压阻式压力传感器及其应用电路设计

介绍了压阻式传感器的工作原理以及相关应用电路，并给出了一个应用示例加以说明。     

高温光纤压力传感器通过技术鉴定

一种高温性能良好的GGY—2型高温光纤压力传感器已由南京航空学院研制成功,于最近通过了部级技术鉴定。鉴定组的专家认为,这种传感器在国内处于领先地位,达到90年代初国际先进水平。 该传感器具有良好的高温性能,在非冷却情况下,可以直接测量气体温度为300℃的动态压力;在冷却情况下,可以测量1700～1800℃燃气的脉动压力,非常适用于压气机失速喘振时压力变化过程、航空发动机燃烧室压力的测试,在内燃机、压缩机等高温气流动态压力的测试中也具有很大的实用价值。这种技术上先进的高温动态压力传感器,灵敏度高,工作频率范围宽,精度高,安装使用方便,     

压阻式压力／温度传感器

本文介绍的发动机的压阻式压力／温度复合传感器，可在以－４０℃－＋１５０℃范围内工作。这种传感器可为外部有源电子装置提供压力信号和温度信号。外部有源电子装置安装在远离传动装置和发动机高温区域的部位。因此不会受热源的影响，而传感器安装在传动装置的深部，以便能准确，可靠地测出压力和温度值。     

面向硅压阻式压力传感器温度补偿的组合方法

提出一种面向硅压阻式压力传感器温度补偿的组合方法,采用拟合法建立不同温度下压力传感器变换函数,采用基于变换函数系数的线性插值法获得温度补偿后传感器变换函数,设计了压力传感器信号处理模块,开展了基于组合补偿方法的压力信号补偿过程仿真,结果表明经温度补偿后,压力测量精度在0.1%以内,温度补偿过程耗时约10 μs,补偿算法占用片上资源少,能够满足压气机出口压力测量要求。      

工艺偏差对压阻式硅微压力传感器性能的影响

工艺实践表明,采用体硅湿法刻蚀工艺加工压阻式微型压力传感器时,敏感膜片会存在厚度偏差,电阻条偏离应力最大区域导致位置偏差,电阻条偏离期望的[110]晶向造成角向偏差.结合工艺实验并借助有限元法分析了上述几种主要工艺偏差对灵敏度、线性度等性能的影响.研究表明,2μm的厚度偏差会使灵敏度下降大约10%,线性度会明显下降;位置偏差会使敏感元件偏离应力最大区域而降低灵敏度:5°的电阻条角向偏差会使灵敏度下降大约3%.相关研究可为最大程度减小工艺偏差的影响提供参考依据.     

压阻式加速度传感器封装应力隔离结构分析

测试特性的温度漂移是压阻式加速度传感器研发中的固有问题,与器件制造的多个环节相关,是多因素共同作用的结果。封装应力的隔离是消减传感器特性温度漂移的重要手段之一。为详细分析封装应力隔离结构的引入效果及其对传感器测试特性的影响,以传统双桥式敏感结构为基础,采用有限元方法分析了封装应力隔离结构对传感器附加干扰载荷抵抗力的提升作用,并分析了从其引入后对传感器敏感应力和结构固有频率的影响。分析结果表明,引入封装应力隔离结构可有效降低外部干扰应力对传感器敏感结构的影响,同时也会改变结构固有频率在内的传感器测试特性。因而,当封装应力隔离结构应用于高频型加速度传感器时,需通过优化结构质量分布、采用横向敏感结构等方法对提升结构自身固有频率及实现敏感方向与隔离变形方向解耦等问题进行进一步优化。     

箔式镱应力传感器的动态压阻特性研究

利用空气炮对研制的箔式镱应力传感器的动态压阻特性进行了校准,给出了传感器响应的校准拟合直线方程和线性误差,表明该传感器具有量程范围宽、频响高、线性度较高、温度系数小等特点,可广泛应用于强冲击荷载下混凝土或岩石等介质中的应力测试.     

小型高精度张丝压力传感器

为了适应航空工业发展的需要,努力发展和研制新的航空产品测试设备,提高航空产品测试水平,有着十分重要的意义。压力传感器在风洞试验、飞行试验、发动机试验和其它压力参数测试方面,都有着重要的应用。尤其是小型化、高精度、低量程的压力传感器,需要尤为迫切。YL—01小型高精度张丝压力传感     

“电子计算机三维成像系统”通过技术鉴定

由三维显示技术研究室沈笑云等研制的“电子计算机三维成像系统”于1990年10月6日在中国民航学院通过了民航局科技委员会技术鉴定。“电子计算机三维成像系统”由偏振分像三维显示装置、三维成像软件、偏振光滤光镜和计算机显示系统构成。首次为计算机平面图象显示系统增添了动态全彩色立体显示功能。该系统配有系列随机点体视检测图生成软件,最小视差达20″。该系统可做为高精度、高准确度的体视视镜度检测仪器,特别适用于对飞行器以及其他高速运载工具的驾驶人员进行体     

基于MAX1452的硅压阻压力传感器数字补偿设计与拟合分析

随着现代科学与技术的高速发展,高精度传感器的应用日趋成熟。MAX1452作为一种高度集成的模拟传感器信号处理器,具有16引脚SSOP封装、全模拟信号通道、低功耗、温度范围宽等特点,可用于硅压阻压力传感器的数字补偿。硅压阻压力传感器输出的信号经过MAX1452校准补偿版输出模拟信号,再经过A/D转换器输出数字信号,在这个过程中,MAX1452全模拟信号通道没有引入量化噪声,利用16位DAC实现数字化校正,16位DAC对信号的偏移量和跨度进行校准,实现硅压阻压力传感器的数字补偿。     

微压压力传感器的结构改进

硅压力传感器具有小型和高灵敏等的优点，近年来小型高灵敏度的压力传感器的量程已低到１ｋＰａ。在这一发展过程中硅弹性体结构的改进起了很大的作用，本文介绍了作者首先提出了适用于微压压力传感器的梁膜（岛）结构以及以后几年来出现的相近的结构，用这些结构都已制成量程为１ｋＰａ的压力传感器 。     

“1700℃校准风洞课题”通过技术鉴定

1998年12月9日,由航空工业总公司第三0四所研制的原国防科工委“八五”重点课题“170o”C热校准风洞的研制”课题在京通过技术鉴定。会议由航空工业总公司质量局副局长孙守魁主持。来自航空工业总公司、解放军总装备部、清华大学、北京航空航天大学、中国科协、计量院,中航总6O6所、624所、608所的专家和领导参加了鉴定会。由中国科学院、工程院院主顾诵芬担任专家评审组组长、发动机专家吴大观、原中航总科技委副主任张池等10位专家组成的评审组对课题进行了认真的评审。与会专家和领导认真听取了该课题的技术总结报告、工作总结报告、…     

“拉萨航线后续机选型研究”通过技术鉴定

由中国民航学院、西南航空公司、民航第一研究所共同承担的“拉萨航线后续机选型研究”于1990年6月22日在成都市西南航空公司通过了中国民航局科技委员会科技成果鉴定。拉萨航线是我国一条具有重大政治和经济作用的航线,其后续机选型是当前急待解决的问题。该课题是具有较大技术难度的多学科综合分析研究课题,涉及到飞机分析、经济分     

热激励谐振式硅微结构压力传感器

对一种以方形硅膜片作为一次敏感元件,硅梁作为二次敏感元件的热激励硅谐振式压力微传感器进行了较系统的研究 :建立了微传感器敏感结构的工程用数学模型;以所建立的模型实际设计了敏感结构参数 :方形膜边长 4 mm,膜厚 0.1 mm,梁谐振子长 1.3mm,宽 0.0 8mm,厚 0.0 0 7mm;采用微机械加工工艺加工出了原理样件;采用电热激励、压阻拾振方式对其进行了开环测试     

“风洞外挂物投放实验技术”通过部级技术鉴定

 南京航空学院空气动力研究所近两年来在外挂投放实验技术研究方面首次研制成功“异向同步合成实验技术”,即在同一张胶片上可得到同一物体、同一瞬间、两个不同方向的一一对应的正面像和侧面像。此外,还首次实现了“投放实验全过程的微机控制自动化”,该系统控制灵活、准确,并可实现多投放物的自动化控制。此项成果已于1987年1月27日通过了航空工业部的鉴定。与会专家认为:异向同步合成实验技术研制成功解决了投放实验异向拍摄同步性的技术难题,对空间瞬变过程的研究提高了自动化水平,大大节约人力物力。此     

“整体叶轮变载面叶型电加工工艺”通过部级技术鉴定

三七○厂完成的“整体叶轮变截面叶型电加工工艺”科研课题已通过部级技术鉴定.针对涡轴六机离心叶轮导风轮和整体涡轮盘叶型难加工的技术关键、课题组从一九七九     

“九五”开局之年喜结硕果直11胜利通过技术鉴定

我国自行研制的第一个直升机型号——直11型直升机,1996年12月26日在江西景德镇胜利通过技术鉴定。这是我国直升机行业在“九五”开局之年所取得的重大成果。国内新闻媒介都先后作了报道,把这个喜讯传遍大江南北、长城内外。对直11通过技术鉴定作过报道的新闻单位有《人民日报》、中央电视台、中央人民广播电台、《工人日报》、《光明日报》、《科技日报》、《军工报》、《中国航空报》、《国际航空》、《中国技术     

发动机参数测试的新型传感器——谐振式声表面波压力传感器

声表面波压力传感器的研究属于国际前沿领域,同其它类型的传感器相比,声表面波压力传感器有着自己独特的优势。它体积小、重量轻、精度高、数字量输出、功耗低、抗干扰、牢固可靠、成本低廉,代表了传感器的发展方向。本文首先研究了声表面波技术的理论基础,在此基础上又深入探讨了谐振式声表面波压力传感器的基本组成及工作原理。