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阐述了表面工艺制造MEMS时造成粘附现象的主要方面,并对其进行了完整的理论分析,得出粘附力的大小与器件所处环境的湿度、温度和结构的材料、表面情况以及相对运动等因素有关,并简介了各种技术方法在结构防粘附中的应用。 相似文献
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本文概述了某重型燃气轮机双燃料喷嘴组气体燃料流量试验器的研制及部分试验研究结果.为了测量该喷嘴组各流路供给的天燃气流量,专门研制了SH-1型气体流量试验器.试验器巧妙地将测量系统、操作系统、数据显示、数据采集与处理系统结合在一起,测量结果准确、稳定、重复性好,测量误差小于0.5%,操作简单,造价仅为国际同类设备的五分之一,系国内首创.应用SH-1气体流量试验器准确测量了喷嘴组流路Ⅲ、流路Ⅳ和流路V的供气量.喷嘴组的单管燃烧试验结果表明,喷嘴组各项指标均达到设计要求,SH-1型气体流量试验器的试验结果可靠、稳定. 相似文献
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