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综述了毫米波亚毫米波波导类组件制造工艺的国内外最新研究进展,将当前最主要采用的制造工艺进行了分类阐述,包括机械加工改进与数控超精密工艺、电化学工艺、微机电系统(micro-electro-mechanical system, MEMS)工艺、高能束流工艺、3D增材制造工艺。介绍了各分类工艺应用中最新进展的典型成果,讨论了其工艺方法的优势与局限性,并依据波导类产品的应用需求对其工艺研究与发展的趋势开展了分析。结合毫米波亚毫米波波导类产品的应用场景与相关产品未来的发展趋势,进一步提出了各分类工艺在该领域未来可能的发展方向。 相似文献