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压电式线性加速度计传感器,由于可以降低传感器的固有频率而具有很高的灵敏度。图1所示的是这种三维传感器中很有发展前途的一种结构形式。对于所用的元件仅采用一种敏感元件,中间排列的是这种敏感元件2,在它上面固定着互相垂直的三对平板型压电元件4。压电元件的自由端固定于 相似文献
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