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恒压式气体微流量计的测控系统研制 总被引:1,自引:0,他引:1
恒压式气体微流量计的测控系统是在工控机控制下 ,采用电容薄膜规、光电编码器、铂电阻温度计等高精度传感器测量出变容室内气体的压力、体积变化率、温度等参量 ;采用两种恒压控制模式 ,在流量测量的动态过程中将变容室内气体的压力波动控制在± 0 0 1%之内 ;工作软件具有虚拟仪器界面 ,操作方便 ,实现了对流量计的计算机自动化控制和管理。恒压式气体微流量计能够提供 (3 96× 10 -4~ 3 6 4× 10 -8)Pa·m3 /s范围内的气体微流量。在 10 -8Pa·m3 /s范围内的相对合成标准不确定度为 1% ,在 (1× 10 -7~ 1× 10 -4)Pa·m3 /s范围内的相对合成标准不确定度为 0 7%。 相似文献
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基于LabVIEW的气体微流量测量虚拟仪器的开发 总被引:1,自引:0,他引:1
运用LabVIEW6.1开发了用于气体微流量测量的虚拟仪器,阐明了该虚拟仪器的硬件结构、软件设计思想和具体实现,结合实验数据对不确定度进行了分析。该系统具有测量精度高、界面友好、运行稳定可靠、功能便于扩展等特点。 相似文献
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