定容式流导法微流量校准装置的设计

定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准,由定容式流量计和流导法两部分组成,定容式流量计用于大流量的测量,流导法用于小流量的测量。定容式流量计有两种工作模式,可测量流入定容室的气体流量;也可测量流出定容室的流量。该校准装置,可采用定容法和流导法对气体微流量进行校准,校准范围为(5×10-2~5×10-11)Pa.m3/s,合成标准不确定度为0.56%~1.70%。     

恒压式气体微流量计的测量误差分析

恒压式气体微流量计（ＣＰＦＭ）被多个国家级实验室选作为计量学设备,用来校准真空规和真空漏孔。该文从理论上对ＣＰＦＭ和带参考室的ＣＰＦＭ的流量测量误差进行了分析。测量过程中温度波动和压力波动对ＣＰＦＭ的流量测量误差作用较大。为ＣＰＦＭ增加一个适当的参考室,可以减小测量过程中变容室温度变化对ＣＰＦＭ的流量测量误差的贡献。     

气体微流量标准装置的测控系统和实验研究

气体微流量标准装置的测控系统在计算机控制下,采用电容薄膜规、光栅尺、铂电阻温度计等高精度传感器测出变容室内气体的压力、体积变化、温度等参量;并在流量测量的动态过程中将变客室内气体的压力波动控制在±０．０１％之内;工作软件实现了对气体微流量标准装置的计算机自动化控制和管理。气体激流量标准装置可以标准１７．１～１．２２×１０－５ＰａＬ／ｓ范围内的气体流量,校准不确定度小于１．９３％;目前它已用于标准漏孔的标定和实用型气体流量计的校准工作中。     

恒压式气体微流量计的测控系统研制

恒压式气体微流量计的测控系统是在工控机控制下 ,采用电容薄膜规、光电编码器、铂电阻温度计等高精度传感器测量出变容室内气体的压力、体积变化率、温度等参量 ;采用两种恒压控制模式 ,在流量测量的动态过程中将变容室内气体的压力波动控制在± 0 0 1%之内 ;工作软件具有虚拟仪器界面 ,操作方便 ,实现了对流量计的计算机自动化控制和管理。恒压式气体微流量计能够提供 (3 96× 10 -4～ 3 6 4× 10 -8)Pa·m3 /s范围内的气体微流量。在 10 -8Pa·m3 /s范围内的相对合成标准不确定度为 1% ,在 (1× 10 -7～ 1× 10 -4)Pa·m3 /s范围内的相对合成标准不确定度为 0 7%。     

恒压式气体流量计变容室截面面积测量技术研究

为了研制恒压式气体微流量计,设计了以波纹管为主体的变容室,并对波纹管变容室截面面积进行了测量。采用多项式拟合公式对波纹管截面面积测量结果进行了修正,避免了波纹管非线性的影响,结果表明修正后偏差小于0.16%,截面面积的测量结果合成标准不确定度小于0.53%,可以满足使用要求。     

定容式气体微流量校准装置吸放气特性研究

介绍了定容式气体微流量校准装置的组成和工作原理,对流量计吸放气特性进行了实验研究,给出了静态压力上升速率曲线,并对实验结果进行了理论分析,得出了对于结构复杂的真空系统要结合系统各组件的结构、历史使用情况等因素来分析系统的吸放气特性,在一定的温度下长时间全面烘烤是降低真空系统放气率的有效途径。     

气体微流量标准装置

介绍了气体微流量标准装置的工作原理，并对其测量不确定度进行了分析与验证。测试结果表明：流量的校准范围为１７．１～１．２２×１０￣（－５）ＰａＬ／ｓ，不确定度为２％。     

气体微流量标准装置的不确定度评定与研究

介绍了气体流是标准装置的不确定度评定与验证。测试结果表明：气体流量的校准范围（１７－１×１０＾５）ＰａＬ／ｓ，不确定度为２％。     

涡轮流量计校准不确定度的评定

根据测量不确定度的原理,详细分析了涡轮流量计的校准不确定度,推导出它的计算公式,并且结合具体的流量校准装置进行了简化和计算举例。     

氙气质量流量计校准装置测量不确定度评定

通过建立氙气质量流量计校准的测量模型,分析了测量不确定度分量,最后合成了氙气质量流量计校准装置的相对合成标准不确定度,并对评定结果进行了分析讨论。