脉动压力传感器研制

测量脉动压力用压阻式压力传感器，通过有限元应力分析求得灵敏度高，线性又好的双岛硅膜片结构；采用双面对准光刻工艺，各向异性腐蚀微机械加工制硅膜片等新技术。最后给出了脉动压力传感器的动、静态性能指标。     

静电封装技术在硅真空膜盒上的应用

静电封装是继玻璃烧结等新工艺后又一种能实现硅敏感膜片刚性联结的理想工艺方法,并日益在制造硅压阻式各型传感器的硅膜盒组件上显示出其优越性。本文着重介绍静电封装技术在硅真空膜盒上的应用,我们建立了一个小于5×10~(-5)毫米汞柱绝对压力的基准压力参考值。这使研制的压阻式绝对压力传感器具有精度高、稳定性好的突出性能。1.静电封装的提出利用单晶硅材料的压阻效应,用半导体平面制造工艺做一个敏感元件-硅膜片。把硅膜片加工成诸如硅杯形一体化整体结构,使其成为周边固定的薄板膜片,有选择地采用胶粘、     

箔式镱应力传感器的动态压阻特性研究

利用空气炮对研制的箔式镱应力传感器的动态压阻特性进行了校准,给出了传感器响应的校准拟合直线方程和线性误差,表明该传感器具有量程范围宽、频响高、线性度较高、温度系数小等特点,可广泛应用于强冲击荷载下混凝土或岩石等介质中的应力测试.     

压阻式压力／温度传感器

本文介绍的发动机的压阻式压力／温度复合传感器，可在以－４０℃－＋１５０℃范围内工作。这种传感器可为外部有源电子装置提供压力信号和温度信号。外部有源电子装置安装在远离传动装置和发动机高温区域的部位。因此不会受热源的影响，而传感器安装在传动装置的深部，以便能准确，可靠地测出压力和温度值。     

一种压力传感器零位温漂的补偿方法

介绍了一种解决微型动态压阻式压力传感器温补问题的方法,导出了计算公式,其特点是补偿元件少,方法更简便易行。     

地下原型坑道中油气爆炸的实验研究

在截面积为7．2m^2，长为700m的地下原型坑道中进行了油气混合物的爆炸实验，实验中使用了加速油料挥发气化的雾化装置以及远距信号传输和采集系统。通过光电火焰传感器和压阻传感器测试爆炸过程中火焰和压力信号，得到了地下原型坑道中油气爆炸过程的基本参数，揭示了爆炸过程中组分、湍流对燃烧与压力波发展影响的规律。     

涡喷发动机对湍流型动态压力畸变频率响应的实验研究

 一、研究与分析方法 本实验在地面台架上的一台涡喷发动机上进行。图1为试验装置前段及挡板装置简图。挡板用以产生较强的湍流型动态压力畸变,而压气机出口测点的动态压力P₂*与进口环面相应半径上测点的动态压力P₁*则构成相关分析的输出与输入信号。动态压力测量采用Kulite微型固态压阻式传感器,并经放大系统,由磁带机记录下在湍流型动态压力畸变工况时发动机进入漂移型喘振的压力信号过程,试验后通过磁带机回放压力脉动数据,并在信号分析仪上处理。为了得到准确的喘前压力脉动数据,直接以喘振发生时的P₂*激烈下降作为同步外触发信号,并采用负向时间延迟来控制喘前数据采集,从而保证了喘前信号的可靠性。     

基于MAX1452的硅压阻压力传感器数字补偿设计与拟合分析

随着现代科学与技术的高速发展,高精度传感器的应用日趋成熟。MAX1452作为一种高度集成的模拟传感器信号处理器,具有16引脚SSOP封装、全模拟信号通道、低功耗、温度范围宽等特点,可用于硅压阻压力传感器的数字补偿。硅压阻压力传感器输出的信号经过MAX1452校准补偿版输出模拟信号,再经过A/D转换器输出数字信号,在这个过程中,MAX1452全模拟信号通道没有引入量化噪声,利用16位DAC实现数字化校正,16位DAC对信号的偏移量和跨度进行校准,实现硅压阻压力传感器的数字补偿。     

压阻式压力传感器及其应用电路设计

介绍了压阻式传感器的工作原理以及相关应用电路，并给出了一个应用示例加以说明。     

一种应用于超小型无人机的新型定高传感器

使用美国ICSENSOR公司的压阻硅式绝压传感器，对静压进行测量，并设计出适合超小型无人机使用的新型定高传感器，这种定高传感器具有灵敏度高，重量轻，单电源供电，板式结构。可靠性高，重复性好的特点，填补了应用于超小型无人机的定高传感器产品的空白。     

面向硅压阻式压力传感器温度补偿的组合方法

提出一种面向硅压阻式压力传感器温度补偿的组合方法,采用拟合法建立不同温度下压力传感器变换函数,采用基于变换函数系数的线性插值法获得温度补偿后传感器变换函数,设计了压力传感器信号处理模块,开展了基于组合补偿方法的压力信号补偿过程仿真,结果表明经温度补偿后,压力测量精度在0.1%以内,温度补偿过程耗时约10 μs,补偿算法占用片上资源少,能够满足压气机出口压力测量要求。      

单晶硅微压传感器的研制

风洞测压及实现自动检测、自动控制,急需提供高精度、测量微压的压力传感器。本文介绍一种利用单晶硅压阻效应研制成的微压传感器。其特点是精度高、灵敏度高,适用于对不同参考压力的测量。文中简介传感器的工作原理、技术指标,着重讨论微压传感器的设计、工艺特点。     

列车交会动态压力波实车测试系统的开发与应用

简述了列车交会动态压力波实车实验测试系统的组成和基本原理,系统以压阻式压力传感器、数据采集仪和微机为核心,应用超声、红外检测技术,实现了列车交会压力波、交会车辆侧壁间距及相对车速的同时测量,并成功应用于广深线实车实验中,文中还探讨了实车实验中存在的其它问题和解决方法。     

燃气射流起始冲击波形成机理的实验研究

利用实验研究的方法对燃气射流起始冲击波的形成机理进行研究。目的在于研究其发生、发展的规律,为寻求降低其危害性的研究提供参考。实验中使用了激光Ｍｏｉｒｅ偏拍仪对起始冲击波场的形成初期进行了光学显示,同时还使用了压阻式压力传感器对起始冲击波超压进行了测量。通过对测量结果的分析,认识了燃气射流起始冲击波的物理本质且总结出其形成和发展的一般规律,它在近场的高峰值超压对火箭武器的承载设备具有破坏作用。     

基于边界层燃烧方法的宽速域飞行器内流道减阻研究

为了降低宽速域飞行器的内流阻力，基于边界层燃烧方法，分析了系列进口马赫数条件下二维扩散段总阻力中摩阻和压阻的特性，研究了不同进口马赫数下摩阻和压阻分量对总减阻的贡献、燃烧影响区域和壁面热流密度，探讨了喷射参数对减阻效果的影响，探索了边界层燃烧方法在典型混压式进气道中的减阻应用。结果表明，随着进口马赫数的增加，总阻力中摩阻分量随之增加；边界层燃烧对摩阻和压阻减阻的机理有所不同，壁面附近流场特性变化使得摩擦系数减小，燃烧局部增压对壁面产生的增推效果使得压力系数减小；从总内阻减阻百分比看，在相同燃料/空气当量比下，低马赫数工况下边界层燃烧减阻效果不如高马赫数工况，且在低马赫数工况下，喷嘴附近壁面热流密度会显著增加；在本文所研究的参数范围内，摩阻和压阻对当量油气比更为敏感，而对喷射方向和喷射速度不敏感。     

冲击波压力传感器测试系统的动态标定

介绍压力场测试中所采用的压电压力传感器的标定方法。压力场测试中所采用的传感器是一种以压电晶体做敏感元件的压力传感器，它可以将压力讯号直接转换成电荷输出，其输出量与被测量压力成正比。该传感器具有较大的测压范围、较好的线性、快速的上升时间、高的压力-电荷灵敏度和较小的几何尺寸。给出了压电压力传感器的实验室标定方法和野外使用环境条件下的现场标定方法，并进行了对比研究。     

CGW—1单晶硅微压传感器简介

一、结构与工作原理 CGW-1单晶硅微压传感器是利用硅的压阻效应,以硅平面工艺为基础制成的一种新型压力传感器,也称压阻传感器。其结构如图。硅膜片组件是传感器的核心,在N型(111)硅膜片(图右部)的<110>晶向上,在等效应区扩散12个P型电阻,选择一组最佳电阻组成电桥,以直径为50微米的金丝热压焊在扩散电阻的铝电极上,并将另一端以锡焊联到绝缘子的柯伐丝上,组成四臂全差动惠斯登电桥。膜片与硅环用金硅共熔法形成刚性连接。硅膜片组件装于壳体与隔环中间,用螺纹压盖通过O型密封圈将其轴向压紧,构成密封压力腔,并     

基于比例阀门的升降速度控制方法研究

提出了一种新的航空升降速度标准信号自动产生方法.从控制方面,采用硅压阻模拟、石英数字双传感器,分别作为过程控制传感器和基准压力传感器,保证系统升降速度的准确度.采用双闭环控制方案,模拟闭环采用电路设计实现,数字闭环通过计算机、数字传感器和软件实现.控制执行部件采用一对比例电磁阀门.控制电路设计采用了模拟电路PID和数字PID控制结合的串级控制方案,对实现升降速度和压力信号变化的微分电路进行了设计.实验证明,该装置升降速度的输出准确度优于0.2%F.S,控制范围为0～200 m/s.     

基于光敏树脂分析的3D打印加速度传感器设计

MEMS加速度传感器所采用的硅微机械加工技术存在个性化定制、小批量生产成本方面的不足，而3D打印技术的优势就在于无需模具的自由化定制、一机多用实现低成本产品生产，3D打印的发展趋势就是实现微纳尺度结构的制造。在此背景下，采用光固化立体成型技术设计了一种3D打印压阻式加速度传感器结构。传感器基底使用耐高温光敏树脂制作，并采用丝网印刷工艺在基底表面印制导电碳浆形成应变计结构。为此，首先对耐高温光敏树脂的相关热学与机械性能进行分析。通过测试，得到该光敏树脂固化后的起始分解温度等热力学参数。其次，通过控制光敏树脂紫外光固化时间，取得了较好杨氏模量和弯曲强度的树脂，且为该加速度传感器的结构仿真优化与制作工艺提供了必需数据与重要依据。除此之外，还对所设计的碳浆应变计结构进行了测试，得到了有效灵敏系数。通过以上工作，为最终实现3D打印加速度传感器的制作做好铺垫，助力3D打印技术与MEMS传感器技术相融合。     

用动态三孔针测旋转失速流场

为了测量不稳定流场参数,因此要求三孔针具有高频动态响应能力,为了在全台发动机中使用,要求其适用恶劣环境。 1.结构 如图1示,三个高频响应的微型固阻式压力传感器装入探针之内,用橡皮套管与测压孔连接,缩短了测压管长,因而具有