大气等离子加工系统设计及实验验证

建立了面向复杂光学表面的大气等离子抛光系统,并用该系统进行硅片表面加工的实验研究.研究了CF_4、SF_6两种气体的放电特性以及加工效果,得到了加工速率与功率,流量间的关系,并通过原子力显微镜观察了加工后的表面质量.     

基于神经网络的超精密车床圆柱度误差补偿技术研究

根据所研制的超精密亚微米车床的具体特点，提出了一种基于神经网络的工件圆柱度误差补偿方法，并据此建立了误差补偿控制系统，实验结果证明所提方法简单易行，在超精密车削中应用前景广阔。     

分形几何及其在精密切削加工中的应用

简要地介绍了分形几何的基本概念,以及分形几何在精密切削加工中的应用研究。包括振动分析,刀具磨损、材料素质及产品表面质量评定。     

非球曲面超精密车削过程中的轮廓补偿控制方法

介绍了一种可提高非球曲面超精密加工机床的轮廓跟踪精度的误差补偿控制方法。该轮廓补偿控制器是机床轮廓位置伺服系统的一部分,它以二次曲线代替原微直线段来逼近给定轮廓,可提高系统的轮廓逼近精度,并减小插补数据不连续对伺服系统的冲击,从而最终提高轮廓的加工精度。     

数控全自动磨床砂轮平衡装置的研究

研究了一种增重法磨床砂轮平衡装置．分析了砂轮不平衡引起磨床振动的特点及增重法砂轮平衡方法的使用条件,给出了基于这一分析的一种数控全自动砂轮平衡装置的具体结构和控制方法．     

AFM针尖磨损机理研究进展

在分析了原子力显微镜(AFM)探针在测量及加工领域应用过程中,探针磨损对于实验结果的影响的基础上,综述了Si3N4针尖、金刚石针尖和单晶硅针尖的磨损机理。并展望了探针磨损机理的发展趋势。     

振动主动控制中的三个问题

介绍了振动主动控制中的三个重要问题：传感器、作动器和信号处理，对常用的传感器、作动器的工作原理、特点和应用进行了分析，并对信号处理的两个重要技术：Fourier变换和小波分析进行了较详细的分析比较。     

振动主动控制中的作动器技术

介绍了振动主动控制中广泛应用的各种不同类型的作动器，并对它们的工作原理、特点和适用范围进行了分析。     

表面粗糙度的现状及发展

讨论了表面粗糙度测量和表征中,一些人们感兴趣的有待解决的问题,如：基准、滤波、校准样块、评定软件和表征参数等．认为在3D表面分析中应采用数字滤波,以保留数据的完整性;辨析了现存测量仪器和方法的范围──分辨力空间图中的缺口;介绍了校准样块的制备和测量;同时指出当前评定软件缺乏一致性和标准性,建议设计“软件量规”．最后指出了表面特征分析的发展趋势．     

表面粗糙度评定参数的分形表征

以分形几何理论为基础,利用轮廓谱矩和表面谱矩的概念对表面粗糙度评定参数进行了分形表征,并在此基础上提出了一些新的三维评定参数,如均一性、等方性等。