氮化铝薄膜及复合体波谐振器

为了在超高频范围内对基模振荡器进行控制和运用滤波器,开展了对于小型体波谐振器的基本材料和器件特性的研究。本文报道了氮化铝(ALN)在构成复合谐振器几何形状和边缘支撑型晶片结构方面的性能。 ALN薄膜是在直流平板磁控管溅镀装置中,用中间电极溅射出来的AL和等离子气体中的N_2之间的等离子体反应生成的。一般溅镀条件是:溅镀压力=1×10~(-3)毛,空气含氮量=99.999％基片温度=200℃,直流功率-225瓦,溅镀率=1.2微米/小时。ALN薄膜的品质用扫描式电子显微镜(SEM)、X射线衍射法和奥格(Auger)电子分光镜进行鉴定。检测结果说明,溅镀的ALN薄膜具有严格的晶向结构,其C轴垂直于Si(硅)基片表面。对于由1.7微米ALN薄膜和8微米Si基片组成的谐振器,测出的基频串联谐振频率为328.53兆赫,基频并联谐振频率为328.61兆赫。这种规格谐振器的Q值约有7500,它在-20℃至+120℃范围内的实测温度系数约为-4×10~(-8)/℃。对于具有1.7微米ALN薄膜和6微米Si基片的谐振器,实测的温度系数是-6×10~(-6)/℃。这种规格谐振器的Q值约为5000,它的基频串联谐振频率是524.11兆赫,而基频并联谐振频率是524.45兆赫。应用微电子半导体加工技术,已经制成了边缘支撑型ALN晶片。晶片厚度为1.0至7微米,面积约为300平方微米。这种晶片是边缘支撑型的,这与以前报道的底膜支撑型薄膜是不相同的。厚度为6.5微米的典型ALN晶片在790兆赫附近产生基模谐振,耦合系数为10.3％。在-20℃至120℃范围内测得的温度系数可达到-20.5×10~(-6)/℃。目前,已按外延特性制造出具有水平C轴的氧化锌ZnO晶片。这种晶片显示出切变波谐振特性,这意味着晶片有很高的谐振Q和比较简单的模式结构。     

声表面波气体检测器

本文介绍一种利用声表面波的新型气体检测器的试验结果。声表面波(SAW)压电气体检测器由制作在一块压电衬底上的SAW双延迟线组成,每一延迟线都接有一振荡器。在一根延迟线振荡器的传播路径上涂以选择性吸收薄膜,而在另一传播路径上则不涂复而用作稳定参考。由吸附在涂有薄膜的延迟线上的气体所引起的质量负载或应力效应造成的相位延迟变化,导致相对于参考振荡器的频率偏移。这种频率偏移是与气体浓度成比例的。由于SAW能集中在薄膜附近,故检测器的灵敏度很高。另外,只要给SAW压电气体检测器涂以相应的选择性薄膜,就可以检测任何气体。为了证明这一点,现已制成一个利用三乙醇胺薄膜测量空气中二氧化硫(SO_2)的检测器,并且已经证明能够检测出浓度为10×10~(-9)的二氧化硫。对灵敏度、线性、再现性、选择性和可靠性的研究,发现在大多数情况下比其它类型的气体检测器优越。本文讨论器件性能(例如选择性和随时间的稳定性)的主要缺点,以及改善的可能方法和进一步研究的方向。     

溅镀C轴倾斜的压电膜和切变波谐振器

作者对溅镀的压电膜能否应用于甚高频至微波频率的声波器件进行了研究。本文介绍了切变波谐振器用的C轴倾斜的氧化锌(ZnO)和氮化铝(AlN)膜的生长及特性。文中计算了某些膜的切变波激动的定向关系。这些膜在C轴取向与表面法线成大约45°时,可能激励出接近于纯的切变波。在其他角度,则只能激励准切变波和准纵向波。 C轴对膜法线倾斜方向合适的ZnO或AlN膜,是在配有辅助阳极的反应式直流面磁控管溅镀系统中生长的。这类膜可用扫描式电子显微镜(SEM)和体声波器件测量法进行鉴定。自Si基片法线倾斜的C轴晶粒柱形结构可在扫描式电子显微镜中清楚地看到。C轴倾斜角达45°,厚度达10微米的薄膜已经制做成功。在P~+Si基片上溅镀上ZnO和AlN可以制成复合谐振器。这类谐振器的Q值在200兆赫到500兆赫基频谐振范围内大约为5000。特别令人感兴趣的是可以对谐振频率进行温度补偿。在ZnO/Si和AlN/Si的复合结构上已制造出室温下串联谐振频率的绝对温度系数小于1×10~6/℃的谐振器。ZnO和AlN晶片谐振器的温度系数已测出为-36.2×10~-6/℃和-25×10~-6/℃。这表明P~+Si基片在切变膜时的温度系数大约是+9×10~6/℃、     

磁层顶的Kelvin-Helmholtz不稳定性(III)可压缩不稳定波的能量和动量输运

本文在假定磁层顶为切向间断面的近似下分析了可压缩K-H不稳定波在磁层顶两侧的能量分配及能量和动量输运,讨论了相应的物理机制.计算表明,K-H不稳定性确实能在太阳风-磁层耦合中起重要作用.      

采用硅雪崩器件的1000V、300PS脉冲产生电路

把一个马氏(Marx)成形的雪崩晶体管串联电路和一个脉冲上升时间锐化二极管串连,将会在50Ω负载上产生一个幅度大于1000V、上升时间小于300ps 的脉冲。这个电路的触发延迟时间大约是7～10ns,晃动小于100ps。这个电路已被用于产生高至5 KHz 重复频率的脉冲。引言快速上升时间(纳秒)高压(千伏级)电脉冲在仪器快速瞬态测量中有很多用途。典型     

相位比较器的取样对频率合成器性能的影响

简单的锁相环频率合成器可以看做一对锁相振荡器。锁相环相位比较仪的取样在理论上和实践上对频率合成器的转换速度都有限制作用。取样还限制了用锁相技术所能达到的输出频谱的改善。文中给出了若干结果。并将这些结果与分析频率合成器系统一模型的连续数据和取样数据进行了比较。     

SABRE雷达及其观测的Pc5地磁脉动Ⅰ.统计分析结果

本文简要介绍了相干散射雷达SABRE及其观测Pc5地磁脉动的工作原理。1985—1989年观测数据的统计分析结果表明,相位向极传播脉动事件的出现率峰值在当地时间午夜附近,而向赤道传播事件的出现率峰值则在18:00LT左右。文中给出了上述两类脉动事件出现率的日变化,与地磁活动的相关,与背景电离层等离子体对流特性的关系等统计分析结果。     

海南地区电离层闪烁监测及初步统计分析

为开展赤道区的电离层闪烁形态特性及相关物理过程的研究,空间中心海南台站建立了一套GPS电离层闪烁监测系统．该系统是利用Plessey GPS Builder-2系统开发的,对软件的源码进行了修改,使其能以高采样率(50／s)同时并行记录11个通道GPS信号强度数据．对2003年7—12月间L-波段电离层闪烁事件的初步统计分析结果表明,电离层闪烁主要发生在日落后到午夜附近,其中9—11月较7—8月闪烁发生和结束的时间明显提前;电离层闪烁发生的频率和强度在9—11月较其他月份明显增强,其中10月达到最大;电离层闪烁的逐日变化具有很强的随机性,闪烁的发生在秋分附近9月底到10月中旬的磁静日期间达到最大;太阳和地磁活动的增强通常会抑制电离层闪烁的发生,这种情形在秋分附近尤为明显．     

Fractal Structure of the Heliospheric Plasma Sheet at the Earth''''s Orbit

An analysis of the data from the Wind and IMP-8 spacecraft revealed that a slow solar wind, flowing in the heliospheric plasma sheet, represents a set of magnetic tubes with plasma of increased density (N > 10cm-3 at the Earth's orbit). They have a fine structure at several spatial scales (fractality), from 2°-3°(at the Earth's orbit, it is equivalent to 3.6-5.4h, or (5.4-8.0)×106km) to the minimum about 0.025°, i.e. the angular size of the nested tubes is changed nearly by two orders of magnitude. The magnetic tubes at each observed spatial scale are diamagnetic, i.e. their surface sustains a flow of diamagnetic (or drift) current that decreases the magnetic field within the tube itself and increases it outside the tube. Furthermore, the value of β= 8π[N(Te + Tp)]/B2 within the tube exceeds the value of βoutside the tube. In many cases total pressure P = N(Te + Tp) + B2/8πis almost constant within and outside the tubes at any one of the aforementioned scales.     

Ionospheric Effects of Geomagnetic Storms in Different Longitude Sectors

This paper analyzes the state of the ionosphere during two geomagnetic storms of a different intensity evolving in different sectors of local time in different seasons. There were used the data from a network of ionospheric stations located in the opposite longitudinal sectors of 80°-150° E and 250°-310° E.This analysis has permitted us to conclude that the detected differences in the variations of the disturbances are likely to be determined by the local time difference of the geomagnetic storm development, its intensity and by the different illumination conditions of the ionosphere.