影响同轴磁控溅射镀膜性能的几个问题

7近几年来,镀膜玻璃在建筑行业以及装饰行业已经得到了广泛的应用。而磁控溅射镀膜因其具有高速、低温、低损伤等优点,已经成为真空镀膜技术的主要方式。适用于建筑玻璃镀膜的磁控溅射靶,就其形式有两种：平面靶和同轴圆柱形靶。本文就影响同轴圆柱型磁控溅射靶的溅射性能方面做以下探讨。1磁控溅射原理图1说明如下：电子在电场作用下,加速飞向基片的过程中与氢原子发生碰撞,电离出Ar“并产生电子。电子飞向基片,Ar“在电场作用下加速飞向阴极（溅射靶）并以高能量轰击靶面,使靶材发生溅射。在溅射粒子中,中性的靶原子（或分子）沉…     

《晶体滤波器》一书即将出版

由冯致礼、王之兴编著的《晶体滤波器》一书,宇航出版社将于1986年6月出版,新华书店发行。本书比较全面而系统地介绍了石英晶体滤波器的原理、设计、制作和应用诸问题,内容丰富,深度适宜,在工程设计上具有一定的实用价值。全书共十章,包括:滤波器的基础知识,石英晶体谐振器,带通晶体滤波器,带阻     

电磁波在吸波涂层中的干涉现象

文摘为研究电磁波在吸波涂层中的干涉现象,选取了X型羰基铁粉吸收剂,采用同轴法测试了材料电磁参数,通过多次反射方法求解了X型吸波涂层在厚度为1/4波长时反射系数公式;另外,求解了不同厚度X-1型吸波涂层对频率为9.5 GHz平面电磁波反射系数公式,取公式前6项计算了反射系数Γ_a和反射率R_a。结果表明,多次反射波之间产生了干涉行为,发生了干涉相消现象。Γ_a、R_a分别与传输线方法计算的Γ和R的值非常接近,表明Γ_a和R_a可以近似代表X-1型吸波涂层对9.5 GHz电磁波的反射系数和反射率。当X-1型吸波涂层厚度小于1.9 mm或在3.2～6.6 mm时,第二反射波对第一反射波起到干涉相长作用,降低吸波性能,表明优选的吸波涂层厚度应该介于1.9～3.2 mm。