G2膜片质量监控仪的研制

介绍一种ＧＺ膜片质量在线测量系统。Ｇ２膜片是彩色电视机上的一个关键零件，在膜片上面有三个圆台平面，实测其平行度误差小于８μｍ。这个系统采用非接触传感器和ＰＣ１５００／小型计算机进行自动测量与控制，测量误差为±１μｍ，测量范围为（０～６０）μｍ。     

单板机在激光散斑法测量表面粗糙度中的应用

本文根据激光散斑原理并利用传递函数的概念,给出了散斑场归一化参数对比度与物面轮廓算术平均偏差 R_a 的近似关系式,并对 R_a≤0.072μm 的不同加工方法所获表面进行了联机研究,给出了粗糙度评定方法及测试软件.单板机用于激光散斑法测量表面粗糙度的实时计算与评定可大大提高测量精度和速度,同时可降低对系统的调试及被测试件的要求.本系统可自动计算、显示并打印被测试件的平均算术偏差 R_a 数值.     

一个高性能单反射面紧缩场

介绍了一个单反射面紧缩场,其反射面实体由多块面板拼装而成.单块面板成形基于"点阵钉模、真空负压、金属蜂窝"精密成形工艺,平均精度达到25μm(rms),拼装后总体形面精度达到40μm(rms).通过优化电气布局、边缘设计和馈源设计,该紧缩场具有优良电性能.给出了该紧缩场在39GHz时电性能实测曲线.      

微位移动态测量干涉仪智能系统

本文介绍了微位移动态测量干涉仪的计算机数据采集、处理系统以及4(1/2)位表头的改进和独特的输入接口。由于采用了先进的计算机技术,提高了干涉仪的精度,使其测量重复性3σ<0.002μm,并可根据用户需要,选用不同的采样间隔和测量范围,最后自动打印出被测试的电感式、电容式测微仪的非线性。     

新型光触针式表面粗糙度测量系统

介绍一种基于光驱聚焦检测技术的光触针式表面粗糙度测量系统。测量光束聚焦在被测表面上,当表面高度变化时,音圈电机驱动聚焦物镜移动,使光点始终聚焦在被测表面上,音圈电机的移动量就反映了表面高度的变化。该系统的垂直分辨力可达０．０１μｍ,不仅适用于表面粗糙度测量,还可用于１ｍｍ范围内的相对长度测量。     

加工表面形貌的在线检测及其应用

介绍了一种基于光针法的表面形貌测量装置,它能在线测量加工工件圆周方向的波纹度和轴向表面轮廓形貌,其垂直分辨率为0.02～0.10μm,横向分辨率为30～50μm。切削试验表明,该装置能够在线识别刀具上的积屑瘤、切削过程中的颤振和刀具磨损对加工表面形貌的影响。     

三坐标无触点自动测量系统

介绍了一种新的无接触三坐标测量系统,可以对具有复杂不可展的漫反射曲面的物体进行快速测量,得到其表面三维数据。采用非接触式光电测量法,在微机的控制下,可对物体进行快速自动测量。     

太阳同步轨道卫星光学特性

为了分析太阳同步轨道卫星的光学特性,对FY-1卫星的可见光和红外波段光学信号进行了仿真计算和模拟试验验证.通过对外部辐射及内部热源的分析,计算了卫星的温度场,采用随机起伏表面算法模拟表面覆盖材料外表面,通过阴影遮挡判断及双向反射分布函数(BRDF, Bi-directional Reflectance Distribution Function)模型计算卫星对外部辐射的反射特性,编程计算得到在可见光0.4~1.0μm和红外8~14 μm,14~16 μm波段下卫星的光学特性.结果表明红外辐射亮度与表面温度相关,8~14 μm最大约90 W/(m²·sr)、14~16 μm最大约20 W/(m²·sr).空间可见光辐射强度具有明显的镜面反射效应,卫星主体峰值2 200 W/sr.通过地面模拟测量空间目标的温度和红外辐射验证了温度及红外辐射仿真计算模型,可见光辐射强度仿真计算结果与地面模型卫星测量结果误差在20%以内.     

落管中双波长测温系统工作波长的优化设计

根据测量所要求的动态范围、线性度、灵敏度 ,通过数值计算得出落管中双波长温度测量中的工作波长及带宽的最佳范围 ,结合实际情况最终确定工作波长为 1 4 μm和 1 5 5 μm ,其带宽均为 0 0 3μm。     

一种非接触光外差轮廓仪

介绍了一种纳米级非接触超高精度光外差轮廓仪。该量仪是基于普通光路的外差干涉仪,两束具有微小频差的激光束照射到制件表面:其中一束光被会聚后作为测量光针扫瞄制件表面;另一束光则被用作参考光束。这两束光经反射后形成干涉,所得信号的光程差与制件表面高度变化成正比。量仪的横向分辩力小于2μm,垂直分辩力小于1nm。制件不需要进行大的调整。制件表面同时亦被作为测量参考面。经光电转换后,信号由微机处理,从而快速完成测量、计算、显示与打印各种参数与图形。     

利用六端口反射计测量介质材料的ε_r 和μ_r

文章介绍了利用六端口反射计自动测量微波材料的复介电常数ε,和复导磁率μ(?)的原理、测量方法,给出了一些材料样品的测试结果。     

喷丸处理对IC6合金制导向叶片NiCoCrAlY涂层 使用性能的影响

采用离子电弧镀的方法在IC6合金制导向叶片上涂覆了NiCoCrAlY包覆涂层,为了进一步改善叶片表面的粗糙度,进行了喷丸处理.结果表明,喷丸处理使叶片表面的粗糙度得到明显改善,其平均值从未处理前的2.04μm提高到处理后的1.02μm.经过22循环热震试验后,喷丸处理和未喷丸处理叶片的涂层与基体的结合均十分完好,喷丸处理可进一步提高涂层的抗氧化性能.      

用准单色光散射法测量中等以上精度表面粗糙度

提出一种通过对远场散射光分布的统计分析来测量中等以上精度表面粗糙度的新方法。采用半导体激光器作为光源,并使用一维 CCD 器件来探测散射光分布。实验结果表明,在 R_a≤2.2μm 的范围内,远场归一化散射光分布的标准偏差(σ)与标准粗糙度参数 R_a 之间有很好的相关关系。     

自动和半自动探针台的载片台水平位移测量方法研究

为解决自动和半自动探针台的载片台水平方向位移发生偏差时,导致探针压点位置不准,从而使测试结果不可靠,甚至伤及芯片和探针的问题。根据实际工艺和溯源机构的标准器具特性,设计了标准尺的图形,在苏打玻璃上电镀5μm宽的金线条,制作成152.4mm×20mm的长方形标准尺,其测量范围为(0~150)mm。对标准尺进行了定标,定标不确定度为1.0μm。在测量范围内,进行了试验分析,评定了测量不确定度。结果表明:标准尺测量的水平位移偏差小于4μm,满足测试需求。     

圆度仪技术改造通过鉴定

由航空航天工业部一院102所承担的测头旋转式圆度仪技术改造任务于1992年5月26日通过鉴定。经过改造,仪器精度由0.05μm提高至小于0.01μm,达到国际先进水平。改造后的仪器具有主轴误差自动修正功能;按四种圆度评定方法自动评定圆度、显示与记录圆图,512个采样点圆度偏差打印输出、存盘保存和谐波分析功能以及自动转位检定主轴误差和测量超精圆度功能。此成果可挖掘设备潜力,节约投资,解决标准石英半球     

基于近场散射的颗粒粒径分布测量

针对传统的前向小角散射粒径测量系统中心光过强、杂散光干扰、散射角过小等缺点,本文采用一种新型的近场散射(NFS)方法测量前向小角散射光,研究并搭建了基于近场散射的颗粒粒径测量系统,将最大散射角提高到40.5°;在无需空白测量的情况下采用差分方法对透射光和散射光干涉成的散斑图像进行处理,有效去除中心光和杂散光的影响;对差分散斑图像进行快速傅里叶变换(FFT)频谱处理得到散射光强分布,利用Chahine算法对颗粒粒径进行了反演。最后,利用已知粒径(39.2μm和67.3μm)的标准颗粒对测量系统的准确性进行了单峰分布的验证,测量误差在5%之内;对于粒径为39.2μm和67.3μm的混合颗粒进行了双峰分布验证,在43.3μm和74.1μm处出现峰值,测量误差在10%左右。     

基于互相关的自动聚焦方法

针对自动聚焦系统,提出了基于互相关的自动聚焦算法.分析了传统自动聚焦算法在速度和精度方面存在的不足,引入互相关原理,定义基于互相关的模板相关算法F_TC.由于选择模板图像的不同,实验的结果不同,进而导致自动聚焦分析的算法也不相同.根据模板图像和实验结果,得出该算法存在2种形式——模板相关的第1种形式和第2种形式.模板图像为聚焦前位置图像,称为模板相关的第1种形式,该形式的实验曲线是由小到大,再减小的过程;模板图像为聚焦图像时,称为模板相关的第2种形式,该形式的实验曲线是由大到最小,再增大的过程.2种形式的图像处理实验结果,与其他几种主要聚焦评价函数(平方梯度函数,Brenner函数)进行比较,结果表明该算法简单,原理容易实现,实验曲线能避免各种波动,因此基于互相关的自动聚焦算法提高了自动聚焦的精度和速度.该算法应用于微流控芯片对准装配自动聚焦系统中,取得了良好的聚焦效果.      

微机对一种位移系统的点位控制

本文介绍了一个 Z—80单板微型计算机控制的位移系统。该系统以步进电机作为驱动器件,以光栅位移检测装置作为位移检测反馈器件,采用点位控制原理,形成一个闭环似移控制系统。该系统工作可靠,位移控制精度达到±2.5μm,并可扩展为多路并行的点位控制系统。     

利用6S进行月光条件下遥感器信号模拟研究

以太阳为光源的卫星遥感器,可以采用6S或MODTRAN等辐射传输计算软件对其入瞳处的辐亮度进行计算。而在微光或月光条件下,遥感器是对观测目标反射的月亮辐射进行遥感观测,因此在进行辐射传输计算时需要代入月球的辐照度数据。可以利用已公布的月球表面反射率和已知的大气层外太阳辐照度来计算月球辐照度,并对6S辐射传输计算进行适当的修改进行计算。通过对月球辐照度计算原理进行了详细的描述并计算得到了波长在0.250μm~1.500μm范围内的月球表面辐照度,并给出了一个宽波段遥感器的微光动态范围。     

HS—400半自动周节检查仪的数据处理系统

ＨＳ—４００半自动周节检查仪数据处理系统是在其主机基础上研制成功的。该系统采用相对测量法，对齿轮周节参数进行测量，可直接计算出ΔＦ＿ｐ和Δｆ＿ｐ，并可打印输出测量结果和曲线。该系统的自动控制系统和安全保护系统采用了ＧＡＬ技术，使自动控制和安全保护更可靠。该系统研制成功后提高了原仪器的准确度和自动化程度。与德国的ＵＰ—６３０进行比对，其测量值之差小于２μｍ。