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介绍用脉冲电子束烧蚀法在不同温度的单晶硅 (1 1 0 )衬底上沉积铌酸锂铁电薄膜 ,以及用脉冲电子束进行薄膜晶化处理的实验结果 ;使用扫描电子显微镜 (SEM)、X射线衍射 (XRD)、光电子能谱 (XPS)等方法 ,对薄膜的成份、晶体结构及表面形貌进行分析测试。采用表面轮廓仪测定 LN薄膜的膜厚分布均匀性等。文中探讨了靶材料烧蚀和沉积过程中出现的诸多现象。研究表明 ,这种薄膜制备方法有许多独特之处 ,随着该项技术的不断改进和发展 ,将为光电集成电路提供一种新工艺和新技术 相似文献
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纳米材料的制备技术及其在航空领域的应用展望 总被引:1,自引:1,他引:1
概述了纳米材料的制备方法、主要结构性能特征,讨论了纳米材料作为新型结构材料和功能材料在航空工程领域的应用前景. 相似文献
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抗荷阀 -抗荷服系统的动态特性是决定其抗荷效果的关键指标。本文在理论分析和系统辨识研究的基础上提出采用 4极点、1零点、1延迟的线性模型作为机械式抗荷阀 -囊式抗荷服系统的动态特性模型,该模型的理论输出与实验数据符合甚好。给出了模型的一般型式,同时分析了气源压力、阀门安装角、抗荷服容积等系统结构参数对模型的影响。 相似文献
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