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介绍用脉冲电子束烧蚀法在不同温度的单晶硅 (1 1 0 )衬底上沉积铌酸锂铁电薄膜 ,以及用脉冲电子束进行薄膜晶化处理的实验结果 ;使用扫描电子显微镜 (SEM)、X射线衍射 (XRD)、光电子能谱 (XPS)等方法 ,对薄膜的成份、晶体结构及表面形貌进行分析测试。采用表面轮廓仪测定 LN薄膜的膜厚分布均匀性等。文中探讨了靶材料烧蚀和沉积过程中出现的诸多现象。研究表明 ,这种薄膜制备方法有许多独特之处 ,随着该项技术的不断改进和发展 ,将为光电集成电路提供一种新工艺和新技术 相似文献
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发动机高速排气系统红外辐射特性的数值计算和分析 总被引:10,自引:9,他引:10
本文以排气系统三维流场数值计算为基础,采用了封闭腔理论算法及波带透过率计算模型,通过求解耗散-发射性介质中的辐射传输方程的方法,对发动机高速排气系统的热空腔辐射、喷气流辐射及热空腔-喷气流组合辐射进行了数值计算,并将计算结果与发动机实测结果进行了分析比较。研究结果表明,红外辐射的计算值与实测值相比,误差不大于30%,且其空间分布基本一致。所开发的计算方法与程序可用于排气系统红外辐射特性的数值计算与分析,基本满足工程设计的需要。 相似文献
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以UG和MSC/NASTRAN、MSC/PATRAN为软件平台,对中国燃气涡轮研究院提供的轴对称矢量喷管(AVEN)方案的运动机构进行了三维实体建模、运动仿真和有限元强度分析等方面的研究。通过运动学仿真模拟出了喷管的实际运动状态,分析了喷管机构运动的可行性和可控性,并对运动时各构件间的相互关系(如干涉、散度等)及运动极限状态进行了研究,得出了该运动机构的最大矢量角以及作动环偏转角与喷管矢量角之间的关系。同时利用有限元通用分析软件对关键零件进行了有限元强度校核,校核结果表明能满足强度设计的要求。 相似文献
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Ti600合金的性能与显微组织的研究 总被引:11,自引:0,他引:11
Ti600 合金是一种新型近α高温钛合金,其名义成分为Ti-6Al-2.8Sn-4Zr-0.5Mo-0.4Si-0.1Y(w t% )。测试了该合金在热暴露前后拉伸性能和蠕变性能,并进行了透射电镜和光学显微镜观察。研究结果表明:合金的机械性能优异,与美国Ti1100 性能水平相当;在常规热处理条件下,合金组织是一种典型的针状组织,该组织具有良好的抗蠕变性能。Ti600 合金热暴露后,合金中存在的α2 相(Ti3Al)和S2 相(Ti5Si3)使合金的室温塑性降低。讨论稀土氧化物对合金显微组织及性能的影响,表明稀土的加入对改善合金蠕变性能有较大作用。 相似文献
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