飞机座舱有机玻璃透明导电膜的制备及透光和微波散射性能

研究了用溅射法在飞机座舱有机玻璃上镀制金属-介质组合透明导电膜的工艺 ;测试和分析了金膜、银膜、氧化钛膜的光学特性、导电性及形貌结构 ;按薄膜光学原理进行膜系匹计算 ,并分别镀制了 Ti O2-Au-Ti O2 、 Ti O2-Ag-Ti O2 组合透明导电膜。在 40 0～ 760 nm可见光波段内 ,透光率分别达到了 74%和 81 % ,在 8～ 1 2 GHz频段内对垂直入射的微波 ,反射率分别达到-1 .1 d B和-0 .8d B。     

ITO透明导电膜的制备及性能

研究了用直流反应磁控溅射法在无机玻璃基片上制备ＩＴＯ透明导电膜的工艺;测试了膜的电阻率、对可见光的透射率及对垂直入射微波的反射率和透射率;研究了反应溅射时氧浓度、溅射后退火气氛对电阻率和透光率的影响;ＩＴＯ膜方块电阻对微波反射率和透射率的影响     

溅射工艺对D/M/D结构中SiN_x介质膜光学常数的影响

采用射频反应溅射制备SiNx薄膜,作为以Ag膜为功能层的D/M/D结构透明导电膜中的电介质膜,并研究射频功率、气压以及N2流量对SiNx薄膜光学常数的影响。结果表明,SiNx薄膜具有非晶态结构,光学常数在300~2500nm波长范围内符合正常色散关系。椭偏测试及Cauchy模型拟合结果表明,折射率随功率、气压以及N2流量升高而降低,SiNx光学常数最佳的工艺条件为功率300W,气压0.16Pa,N2与Ar流量比例1∶1,此时薄膜折射率为2.02,消光系数为0,最接近具有化学计量比的Si3N4薄膜的光学常数。按此工艺制备的Si Nx膜在优化厚度为44nm的条件下作为20nm厚度Ag膜的电介质膜,当只有表面SiNx膜时,Ag膜透光率由29.17%提高至55.01%,当Ag膜上下均制备SiNx膜时,透光率进一步提高至66.12%。     

铝硅酸盐玻璃/聚氨酯层合界面结构对层合玻璃光学性能的影响

系统研究界面腐蚀条件对航空层合玻璃光学性能的影响。利用光电雾度计、扫描电镜、紫外可见分光光度计等对铝硅酸盐玻璃和层合玻璃进行测试分析。结果表明,随着腐蚀液浓度(或腐蚀时间)增加,铝硅酸盐玻璃的透光率分阶段降低,铝硅酸盐玻璃的雾度先缓慢增大后迅速增大;然而,层合玻璃的透光率,随着腐蚀液浓度(或腐蚀时间)增加先增大后降低。腐蚀液中的表面活性剂对层合玻璃透光率影响甚微。当腐蚀液浓度为10%,腐蚀时间为10min时,制备的层合玻璃有较好的光学性能。     

膜层厚度连续重复最佳化的光学薄膜制备

由于各种原因,在制作光学多层膜系时,各层的厚度都偏离理想数值,结果常常造成滤波器性能不佳。本文介绍以监控单色透射率为基础,在一定程度上补偿这些误差的无吸收多层膜镀制方法。在各层膜沉积之后,计算机程序给出实际监控数据,根据这些数据推导出膜层的厚度。之后,通过其余层的厚度变化,计算程序可使系统性能最佳化。我们对在玻璃上制作的七层中性分光镜进行了数字和试验研究。本文提供在玻璃上镀 AR 层的理     

座舱透明件光学性能分析与外形优化

针对某型座舱透明件,提出一种合理的数学建模方式,并以此为基础,对透明件的角偏差计算进行推导。设定合理的评价标准,利用角偏差及其增量对某型座舱透明件的光学性能进行分析评价。通过对光学性能数据进行处理分析,设计目标函数,不断优化透明件的脊线外形,以提高光学性能。结果表明：修整透明件的脊线外形,能够有效提高座舱透明件的光学性能;适当放大设计域,则优化效果愈加明显。     

有机玻璃基底AZO/Ag/AZO复合薄膜的制备与性能

采用低温磁控溅射技术在有机玻璃（聚甲基丙烯酸甲酯PMMA）表面制备铝掺杂氧化锌（AZO）叠层AZO/Ag/AZO透明导电薄膜，研究AZO溅射功率对AZO/Ag/AZO薄膜结构和性能的影响，探讨PMMA层合结构的耐湿热性和加温性能。通过扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）、X射线衍射仪（XRD）表征薄膜的形貌和结构。结果表明：AZO的溅射功率影响了AZO层表面能以及薄膜的结晶度，在100 W和150 W溅射功率下制备出的AZO/Ag/AZO薄膜室温下具有3.7Ω/sq的低薄膜电阻和86.1%的高透光率，采用PMMA和聚氨酯胶片对薄膜进行层合封装，湿热30天后仍保持光学、电学性能稳定。PMMA层合结构在加温过程中的时间-温度曲线表明在5 V直流电压下层合玻璃具有较快的温度响应时间和良好的温度均匀性。-10～-40℃空气对流中PMMA层合结构表现出良好的温度稳定性。     

成果简介

1　透明导电膜本成果应用光学薄膜干涉和半导体能带理论 ,用氧化铟与氧化锡以科学合理比例混合作为膜料 ,并以电子束轰击热蒸发真空镀膜而成的透明导电膜。主要技术指标 :可见光透射率达 92 % ;方电阻小于 30Ω ;激光的透射率为 90 % ;能承受功率密度为 0 .8ＭＷ的激光器的破坏 ;在 - 40℃环境下 ,施加2 8Ｖ电压 ,经过 5ｍｉｎ～ 10ｍｉｎ ,可升温到 5℃以上 ,其机械理化性能满足国家标准要求。该产品能消除光学观测窗口的霜与雾 ,可作为液晶电子指示器的透明导电元件。本成果可用于军事战车 ,也可用于民品上 ,如在医疗喉镜上使用 ,效果良好…     

注射成型和注射压缩成型透明件的光学性能对比与分析

通过测试注射成型和注射压缩成型透明件的光学性能以及内应力分布和厚度分布,并结合两种成型方式的技术特点,对注射成型和注射压缩成型透明件的光学性能进行了详细的比较和分析,结果表明:注射成型和注射压缩成型透明件具有良好的表观光学质量,透光率和雾度接近,这与两者在成型材料和表面粗糙度一致有关.但与注射成型透明件相比,注射压缩成型透明件具有更低的双折射、光学畸变和角偏差.注射压缩成型透明件的低双折射源于内部大分子取向程度低,从而取向应力低;低光学畸变和低角偏差光学性能特点除了与低残余应力有关,还与注射压缩成型具有更均匀的收缩率有关.     

铌掺杂ITO镀膜玻璃电磁散射特性试验

座舱玻璃镀膜是实现飞行器隐身技术的重要途径之一。利用雷达散射截面(RCS)均值增益研究铌掺杂ITO镀膜玻璃隐身性能;针对不同方块电阻的铌掺杂ITO镀膜玻璃,进行系列化RCS暗室测试,分析不同入射频率、极化方式的电磁散射特性。结果表明:方块电阻增大时电磁散射减弱,合适的方块电阻(小于40Ω/m~2)有利于实现座舱外形隐身,散射特性与金属接近,频率较高时,镜面散射波峰较窄。     

Microstructure and Optical Characterization of Magnetron Sputtered NbN Thin Films

Some fundamental studies on the preparation, structure and optical properties of NbN films were carried out. NbN thin films were deposited by DC reactive magnetron sputtering at different N2 partial pressures and different substrate temperatures ranging from –50 ℃ to 600 ℃. X-ray diffraction analysis (XRD) and scanning electron microscopy (SEM) were employed to characterize their phase com- ponents, microstructures, grain sizes and surface morphology. Optical properties inclusive of refractive indexes, extinction coefficients and transmittance of the NbN films under different sputtering conditions were measured. With the increase in the N2 partial pressure, δ-NbN phase structure gets forming and the grain size and lattice constant of the cubic NbN increasing. The deposited NbN film has relatively high values of refractive index and extinction coefficient in the wavelength ranging from 240 nm to 830 nm. Substrate tem- perature exerts notable influences on the microstructure and optical transmittance of the NbN films. The grain sizes of the δ-NbN film remarkably increase with the rise of the substrate temperature, while the transmittance of the films with the same thickness decreases. Ultra-fine granular film with particle size of several nanometers forms when the substrate is cooled to –50 ℃, and a remarkable aug- mentation of transmittance could be noticed under so low a temperature.     

脉冲激光辐射下VO_2薄膜的光限幅性能

采用反应溅射和后续退火工艺,在石英衬底上制备具有热致相变特性的VO_2薄膜,并对薄膜的光学性能进行表征。研究发现:在弱光辐射下,随着温度的改变,薄膜的透射率在可见及近红外光区会发生显著变化,具有良好的相变光开关特性;在强光辐射下,制备的VO_2薄膜同样具有良好的红外光调制深度;当脉冲激光波长为1064 nm时,随着脉冲能量的逐渐增强,薄膜的表面反射率逐渐降低,光限幅性能呈现出先升高再降低的趋势,其透射率最低可降至7%,薄膜的脉冲激光损伤阈值约为50 mJ/cm~2。     

光学滤光片薄膜边缘应力研究

以光学滤光片薄膜边缘应力作为对象,研究了Ge/Zn S单、多层光学薄膜应力的变化规律。通过实验研究了离子束轰击能量以及真空退火温度等因素对Ge/Zn S光学薄膜应力类型、大小、变化及其分布的影响规律。Zn S薄膜的应力为压应力,采用离子束辅助工艺后薄膜边缘应力变得均匀;真空退火使Zn S薄膜的应力减小为原来的一半。通过优化沉积参数和张应力、压应力薄膜的组合降低了Ge/Zn S多层光学薄膜的应力,结果表明其平均应力分别为0.1 MPa,而且处于压应力状态。     

Magnetic and Optical Properties of the TiO2-Co-TiO2 Composite Films Grown by Magnetron Sputtering

The TiO2-Co-TiO2 sandwich films were successfully grown on glass and silicon substrata making alternate use of radio frequency reactive magnetron sputtering and direct current magnetron sputtering. The structures and properties of these films were identified with X-ray diffraction (XRD), Raman spectra and X-ray photoemission spectra (XPS). It is shown that the sandwich film consists of two anatase TiO2 films with an embedded Co nano-film. The fact that, when the Co nano-film thickens, varied red shifts appear in optical absorption spectra may well be explained by the quantum confinement and tunnel effects. As for magnetic properties, the saturation magnetization, remnant magnetic induction and coercivity vary with the thickness of the Co nano-films. Moreover, the Co nano-film has a critical thickness of about 8.6 nm, which makes the coercivity of the composite film reach the maximum of about 1413 Oe.     

IBAD法沉积TiN薄膜的机械和耐腐性

用离子束辅助沉积(IBAD)方法在医用不锈钢317L基底上沉积TiN陶瓷薄膜。通过X射线衍射(XRD)和俄歇电子能谱(AES)分析研究了薄膜的微结构；测试了薄膜的耐磨性及薄膜与基底的附着力：运用电化学腐蚀的方法检测了薄膜在Hank’s模拟体液中的耐腐蚀性能。研究结果表明：用高、低能氮离子束兼用的IBAD方法沉积TiN多晶薄膜后，材料表面结构和性能发生明显改变。表面硬度和耐磨性有明显提高，在Hank’s模拟体液中显示出更强的抗腐蚀能力。     

Analyses of techniques for measuring DC and AC electric fields in the magnetosphere

Methods for measuring the amplitudes and directions of DC electric fields and the directions, power spectra, and dispersion relations of AC electric fields in the magnetosphere are discussed with emphasis on their applicability in various regimes of the magnetospheric plasma. The two classes of techniques that are discussed are measurement of the bulk flow of the plasma and the potential difference between pairs of separated conductors. The plasma bulk flow discussion includes measurements by ionospheric radar backscatter, whistler mode wave propagation, energetic or thermal particle trajectories, artificial ion cloud motion, probe measurements of bulk flow, vehicle wake analyses, effects of bulk flow on the coupling of antennas, and the bulk flow of an artificial electron beam.     

多目标规划方法在隐身涂层设计中的应用

根据多层吸波层材料电磁波反射系数的传输线理论，通过建立涂层材料的介电及磁性参数数据库、采用多目标规划法，进行各层材料的选择及层厚的优化设计，为多层隐身涂层材料的研制提供强有力的设计工具。该研究开发的软件具有吸波材料参数数据库、全面搜索优化、部分选定优化、特定结构反射系数计算等功能。最大可分5个波段设定不同的设计指标，最大设计层数为6层。     

多弧离子镀Cr/Cr2O3薄膜红外及可见光谱特性

采用多弧离子镀制备了具有不同色彩的Cr/Cr2O3薄膜,利用紫外-可见光分光光度计研究了薄膜在可见和红外波段的光谱特性,利用SEM进行薄膜表面结构和形貌的分析,利用四探针测阻仪测试了样品的方块电阻,利用红外发射率测量仪测试了样品的红外发射率。结果表明:Cr/Cr2O3薄膜具有丰富的色彩,在可见光区有明显的反射峰,可见光区光谱特性主要受膜厚的影响,方块电阻随膜厚增加而有变大,样品的红外发射率主要取决于金属层,平均红外发射率最小降至0.371。