共查询到20条相似文献,搜索用时 125 毫秒
1.
随着微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)的器件圆片级封装技术、垂直互连转接板技术、新键合工艺技术等技术研究的出现,惯性微系统正在朝着三维封装集成架构发展,以满足微电子技术更高集成度、更小体积、更低功耗、更低成本的发展需求。介绍了MEMS惯性器件和MEMS惯性微系统三维集成技术,硅通孔(Through Silicon Via,TSV)三维互连技术和倒装芯片技术为惯性MEMS微系统三维集成一体化提供了设计空间,有效地降低了惯性MEMS三维集成模块的体积、质量,提高了集成度,符合未来惯性MEMS三维集成多功能融合趋势的需求。 相似文献
2.
迄今为止,惯性传感器的应用被局限在不计较设备造价的航空、航天和军事等领域,而微机械技术的出现使一般用户使用低成本、高精度的惯性传感器成为可能。 相似文献
3.
4.
惯性技术广泛应用于海、陆、空、天各种载体的导航、定位与控制。通过对2022年的IEEE惯性传感器与系统会议、DGON惯性传感器系统会议、MEMS国际会议和圣彼得堡组合导航会议等惯性技术相关会议文献以及惯性技术领域相关机构披露的动态信息进行的详细梳理,总结了光学陀螺、微机电(MEMS)陀螺、半球谐振陀螺(HRG)、加速度计以及新兴的量子惯性传感器等惯性仪表及惯性导航系统(INS)的发展现状,并对惯性技术领域的发展趋势进行了分析与展望。当前,惯性技术领域相关研究主要侧重于小型化、提高精度和降低成本等方面。其中,光学陀螺较为成熟,更为侧重于小型化相关研究;微机电陀螺正在致力于向导航级性能突破和发展;半球谐振陀螺主要着力于探索降低高端产品的制造成本。 相似文献
5.
光力惯性传感技术是利用光子与机械振子的相互作用,通过出射光的动量和角动量的变化实现对振子运动状态的监测,进而实现对其受力(矩),以及(角)速度、(角)加速度测量的新型惯性传感技术。该技术既有高极限精度的原理优势,又有微型化的技术优势,是惯性传感技术的前沿领域,具有极大的发展潜力。首先介绍了基于光阱系统和微腔系统的两类光力惯性技术,分析了其基本工作原理与物理特征;其次介绍了国内外光力惯性传感器件的研究现状;最后对光力惯性技术的发展特点、国内外差距进行了总结,并给出了我国发展光力惯性传感技术的建议。 相似文献
6.
当前,国内外地面无人作战平台处于快速发展阶段,其自主性、智能性的特点使得其相较于传统地面武器平台对导航系统提出了更高的要求,除了具备常规意义上的测姿、定位、定向等功能之外,还需要具备环境相对位姿感知与导航能力。目前,典型的地面无人平台均采用惯性基组合导航方案,以惯性传感器为主,配备卫星、视觉、雷达等多类辅助传感器,通过组合导航算法实现传感器间的有机融合。针对地面无人作战平台的导航需求,对当前主流惯性基组合导航技术进行梳理,分别介绍了惯性/里程计、惯性/卫星、惯性/视觉、惯性/激光雷达组合导航技术的发展现状,并对适用于地面无人作战平台的导航技术进行了展望。 相似文献
7.
8.
9.
10.
11.
惯性技术是通过惯性传感器敏感载体运动信息,自主建立运动载体姿态基准的手段。随着现代光电探测技术的不断发展,光电武器装备在侦察、监视、定位、导航和通信等场合的应用越来越广泛,惯性技术在光电探测技术与光电设备中的作用也越来越重要。本文介绍了光电探测技术和典型机载光电系统、惯性技术的发展历程,详细介绍了惯性技术在光电探测技术中的应用情况,分析了其对作战方式和作战效能所带来的变化和提升,阐述了惯性技术在光电探测技术应用的未来发展需求和趋势。 相似文献
12.
本文从惯性机电元件设计技术、支承技术及加工技术的发展,探讨了惯性机电元件发展趋势,指出惯性机电元件正向小型化、高功率密度化、长寿命、无接触及微机械化方向发展。 相似文献
13.
14.
飞机校靶装置是军用飞机校靶作业使用的专用保障设备,主要用于机载武器系统和相关系统安装轴线与机体基准轴线间的角度偏差的测量和校准,保障武器系统和相关系统的工作精度和准确性。飞机校靶装置从传统的靶板-望远镜系统发展到目前的新技术校靶装置,实现了技术和性能上的全面跨越。本文概述校靶装置技术发展,简要总结发展历程和发展规律;重点分析和比较3种新技术校靶装置,包括基于光电-惯性技术的光电-惯性校靶装置、基于摄影测量技术的摄影测量校靶装置和基于惯性技术的纯惯性校靶装置,进行技术分析和研究;对我国新型校靶装置发展提出建议。 相似文献
15.
16.
訾蕊 《航空精密制造技术》2005,41(2):36-38
简要介绍了惯性自动测试技术的国内发展现状,具体论述了惯性仪表中速率陀螺性能的自动测试技术的发展及惯性自动测试技术在其它方面的发展需求及对策研讨。 相似文献
17.
18.
19.
20.
近三十年来,MEMS惯性传感器技术取得了巨大进步,在人类生活、工业和高端装备等方面得到了广泛应用。概述了MEMS惯性传感器在我国的发展历程与主要路线,并以车辆辅助驾驶为例,总结了国内外MEMS惯性传感技术的快速发展与典型应用情况,研判了MEMS惯性传感器正在向高可靠、集成化、高融合与智能化等方向加速发展。 相似文献