挤压变形,外围拉伸变形的状态。沿(100)晶向的最大拉应力在表征结构上产生了18.9μm位移,最大压应力产生了-34.2μm位移;沿(110)晶向的最大拉应力在表征结构上产生了15.0μm位移,最大压应力产生了-57.8μm位移。 相似文献
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气体的可压缩非定常性对天然气流量计量的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
利用PIV测试技术对天然气管道内的实流流场进行了可压缩非定常性测试研究,以探究天然气的可压缩非定常特性对天然气流量计量的影响。测试结果表明:通常在充分发展的天然气湍流流动情况下,圆管流的瞬时(0.4~2.5μs)截面体积积分流量存在明显的波动,流量的相对脉动幅值保持在4%以内。这表明管道内的压力在天然气介质中是以纵向压力波形式传递的;而天然气在压力驱动下,由于其本身的可压缩特性,管道截面上的气体密度会出现疏-密相间的变化,相应的瞬间截面流量也会出现大-小相间的脉动。现场试验在测试区上游15D处加装DN100~DN50的变径管后,流场中气流的最大马赫数达到0.2,流量的相对脉动幅值明显大于常规4%的水平,气体可压缩比有明显跃增。此时气体的可压缩以及非定常特性显著,应该认真考虑其对流量精确计量的影响。 相似文献
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自动变速器液压系统设计与动态特性仿真 总被引:1,自引:0,他引:1
设计出一个全新的自动变速器液压系统.通过理论计算获得各个阀体的具体参数.采用ITI-SimulationX仿真软件建立了自动变速器液压系统动态仿真模型.对比仿真结果和理论计算结果,确定了仿真模型的正确性.对液压系统的每一个阀体元件的动态特性进行了仿真.对系统压力阀,换挡操纵机构,液力变矩器以及润滑系统作了压力和流量的动态变化分析.在实际的工业应用上,理论算法和动态仿真模型在设计中结合是切实可行的.研究结果可以作为自动变速器液压系统设计和优化的有效依据. 相似文献
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射流预冷技术可以有效降低进气温度并提高航空发动机的性能。为探究该技术在高空环境下对流场问题的影响,采用径向均匀射流方案,模拟高空条件,结合水滴的蒸发过程以及气液两相的耦合作用对预冷段射流喷水的情形进行数值计算。结果表明,径向喷射方案能够有效降低进气温度,在各个工况中,温降系数约为8%~26.7%;在高温工况中提高喷水量可以有效提高温降效果,工况6的喷水量和工作温度都是最大的,温降系数和蒸发效率分别达到了最高值的26.7%和73.9%;预冷段的压降损失和出口流场均匀度取决于来流马赫数和喷水量,高马赫数和较大的喷水量都会加剧压损与流场的紊乱程度,由于工况6的高射流量和气流马赫数,其在喷水装置处的压降系数达到了最大值的5.8%。 相似文献
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为揭示叶片或机匣旋转条件和叶顶冷却对涡轮动叶气热性能的影响机理,选用LISA 1.5级涡轮动叶片,构建叶顶冷却孔,开展了不同冷气流量下的数值模拟研究。计算结果表明:不同旋转条件下,当冷气与主流的流量比为0.3%时,叶栅能量损失最低,当流量比为1.0%时,间隙泄漏流量最低、叶顶传热性能最好。叶片旋转、机匣旋转和平移运动都能降低泄漏损失和泄漏流量,叶片旋转时,叶栅出口下游上半叶高截面的能量损失最大降低约26.10%。旋转效应对泄漏损失的影响不随流量比变化而改变,但对叶栅总损失和叶顶传热品质的影响随流量比增加会不同。当流量比小于0.3%时,叶片旋转情况下叶栅总损失低于静止工况但高于机匣运动工况,且叶顶传热品质最优;当流量比大于0.7%时,叶片旋转使叶栅总损失最高,机匣运动使叶顶传热品质最优。 相似文献
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提出了一种高效的颤振预测分析方法,将之应用于跨声速颤振边界分析及结构参数影响研究中。本方法基于频域颤振分析 V-g 方法,为气弹系统提供一定的人工阻尼使之保持简谐运动状态,从而将结构动力学方程转换到频域内。然后通过高效的谐波平衡法得到一系列简谐运动频率下的气动力描述函数矩阵,结合频域结构方程,将气弹系统的稳定性问题转化为广义特征值求解。结果表明:本方法计算得到的颤振边界与高精度的时间推进方法非常吻合,分析效率有了明显的提升,而且当结构参数发生变化后,只需进行若干次广义特征值求解即可得到新的颤振边界,无需像时间推进方法一样开展大量的气动/结构耦合数值模拟。 相似文献
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现代社会由于信息技术的飞速发展,人类获得的视觉信息很大部分是从各种各样的电子显示器件上获得的,因此,显示技术也有了很大的进步,不仅液晶显示器件本身而且关于液晶驱动控制系统也取得了很大发展。本文介绍了一种基于FPGA的液晶显示控制器的设计,主要论述了使用FPGA设计的用于本系统的特殊SDRAM控制器,以及液晶控制器通过该SDRAM控制器进行显示缓冲器的管理,STN液晶彩色屏灰度显示的时间抖动算法和帧率控制原理及实现,显示数据的缓冲、转化方法,还给出了系统硬件原理图、软件系统的vHDL描述及仿真结果等。 相似文献
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2020年中国空间科学学会成立40周年。回顾学会成立之初的种种不易,联想到了空间生命起源与进化专业委员会从成立到成长、发展的点点滴滴,总结过往,展望未来。学会的健康蓬勃发展,必将为专业委员会的发展提供良好的交流学习平台,我相信在学会的带领下,通过专业委员会委员们的共同努力,空间生命起源与进化专业委员会定会越办越好。 相似文献