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781.
为研究不同钝化工艺栅介质用SiO2薄膜的高能电子辐射缺陷特征,采用能量为1 MeV的高能电子在辐照注量为1×1015 e/cm2、5×1015 e/cm2和1×1016e/cm2下对三种不同钝化工艺(I,700 nm SiN + 500 nm PSG;II,1.2 μm SiN;III,700 nm PSG + 500 nm SiN)的SiO2薄膜进行了辐照试验。拉曼光谱和X射线光电子能谱结果表明I和III钝化工艺SiO2薄膜形成了非晶硅及双氧根离子,傅立叶红外光谱结果表明I钝化工艺SiO2薄膜形成缺陷结构未知的A1、A2、B1及B2缺陷;II钝化工艺SiO2薄膜形成A1、B1、及 缺陷;III钝化工艺SiO2薄膜形成A1及B2缺陷。  相似文献   
782.
从无人操控天线需要依赖数引完成目标自动捕获以及现有的主动段航天测量的数引模型精度不够的背景出发,指出提高数引精度即进行数引改进的必要性。然后结合末段跟踪的特殊性,从时差、视差和延时累积误差三个影响数引精度的最主要方面详细分析了它们的形成机理,并给出了各自的改进方法。  相似文献   
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