电子束曝光机工作台及精密轴承——用电子束扫描提高LSI图形精度

利用电子束扫描制造LSI光刻掩膜版,已取代从前的照像制版。在技术先进国家已进入实用化阶段。而电子束光栅扫描曝光机连续移动工作台的结构及精密轴承的精度和性能,决定于减少电子束的偏转角和工作台上下往返移动寸产生的位置误差。制造材料必须用热膨涨系数小,非磁性防止磁场变化。装配和加工技术要求精密微细化。电子束曝光机整体结构要真空密封,防止外界环境干扰。传动部分采用静压空气轴承、滚珠丝杠,滚柱轴承支持V型导轨等先进技术。     

航天型号现用钢丝螺套型面检测方法分析

概述对钢丝螺套型面尺寸检测的技术要求,分析现行的两种钢丝螺套型面检测方法 (上、下环检测和B值检测)存在的问题,提出调整公差及其分配等措施以解决型面尺寸检测中的问题。     

基于“高分四号”卫星影像洞庭湖湿地信息提取

文章以"高分四号"卫星数据为数据源,以湖南洞庭湖区域为主要研究区域,建立了洞庭湖三级湿地分类系统(主要包括:水体、草滩地、泥滩、耕地、林地、裸地六类),分别使用最大似然法、支持向量机法以及神经网络法对洞庭湖湿地进行遥感信息提取。结果显示,在三种不同的遥感分类方法中,最大似然法分类精度相对较高,总体精度为77.14%,Kappa系数为0.592 9。研究发现:"高分四号"卫星影像具有良好的湿地类型信息提取能力,采用最大似然分类方法可以较好的进行大区域湿地类型信息的提取。     

跨世纪的航天工程国际空间站

国际空间站是世界航天领域最大规模的载人航天工程,它由6个实验舱、1个居住舱、3个结点舱、平衡系统、供电系统、服务系统和运输系统等组成,其总重为500吨。建成后的国际空间站可容纳7-15名航天员同时在太空工作     

冲击镀工艺介绍

以冷压接原理为基础的“冲击镀”(me-chanical plating system)是五十年代美国公司首先研制的,六十年代美国大型汽车公司等企业开始采用这一新的镀层方法。目前,这一方法已纳入ASTM(美国材料试验协会)、美国标准、联邦标准之内,许多大型企业也把它纳入自己的标准化中。 欧洲也已经采用了这种方法。日本是在几年前在一些大型企业中采用这种方法的。 冲击镀的主要特点是无氢脆,镀层均匀,镀液废水公害低和成本低廉,广泛地应用于螺     

《九歌》诸疑悬解

长期以来,学人对《楚辞·九歌》的研究、认识,多采纳东汉王逸《楚辞章句》之说。近代王国维、闻一多、郭沫若对《楚辞·九歌》乃古代歌舞剧萌芽的大胆假说与论证,使笔者深受启发,于是进一步对《九歌》的名称来源、作者身份,《九歌》的性质及用场,以及表演形式与整体构成等若干问题,做了试探性的解释,希求得到专家学者指导。     

德国下一代民用发动机新技术

德国MTU公司和德英合资的宝马·罗-罗公司正在实施由德国政府发起的为下一代民用发动机研究新技术的研究计划。编号为3E发动机的计划可能是导致下世纪初研制成生产型发动机的有涵道桨扇发动机验证机的第一步。3E发动机的资金来自德国政府的为期4年、投资6亿德国马克的民用航宇研究-支援一揽子计划。这项计划分为定翼机、旋翼机和发动机研究,并在1995到1998年之间进行。总计约1.44亿马克(1亿美元)指定用于3E发动机,其中MTU公司占的份额最多,达48％,而宝马·罗-罗公司占29％。根据这项政府的计划,两公司必须协调政府的和自已的资金。     

FOLS—200型光导纤维液位计

一、绪言近年来,光技术的发展异常显著。在光导纤维通信等方面,由于光源和光导纤维的进步,日本发展了从纵贯光导纤维线路网直至工厂内的光缆。此外,随着光通信的发展,对利用光的计测和传感的应用也广泛开展,开发了许多光纤传感器。     

CFM56发动机的几种新改型

室后,与装单环腔燃烧室的-5B相比,NO_x减少40％。装双环腔燃烧室的-5B已在瑞士航空公司的A321飞机上投入使用。为进一步减少双环腔燃烧室的污染,CFMI公司正在研究该燃烧室的冷却系统、燃油喷嘴与控制系统。CFM56-5BX-5B装在A321上未达到降低耗油率约3％的目标后,CFMI公司决定设计一种全新的通用核心机以继续降低耗油率和为未来发动机的发展提供有效的核心机