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前言随着科研生产的迅速发展,精密轴系的精度越来越高,目前已达2×10~(-8)米的数量级。轴系精度的提高,相应的要求检测仪器有更高的精度。运算法电容式测微仪具有非线性小,分辨率高,非接触测量,使用调整方便等特点,因此,在精密轴系测量和微小位移测量中日益发挥重要作用。电容式测微仪的分辨率可达10~(-8)米～10~(-9)米甚至更高,对于这种高性能的仪器做出准确 相似文献
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