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以CH3SiCl3 H2体系在1000~1300℃沉积了SiC涂层,研究了温度对涂层沉积速率的影响,应用自发形核理论解释了不同沉积温度下CVDSiC涂层的组织结构。结果表明,随着沉积温度的提高,CVDSiC涂层的沉积速率相应增大;1000~1200℃沉积过程为化学动力学控制过程,1200~1300℃沉积过程为质量转移控制,1000℃和1100℃沉积的SiC涂层表面光滑、致密;1200℃和1300℃沉积的SiC涂层表面粗糙、多孔;随着沉积温度的提高,CVDSiC涂层的晶体结构趋于完整,当温度超过1150℃时,涂层中除β SiC外还出现了少量α SiC。 相似文献
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文章描述了4代军用卫星反射镜用材料的研究发展历程,重点介绍了以SiC及其复合材料为标志的第三、四代反射镜的特点和优点、SiC反射镜及其复合材料反射镜的制备工艺、世界各发达国家关于SiC反射镜的应用,最后,对国内研究进展及今后需要进一步解决的问题提出了几点看法。 相似文献
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纤维增强陶瓷基复合材料 总被引:5,自引:1,他引:5
本文对国外纤维增强陶瓷基复合材料的研究现状、发展方向作了综述。从纤维、基体的各自固有性质和两者间的热物理化学的相容性以及其制备技术几个方面出发,说明了对纤维增强陶瓷基复合材料性能的影响。 相似文献
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