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基于THB–151N光刻胶的微电铸工艺制作了一种阶梯型铜微柱阵列。针对THB–151N光刻胶显影过程中20μm微盲孔显影困难和底部留膜的问题,提出了一种基于浸没式双向兆声波辅助的显影方法。仿真研究了兆声功率密度和微盲孔深宽比对显影液传质过程的影响。优选了兆声功率密度和微盲孔深宽比,并开展了兆声辅助显影的试验研究。同时,针对THB–151N胶膜因曝光剂量选择不当导致微盲孔侧壁垂直度差的问题,通过光刻试验分析了曝光剂量对微盲孔侧壁垂直度的影响,拟合出曝光剂量与胶膜厚度的经验方程。在上述工艺方法和试验研究的基础上,制作出高度300μm、整体高宽比达15∶1、最小边长20μm、4×6的阶梯型铜微柱阵列。 相似文献
183.
本文利用BGatski和CGSpeziale根据张量不变性理论推出的二维流动站情况下的非线性K-ε两方程模型来对这两种不同扩比下的后向台阶分离湍流进行了数值模拟,从计算结果可以看出,用非线性K-ε两方程模型计算得到的回流区长度,壁面压力分布和摩阻分布等物理量的精度比用标准K-ε两方程模型计算得到的结果用了明显改进,而且,该模型还具有标准K-ε两方程模型的结构简单,使用方便的优点,易于工程应用。 相似文献
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186.
问答系统中复杂类问题的分析方法研究 总被引:1,自引:1,他引:0
基于自动构建的问句模板库,对中文复杂类问题进行问题分类和关键词抽取,并提出一种基于在线百科知识和搜索引擎的关键词扩展方法,从而提高了系统的整体表现.实验采用NTCIR-7CCLQA的测试语料,表明该方法的问题分类准确率达88%.关键词的扩展使得系统F值提升了20%. 相似文献
187.
采用数值模拟方法研究了大后掠三角翼前缘涡破裂诱导的垂尾抖振问题,分析了大迎角条件下的垂尾抖振特性。采用Navier-Stokes方程求解非定常气动力、耦合结构动力学方程,建立了气动弹性方程,在时域内采用松耦合方式推进以得到垂尾结构响应。研究结果表明:涡破裂流的脉动频带覆盖了垂尾扭转模态的固有频率,诱发了垂尾抖振现象;与传统的颤振频域响应特性不同,垂尾抖振响应的各阶位移与加速度响应主频均位于各阶结构模态固有频率附近。此外,弯曲与扭转响应存在耦合效应,且耦合作用的频率与提取的垂尾表面气动载荷脉动频率一致。垂尾的位移响应由一阶弯曲模态主导,振幅不大;加速度响应主要由扭转模态产生,量级较大,使结构持续遭受严重的附加惯性载荷作用。 相似文献
188.
简要介绍了统计机器翻译的国内外现状,对当前统计机器翻译的主流方法进行了理论上的探讨。首先讨论了对数线性模型,然后进一步描述了对数线性模型的特征选择、参数训练和搜索算法,最后在此基础上进行了初步的实验。实验结果表明:基于短语的统计机器翻译方法能够取得较好的翻译效果,值得做更深一步的研究。 相似文献
189.
本文将地面锎源模拟试验的结果,与实践四号卫星单粒子效应动态监测仪在轨所测得的SEL现象从各方面进行对比分析,为该在轨现象发生原因的判断进行了试验验证。 相似文献
190.