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掺磷纳米硅薄膜的微结构 总被引:4,自引:0,他引:4
采用喇曼(Raman)散射谱、高分辨率电子显微镜(HRTEM)和原子力显微镜(AFM)对掺磷纳米硅薄膜的微结构进行了分析,并对纳米硅薄膜的传导机制进行了探讨.结果表明:掺磷纳米硅薄膜由尺寸为2~4*#nm的晶粒和2~3个原子层厚的非晶界面构成,计算得到薄膜的晶态比为40%~55%.与本征纳米硅薄膜相比,掺磷纳米硅薄膜晶粒尺寸和晶态比没有明显变化,电导率却提高了2个数量级.随着掺磷浓度增加,纳米硅薄膜的晶粒尺寸、晶态比及电导率逐渐增大.AFM观察表明掺磷纳米硅薄膜由尺寸介于15~20*#nm的团簇构成,团簇排列具有带状特征. 相似文献
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介绍一种以大规模集成电路为核心组成的通用计数器的设计。该通用计数器具有输出标准信号、测量频率、测量周期、累加计数和自校等多种功能。 相似文献
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联立直升机和舰船运动方程,模拟了直升机的着舰过程,主要对直升机的着舰速度进行了研究,确定了在规则海浪情况下,舰船横摇角、侧向位移、舰船升沉与着舰速度之间的关系,为飞行员正确操纵直升机提供理论参考. 相似文献
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<正> 以惯性技术为主,并以星光、无线电等其它技术为辅的组合导航及制导技术是70年代以来发展较为迅速,并被认为是行之有效的技术手段。特别是对于大型航空航天飞行器。例如航天飞机、远程导弹等,只有采用精密的组合导航技术才能保证这类飞行任务的完成。任何单一的导航及制导技术都有其长处及弱点,将这些单一的技术手段组合起来扬长避短、相互补偿,毫无疑问是一种可行的途径。星光的引进将会使对 相似文献
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