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介绍了一种非接触式激光检测系统,可用于检测液晶曝光中液晶模板与基板之间的间隙,给出了该种系统的测量原理、硬件系统、信号处理方法、测量结果、分辨力和误差分析,并指出了这种测量系统的应用。 相似文献
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基于激光三角法的三维扫描光探测系统 总被引:3,自引:0,他引:3
介绍了一种基于激光三角法的非接触式三维光学测量系统。文中给出了该种方法的测量原理、硬件系统、信号处理方法、测量结果、分辨力和误差分析,并指出了这种测量系统在工业生产和装配线上的广泛应用。 相似文献
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