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飞秒激光直写技术在复杂三维微结构加工领域具有显著优势,而调焦是否精准直接影响了所加工结构的完整度.提出了在光路中临时置入调焦光源和物的图像调焦技术,通过调节物的位置使其成像面与激光聚焦面一致,从而通过清晰可分辨的成像状态间接反映激光聚焦状态.利用Zemax软件模拟分析了原飞秒激光光路与加入调焦光源和物的调焦光路,二者可实现相同加工物镜后工作距离与良好成像质量,证明了该方法的可行性.通过分析得到该过程的成像误差主要由成像镜头焦深(3.9 μm)引起,我们获得的理想调焦精度可达到1/2焦深以内.设计了单层高度为5 μm的二层圆柱结构,通过多次实验验证了所加工元件高度误差在1.5 μm范围以内,与理论分析一致,满足飞秒激光系统的调焦要求. 相似文献
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利用YH—F2仿真机对某飞航导弹进行半实物仿真所获得的结果以及银河仿真机Ⅱ型(YH—F2)的软件系统YFSIM的功能、特点和应用情况,作了介绍。 相似文献
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FM/ FM遥测体制有着广泛的应用 ,研究数字式 FM/ FM解调系统具有重要意义。分路滤波器 (通常是带通滤波器 )是解调系统的重要组成部分 ,有限冲激响应 (FIR)数字滤波器具有平坦的通带幅度响应和线性相位特性 ,是数字式解调系统的最佳选择。但是 ,符合 IRIG标准的分路滤波器通常是窄带滤波器 ,需要很高的阶数 ,这给系统的实现带来了很大的困难。文中根据变采样率多级实现 FIR滤波器的原理和带通信号采样定理 ,并结合 FM/ FM系统 IRIG标准中各路信号的频谱特性提出了先按频谱分割进行预滤波 ,再降低采样率滤波的方法 ,有效地降低了 FM/ FM系统分路滤波器的阶数。 相似文献
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为了评估复合喷管热防护性能以及获取喷管烧蚀和结构应力分析的工况条件,运用Fluent流体动力学软件,对复合喷管的结构温度场进行了数值仿真。分析中,采用了两方程RNG k?ω湍流模型和增强型壁面函数,利用流固耦合的计算方法,获得了喷管结构瞬态温度场的计算结果,重点分析了结构温度场最终分布状态和初期传播特点,以及喉衬温度随时间的变化规律,估算了喉衬的烧蚀。分析结果表明,喷管结构热防护性能满足要求,温度最高区域位于喷管收敛段中后部,喉衬线烧蚀量约为2.1 mm,为喷管结构进一步优化设计提供了重要参考依据。 相似文献