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522.
介绍用脉冲电子束烧蚀法在不同温度的单晶硅 (1 1 0 )衬底上沉积铌酸锂铁电薄膜 ,以及用脉冲电子束进行薄膜晶化处理的实验结果 ;使用扫描电子显微镜 (SEM)、X射线衍射 (XRD)、光电子能谱 (XPS)等方法 ,对薄膜的成份、晶体结构及表面形貌进行分析测试。采用表面轮廓仪测定 LN薄膜的膜厚分布均匀性等。文中探讨了靶材料烧蚀和沉积过程中出现的诸多现象。研究表明 ,这种薄膜制备方法有许多独特之处 ,随着该项技术的不断改进和发展 ,将为光电集成电路提供一种新工艺和新技术 相似文献
523.
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525.
介绍了多学科设计优化计算过程中存在的不确定性问题以及不确定性对设计过程和设计结果的影响.另外,采用在多学科设计优化流程中加入可靠性和稳健性分析模块来保证结果的可靠与稳健,用实验设计方法和6σ方法控制设计变量,保证设计过程的稳定收敛. 相似文献
526.
527.
复合材料自动铺丝路径生成技术研究 总被引:5,自引:0,他引:5
基于自主研制的七自由度铺丝机,研究具有芯模的封闭构件自动铺丝路径规划技术,设计了通用的铺丝路径生成算法,可生成任意角度的铺丝路径。 相似文献
528.
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