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针对金属线间击穿电压小、可靠性差的问题,对铜扩散阻挡层(包括钽阻挡层厚度和氮化硅阻挡层薄膜质量)进行研究优化。使用自对准双重图形(SADP)方法能够使金属互连线的特征尺寸缩小,使得互连线扩散阻挡层的厚度期望降低。通过制备不同厚度的钽阻挡层对金属互连体系电阻和击穿电压做详细对比分析,发现硬质的钽金属对化学机械研磨(CMP)产生影响,导致互连体系电阻和击穿电压随着钽阻挡层厚度减小而增加,过薄的阻挡层会导致阻挡性能降低、整体晶圆均一性变差;铜线界面上存在的氧元素极大地降低了氮化硅的黏附性,影响阻挡层性能。在氨气预处理阶段通入不同流量的氨气,在预沉积阶段改变预沉积时间,增加过渡阶段,通过实验分析氮化硅的黏附性,结果证明:氨气流量的增加、预沉积时间的减少、过渡阶段的增加能提高氮化硅的黏附性,改善了薄膜阻挡能力。 相似文献
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针对四旋翼无人机在系统内部模型参数不确定性情况下的轨迹跟踪问题,提出了一种基于滑模控制的四旋翼无人机自适应跟踪控制方法。首先,采用单位四元数来描述系统姿态,将系统分解为位置子系统和姿态子系统;考虑到位置子系统的欠驱动特性,引入了虚拟控制力,跟踪位置信息并解算出实际升力和理想姿态;其次,通过自适应滑模控制器补偿了质量和转动惯量的不确定性,实现了轨迹的跟踪;最后,利用Lyapunov理论证明了闭环系统的稳定性。仿真结果表明了算法的有效性。 相似文献
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凯悦 《世界航空航天博览》2005,(10):4-7
我国自行研制、生产的“前卫”-1(QW-1)便携式防空导弹武器系统于1994年英国范堡罗举行的国际航空航天展览会上首次展出,引起各国防各部门及传媒的极大关注。“前卫”-1是红外被动式自动寻的、单兵肩射便携式防空导弹。它可全向攻击高速喷气飞机和武装直升机等各种空中威胁目标。其任务是对前方地域内的战斗分队进行空中掩护、对前方装甲、机械化部队进行跟进掩护。“前卫”-1导弹系统的基本型为单兵便携式,它可根据用户需要加装在陆地军用车辆、舰艇、直升机上作为防空武器;也可与小口径高炮组合在一起,形成弹炮合一的自动化防空系统。 相似文献
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