单晶硅纳米加工机理的分子动力学研究

对内部无缺陷的单晶硅的纳米切削过程进行了分子动力学模拟.通过模拟结果,对单晶硅纳米切削中的切屑形成过程和加工表面的形成过程做出了合理的解释.并用第一原理应力计算方法对单晶硅纳米切削过程中的脆塑转变的可行性进行了研究.     

超精密机床减振分析

良好的减振措施是提高机床,特别是超精密机床加工精度的重要技术之一.本文以亚微米超精密车床为研究对象,论述了该机床从结构到材料选取上的减振特点,并重点进行了空气弹簧和空气静压轴承主轴减振分析,由理论分析和实验表明:减振措施合理,减振效果良好.     

表面粗糙度评定参数的分形表征

以分形几何理论为基础,利用轮廓谱矩和表面谱矩的概念对表面粗糙度评定参数进行了分形表征,并在此基础上提出了一些新的三维评定参数,如均一性、等方性等。     

横向剪切干涉检测非球面波前数值模拟

横向剪切干涉检测方法用于非球面加工过程中检测是经济且高效的方法。从数值模拟的角度,分析了基于像差最小原则的非球面度;模拟了非球面波前的横向剪切干涉图,并利用基于Zernike多项式拟合的最小二乘法进行了波前重建数值模拟,给出了数值模拟结果,为该方法的实际应用提供了理论依据。     

利用滚珠丝杠的微动特性实现纳米级定位

对用于超精密机床传动的滚珠丝杠的微动特性进行了实验研究，建立了它的数学模型，并在此基础上，进行了超精密位置伺服控制实验。实验结果表明，利用滚珠丝杠的微动特性可以实现纳米级定位     

采用新型驱动器的微位移工作台设计与实验研究

介绍了一个高精度的微动工作台,该工作台以柔性铰链为弹性导轨,并采用了一种新型驱动器作为驱动元件,实现了较高的定位精度。同时对工作台的特性进行了实验和分析。     

图像匹配技术用于扩展原子力显微镜测量范围的应用与研究

研究了利用图像匹配技术来扩大原子力显微镜的测量范围的方法,通过对表面粗糙度测量结果的分析验证了该方法的可靠性,并得出了面粗糙度比线粗糙度更能体现试件表面形貌特征的结论。     

三维表面形貌的分形维数计算方法

工程表面的几何特征与零件的摩擦、磨损、接触、润滑、磨削机理、金属结构等机械或物理性能有着密切的联系.本文在分析近年文献的基础上,总结了几种较为成熟的三维分形维数计算方法,分析了每种方法的特点,并在精密加工试件进行了验证.     

单晶硅脆性材料塑性域超精密磨削加工的研究

对单晶硅脆性材料的超精密磨削加工作了大量的实验研究.研究结果表明,对于单晶硅等脆性材料,其表面粗糙度主要与砂轮的平均磨粒尺寸、进给量等因素有关.当采用超精密磨床并在V     

电磁作动器动态特性对隔振性能的影响

对电磁作动器的动态特性及其对主动隔振系统振动传递率的影响进行了分析研究.振动传递率不仅受作动器动态特性的影响,而且还与反馈变量的选取有关,这对振动主动控制系统的反馈设计具有指导意义.