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冯惠明 《自动驾驶仪与红外技术》2000,(2):19-25
本文论述微机械加速度计,主要介绍它们的工作原理和设计规范,以及各种装置的结构,装配技术以及设备的技术,封装和界面电子电路,还有微机械惯性传感器在商业化过程中的发展行情,惯性传感性能在不断提高,如今的微加速度计的分辨率达ug级,电路和封装技术的发展满足了惯性传感器发展的需求。 相似文献
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华冠雄 《自动驾驶仪与红外技术》2002,(2):36-45
本文概括叙述了惯性传感器技术,描述了在目前工业上的应用和它在近期及远期应用的前景。惯性传感器技术发展的趋势也在此得到详细阐述,即干涉型光纤陀螺,微机械陀螺和加速度计,还有微型光学传感器。微机械传感器和改进后的光纤陀螺预计在不远的将来会替代许多现行系统中采用的环形激光陀螺或者机械传感器。新技术成功的引进主要是由成本原因所驱使的,采用这些新技术的系统的成本项目也在此陈述。利用全球定位系统(GPS)辅助的惯性导航系统已使导航应用的领域面更扩大化,例如制导炸弹。这些新的应用场合将促使具有极其低廉价格、可批量生产的传感器的开发。 相似文献
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本文从惯性器件的结构设计要求出发,根据惯性器件的结构特点及使用条件的特殊性,阐述了适当选择材料应注意的特征指标参数,比较了几种常用材料的性能,介绍了新型材料——复合材料的特性及目前国内外的应用发展情况。 相似文献
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惯性组合三位置现场测试方法 总被引:3,自引:0,他引:3
针对陀螺漂移和加速度计零偏,提出了一种三位置现场测试方法。该方法不需要转台,对夹具和测试基准无特殊要求,惯性组件无须精确取向。仿真结果表明,惯性器件测试误差主要由安装失准角和标度因数误差有关。 相似文献
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本文介绍了单一芯片上的三敏感轴表面微加工加速度计的技术原理,传感器的设计以及与之相关各单轴加速度计的测量结果。传感器的机械结构由厚为10微米的多晶硅层采用高淀积速率淀积工艺加工而成。实现该传感器的全部制造过程是考虑到与化BICMOS制造过程合二为一的要求。 相似文献
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给出了一种用于新型悬浮结构的使用差分电容进行角度检测的电路分析。为了确保电路具有较小的非线性和高分辨率,进行了电路的噪声分析和和输出信号的非线性度仿真。在电容检测接口中,使用了电荷积分放大器作为前置级以消除由于电容接线引起的寄生电容。分析了当存在耦合电容时差分电容桥的输出以及输出信号的非线性误差,分析结果显示该检测电路可以实现高分辨率和低非线性的角度检测。使用 PSpice 仿真并制作了电容检测印刷电路板。实际实验中,该电路可以检测的最小角度分辨率为 0.04o,非线性误差为 2.3%。 相似文献
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谐振式微机械惯性传感器 总被引:2,自引:0,他引:2
对几种典型的谐振式加速度微传感器和微陀螺的结构、工作原理等方面进行了概述,分析了各自的应用特点。从中反映出谐振式微惯性传感器具有优良的特性,必有广阔的应用和发展前景。 相似文献
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针对MEMS 惯性姿态模块的应用需求, 根据已有的MEMS 三轴加速度计和
三轴陀螺仪的零偏、标度因子和非正交等误差及其随温度的变化模型, 设计了多个
MEMS 惯性姿态模块误差同时标定的方法,该方法可实现多个模块传感器数据的同步采
集,在常温下可对多个MEMS 惯性姿态模块的非正交误差进行批量标定,在全温度范围
内同时标定多个模块的温度漂移误差。试验表明,该方法校正了MEMS 惯性传感器的非
正交误差和温度漂移误差,提高了MEMS 惯性传感器的精度,同时提高了标定的效率,
减少了标定成本,有利于工程实现。 相似文献
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现代军事应用中,远程导弹武器主要功能是精确打击关键军事目标,制导精度成为其首要性能指标。当前,国内外远程武器采用的主流惯性器件为惯导平台系统,平台框架在发射前可控制台体旋转实现自对准、自标定等功能。在导弹飞行过程中,平台控制台体稳定于惯性空间,通过隔离角运动提高惯性仪表使用精度,因而成为远程制导系统的首选惯性器件。我国惯导平台系统技术从20世纪60年代起步至今,先后经历了滚珠轴承平台、气浮陀螺平台、动调陀螺平台、静压液浮平台以及三浮平台系统的发展历程。目前,在研新型远程导弹制导系统主要采用基于三浮陀螺及陀螺加速度计的三浮平台系统,其关键技术包括亚微米精度特种材料加工与装配技术、抗高过载环境高可靠三浮惯性仪表技术、惯性/天文复合制导技术以及惯导平台自对准与自标定技术。近年来,以光学陀螺、半球谐振陀螺等为代表的新型惯性仪表的工程应用精度逐步提升。以平台稳定控制技术为基础,构建基于新型固态陀螺的惯导平台体系架构,将会推动我国远程武器性能跨越式发展。通过分析光纤陀螺、半球谐振陀螺等新型惯性仪表的技术优势以及新一代制导系统小型化、数字化、智能化等性能需求,对我国远程制导用惯导平台技术发展提出了几点建议。 相似文献