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991.
通过理论分析和实验验证对多层带有微结构的硅硅直接键合技术进行了研究.采用的硅片表面活化处理方法是亲水湿法,采用的键合工艺流程是先将硅片在键合机中进行预键合,再使用退火炉进行高温退火.其中预键合参数对多层键合成功与否起到决定性的作用,为节约实验时间,针对3个主要预键合参数(温度、压力、时间)的选取进行了详细的正交实验分析.使用项目组自制的硅硅键合分析软件对键合片的红外图像进行处理分析,计算键合率.采用实验得到的最佳预键合工艺参数,多层键合的键合率达到了86.6527%. 相似文献
992.
在国际空间站生活的航天员们虽然所处空间有限,但是也会有丢失物品的可能,而限于环境的特殊性,丢失的东西虽然跑不远,却很难找回来。有过4次航天飞机飞行经历的航天员汤姆·琼斯说:所有的失物都在航天器的地板下面四处逃窜着。 相似文献
993.
994.
本文介绍了为辽河油田开发研制的大屏幕电脑测重仪系统,论述了大屏幕电脑测量仪系统的系统结构、工作原理、硬件与软件的组成,以及研制成功后该套系统的使用。 相似文献
995.
996.
根据缠绕工艺的要求和微机控制的特点,主要分析了主机设计的特点、控制系统的工作原理和组成以及伺服系统的原理。文件提出的CTC分频的原理和串并联扩大分频比范围的方法以及伺服系统的方案不仅可用于缠绕机,也可用于其他需要的场合。 相似文献
997.
求仪表和传感器的独立符合度需用最佳曲线。最佳曲线可以把最大偏差减至最小。本文根据切比雪夫交错点组原理,对里米兹算法作了一定改进,使其有明确的几何意义,计算工作量也有所减少。最后,还给出了一个最佳三次代数多项式曲线拟合的数字例子,以说明交叉弦线法的具体应用。 相似文献
998.
999.
1000.