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对MEMS“三明治”式倾角传感器进行结构优化设计,敏感元件采用双梁-质量块结构,其中可动质量块通过双梁和周围框架相连,可动质量块和上下盖板构成上下差分电容。外界给定某一加速度时,上下间隙此消彼长,从而导致电容量发生变化。通过建立敏感元件的静力学模型,获得敏感元件的关键尺寸与其性能参数的关系,基于体硅工艺建立敏感元件的三维工艺模型,并采用ANSYS有限元仿真对敏感元件的灵敏度、线性度、谐振频率等参数进行分析计算,结果表明:敏感结构的一阶谐振频率为576.68 Hz,灵敏度为0.76 pF/g,±30°、±90°对应的线性度分别为0.8‰、3‰,均符合设计要求,最后给出了倾角传感器敏感元件的加工流程。 相似文献
183.
文章根据中小企业的特点,介绍了一种面向中小企业协同设计系统的设计方法。同时给出了一个适合中小企业的协同设计系统框架。在此基础上,分析了协同设计系统的各主要功能模块,最后介绍了系统的安全措施、冲突消解策略和实现方法。 相似文献
184.
针对运载火箭的时变结构模态参数辨识问题进行研究,基于时变自回归滑动平均(TARMA)模型,提出一种时变结构模态参数辨识的确定性演化方法。该方法利用小波基函数的良好局部函数拟合能力,将墨西哥帽小波函数作为TARMA模型时变系数的空间基底,构建了基于小波函数的泛函序列时变自回归滑动平均(FS-TARMA)模型,并发展了两步最小二乘估计方法,实现了时变系数的解耦估计。通过有限单元法,建立了阿里安V号芯级运载火箭时变有限元模型,对所提辨识方法进行了验证,结果表明:墨西哥帽小波基FS-TARMA方法能够有效地辨识系统的时变模态参数;与传统傅里叶基FS-TARMA方法相比,具有更好的辨识精度,并且能够准确地反映出模态局部细节特征。 相似文献
185.
TY-3微重力火箭总长 6 0 0 0 mm,起飞质量 1 1 0 0 kg,有效载荷 5 0 kg,最大飞行高度 2 2 0 km,能提供 1 0 - 4 g约 36 0 s时间的微重力试验条件 ,该火箭已于 2 0 0 0年 1 0月飞行试验成功 ,而且一种更先进的微重力火箭系统正在设计中。 相似文献
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