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基于MEMS技术的微型阀研究 总被引:1,自引:0,他引:1
根据微机电系统(MEMS)技术和微型阀技术的研究现状与发展趋势,在微型阀致动机理分析和性能对比的基础上,通过对微型阀结构的理论计算和数值模拟,论证了静电致动和压电致动两种微型阀方案,确定了微推进系统用微型阀的主要技术参数和性能指标;通过结构设计和MEMS工艺攻关,完成了基于MEMS技术的压电致动微型阀原理样件制造,并进行了初步的原理试验验证和性能检测。结果表明,基于MEMS技术的压电致动微型阀原理可行,方案合理;通过进一步的结构优化,解决多层键合和系统封装工艺,可以获得高性能的微型阀,为小型、轻质和集成化微推进系统研制奠定基础。 相似文献
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以满足产品的性能与可靠性维修性保障性(RMS)综合设计需求为目标,对产 品设计过程中如何预防故障,定位故障及故障维修的相关概念进行分析、总结和归纳,提出 了以故障知识为核心,面向产品综合设计的知识本体框架,该框架将相关概念划分为四层进 行描述,即产品层、故障基本概念层、故障扩展层、故障应对层。利用本体论方法对相关的 核心概念进行了形式化的定义,并给出了基本的故障知识本体和设计应对本体结构。最后以 挑战者号航天飞机的失事为例,应用本文建立的故障本体较好地表达了航天飞机故障过程及 应对的改进措施,验证了该方法的可行性。
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