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261.
为了研究应用于微型推进系统的微型空气轴承(Micro Air Bearing,MAB)的结构形式及微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)制造工艺,在保证性能需求的前提下,充分考虑轴承结构与MEMS工艺尤其是多层硅直接键合技术(Silicon Direct Bonding,SDB)的兼容性,提出了总厚度为1.5mm的新型结构形式并制定了完整的制造工艺流程;针对微型空气轴承制造的3B(Bearing,Blade,Bonding)挑战,采用变量实验的方法,研究了刻蚀参数对于轴承结构精度的影响规律,轴承侧壁垂直度达到89°,侧壁粗糙度小于10nm,消除了腐蚀扩散等常见的MEMS工艺缺陷,提高了叶片结构的完整性和均匀性,获得了多层硅直接键合的最优工艺参数,通过MATLAB图像处理程序定量分析三层直接键合率达到85%,优于之前报道的结果。研究结果说明,MEMS制造工艺能够用于微型空气轴承的制造,但在结构设计中必须考虑工艺兼容性,刻蚀的偏压功率和腔体压力对于径向轴承的侧壁垂直度和粗糙度具有重要影响,在刻蚀叶片时必须调整刻蚀保护循环比来保证其结构的完整性和均匀性,减少键合层数和应力累积水平对于多层硅直接键合率的提升具有重要作用。 相似文献
262.
为实现对输入健康管理系统的航空发动机传感器数据进行数据鉴定、故障诊断以及去除噪声信号干扰,提出了一种航空发动机传感器数据预处理方法。针对双通道传感器航空涡扇发动机,搭建了以合理性检验模块和解析冗余检验模块为主要内容的SDQ算法模型,利用遗传算法优化的AANN神经网络实现传感器的解析冗余检验。采用蒙特卡罗仿真方法,将改进的SDQ算法与一种基于最小二乘法的SDQ算法进行对比仿真验证。结果表明,本文提出的SDQ算法在发动机稳态条件下对阶跃故障和漂移故障隔离的平均正确率分别提高了1.7%和19.1%,在发动机动态条件下对阶跃故障和漂移故障隔离的平均正确率分别提高了12.5%和33.8%。且在多传感器故障诊断和除噪方面性能优异,处理后的传感器信号平均信噪比提高了8.27dB。 相似文献
263.
为满足不同的需求,经常使用PWM波调整直流电机的转速。但在实际应用中,即使是一个固定的PWM值,直流电机的转速也未必恒定。为了解决这个问题,通常用PID算法控制电机的转速,使其达到一个稳定值。但PID算法比较复杂,要进行建模、参数整定等。提出一种简单、可行的方法,在很短的定时时间内,测试电机的转速,将其与设定转速值进行比较,得到误差。根据误差值的正负,调整PWM波中的正脉宽的宽度,以达到对电机转速的快速、实时调整。经过实测:采用STM32微处理器,能够快速调整电机转速,并使其很快达到一个稳定值。 相似文献
264.
高空性是评价航空发动机齿轮泵性能的关键参数之一,为了获得摆线泵的高度特性曲线,并分析其影响因素,采用三维非定常数值模拟的方法,应用动网格技术对单级内啮合摆线齿轮泵的高空特性进行定量分析。结果表明:随着飞行高度增加,摆线泵内的空化现象加剧,供油流量减少;当飞行高度在8km以上时,容积效率随高度上升而急剧下降,且在相同的出口条件下,低转速摆线泵的容积效率明显高于高转速工况;当飞行高度在8km时,增大摆线泵出口压力,出口流量脉动幅度由时均流量的16%增至20%,且出口流量的脉动频率随摆线泵的转速加快而变大。所以,摆线泵在高空工作时,降低转速即可以满足供油需求,同时减少系统负担。 相似文献
265.
266.
267.
268.
基于VC的三自由度并联机床数控系统软件开发 总被引:1,自引:0,他引:1
针对并联机床运动控制的特点,基于VC开发了一个应用于三自由度并联机床的软件控制系统.测试结果表明,软件系统设计合理,能准确实现并联机床数控系统的基本功能. 相似文献
269.
在分析多级维纳滤波器实现算法的基础上,通过对相关相减算法中的阻塞矩阵进行改进,并利用其前向递推多级分解特性构造出空-时二维干扰子空间,然后结合子空间投影方法,进一步求出空-时抗干扰最优权值。与传统的相关相减结构多级维纳滤波方法(CSS-MSWF)相比,该方法在有限数据精度下,抗干扰性能要优于CSS-MSWF方法,具有更好的可行性和实用性。仿真结果验证了该方法的有效 相似文献
270.
现阶段加强大学生思想政治教育的实效性已成为高等教育工作者所面临的现实而紧迫的重大课题。人文教育的与思想政治教育的目标相同,都是提高大学生的素质,它们之间有相互的联系,密不可分。为此,应该把人文教育渗透到思想政治教育中,将两者有机地融合到一起,丰富思想政治工作的内容、方法和手段,探索思想政治教育工作的新思路,进而更好的促进高校思想政治教育工作的顺利开展。 相似文献