大口径连续位相板拼接检测技术研究

区别于传统平面拼接检测方式,将空间六自由度应用于连续位相板拼接检测,建立数学模型,通过最小二乘的方式实现孔径拼接融合,完成连续位相板的检测,恢复其波前特征。本文通过仿真分析该方法的精度,并搭建机械检测装置完成子孔径数据采集,对加工的连续位相板进行实验验证。通过仿真分析,拼接面形误差RMS约为0.0006λ,实验结果显示100mmCPPs,拼接面形误差RMS约为0.0143λ,子孔径拼接波前数据结果与全口径检测数据可以达到很好的一致性。