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吴明根 《航空精密制造技术》1993,(2)
名古屋工业技术研究所SP46型非接触式研磨机,研磨盘与工作轴以20~200r/min的转速作同向、高精度旋转,工作悬浮在研磨盘上,在研磨液的化学作用及微细粉末粒子的撞击下产生研磨作用。轴系皆采用液体动静压轴承,可加工Φ170mm的工件。该机可加工出表面粗糙度为2nm的硅片,加工Φ100mm、厚度为30mm的BK7光学玻璃,平面度为0031μm,表面粗糙度(均方根偏差)可达0.0038μm。特别适合微电子功能材料及光学平面的超精密加工,具有广阔的应用前景。 相似文献
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吴明根 《航空精密制造技术》1992,(5)
由航空科学技术研究院组织的超精密加工技术考察团对日本进行了为期15天的考察。了解了日本超精密加工和测试技术的近况,获益匪浅,很多方面值得我国借鉴。我刊从本期起将陆续报道考察的技术专题,以飨读者。 相似文献
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三○三所在分析传统加工方法加工误差的基础上,研究了同轴双面车削法这一提高背孔零件同轴度的工艺措施。并研制了相应的加工设备:SMC-Ⅰ型和SMC-Ⅲ型双面车床。使原来传统加工方法所能达到的同轴度(5~10微米)提高到一个新的水平——可达到1微米。本文简要地介绍了有关情况。 相似文献