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新型双脚步推式微型进给机构的研究 总被引:3,自引:0,他引:3
相对于传统“尺蠖式”进给原理,模仿人走路的方式,提出“双脚步推式”进给原理。利用压电元件为驱动源,研制出在大范围内,具有很高分辨力,同时能够连续平稳进给的微型进给机构。该机构的优点概括为:1)不论压电元件的电致伸缩量是多么的有限,利用“双脚步推式”进给原理,可以实现连续平稳的大范围进给;2)在开环控制状态下,该机构能够得到高于0.1μm的位移分辨力;3)系统结构简单,控制容易,性能稳定。 相似文献