光纤读出的微光机电振动传感器

针对采用半导体工艺加工的微机械结构对振动进行测量的问题,提出了基微光机电系统(MOEMS)结构并采用光纤读出的振动传感器的设计方案,分析了该传感器的基本测量原理并推导了数学模型.该传感器采用单光纤的读出方式,利用固定于探测器敏感头前端的微结构感受待测物体的振动,通过测量由微结构振动引起的反射光强度的变化,实现对振动的测量.单光纤结构的使用和微结构参数的合理设计,使得该系统与传统的光纤读出系统相比,具有灵敏度高、尺寸小、易于同光纤匹配的特点.应用该系统对压电陶瓷的振动情况进行测量,可探测到0.18nm的位移.      

磨削表面粗糙度在线实时测量的研究

在试验研究的基础上,研制了一种新的光纤表面粗糙度在线测量系统。以光散射法为理论基础,用光纤束作为传感器,并用单片机进行数据处理和实时显示。针对外圆磨削在线检测中存在的冷却液、工件尺寸变化、环境干扰以及仪器的装夹与对中等问题进行了研究,找到了改进或解决的办法,从而更利于该测试技术的实施与推广。     

光纤陀螺用超宽谱光源的铋/铅共掺光纤的制备与光谱特性

由于具有质量轻与成本低等优点,光纤陀螺正在被广泛应用,而光源光谱的特性在很多方面又影响着光纤陀螺的性能。利用新型光纤制备技术,制备铋/铅共掺石英光纤,测试分析其吸收光谱与发光特性。用980nm与830nm双泵浦光激发,超宽带荧光光谱范围可覆盖1000~1700 nm,相比单泵情况,光谱大大拓宽。10dB带宽的光谱达到了650nm,光谱比较平坦,可以满足超宽带平坦光源的需要,并可作为超宽谱光源的理想增益介质。对应用于惯性导航系统、光纤陀螺传感器(Fiber Optic Gyroscopic Sensor, FOG)、光学相干断层扫描系统(Optical Coherence Tomography, OCT)与医学成像的超宽谱光源进行研究,具有非常重要的实际应用与战略意义。     

高温高压差动变压器式位移传感器设计

为了满足在高温高压的复杂环境中准确测量位移的要求,专门研制了一种高准确度、低漂移的精密位移传感器。与传统差动变压器式位移传感器相比,该传感器采用了新结构、新工艺和新材料,以及 LVDT信号处理芯片7JHB0187,使传感器能够适应高温高压的使用环境,各项参数指标满足使用要求,从而拓展了该类传感器的应用场合。     

补偿式光纤双法布里—珀罗微位移测量系统

提出了一种能补偿环境影响的、插入光纤传光介质的新型微位移测量系统，介绍了其灵敏度的测量结果。由于采用并行双通道的结构，系统具有高准确度、抗干扰等特点。该系统适合于微位移（纳米级）测量，可用于检定其它高准确度位移传感器、几何量定位、微细加工表面轮廓测量以及转换成微位移量或光程差的其他物理量的测量。     

光纤陀螺光源驱动技术

为提高光纤陀螺精度, 实现光纤陀螺工程化,设计了高精度恒流源及精密温控电路,用于光纤陀螺光源驱动.结合光纤陀螺特点,讨论了从光纤陀螺耦合器和探测器提取信号进行光反馈控制的方案.测试结果表明, 在变温环境下(-20℃～55℃),恒流精度达到0.06%, 温控精度达到0.1℃,光源出纤功率的变化在0.1%范围内,较通用的光源驱动电路提高了一个数量级.     

在线测量表面粗糙度的传感器及其应用

介绍用于表面粗糙度在线测量的各种非接触光学法,包括反射光位置检测法、聚焦误差检测法、使用光纤和光杠杆的方法。其结果和机械式表面粗糙度轮廓仪所得十分吻合。然而、切屑、润滑液和机床振动会影响在线测量的精度或可行性。     

多模光纤强度调制型扰动传感器传感原理

介绍了一种采用"单模光纤-多模光纤-单模光纤"结构的强度调制型扰动传感器,传感光纤为多模光纤.以提高传感灵敏度为目的,对强度调制的传感原理进行研究,并通过仿真及实验验证原理,得出使用相干光源、阶跃折射率多模光纤、对轴熔接单模光纤和多模光纤可以得到传感灵敏度很高的扰动传感器.所述方案结构简单、传感距离长,可应用于各种扰动传感领域,如边界线、军事基地、石油管道等.     

超精密振动位移测量仪

江苏省泰兴县机床测试仪器厂和机电部北京机床研究所共同研制的DWS/DwM型超精密振动位移测量仪已批量生产。该仪器样机曾获布鲁塞尔第35届尤里卡世界博览会银质奖及     

基于激光位移传感器的物体表面形貌测量系统

为了对物体表面形貌进行精准的无损测量,设计了一种基于激光位移传感器的物体表面形貌测量系统,该系统由硬件部分和软件部分组成,硬件部分包括激光位移传感器、光栅位移平台、PCL833三轴正交编码计数器卡,软件部分包括数据采集软件和MATLAB数据处理程序。被测物体在光栅位移平台上按一定的轨迹移动,数据采集软件将X、Y、Z方向的离散点坐标数据进行存储,最后采用高斯滤波,由MATLAB程序对数据进行处理,并绘制被测物体的三维形貌图。     

空间站太阳翼振动测量中的动态杂光快速仿真方法

针对空间站柔性太阳翼振动测量相机的动态杂光快速分析需求,基于全轨道周期下日月地3种环境光源与相机光轴夹角关系、大面积柔性阵面的动态振动位移的模拟,并从点光源和面光源两类光源特性、直接入射和经太阳翼阵面一次反射后再入射两类杂光干扰途径出发,给出了大幅降低运算量的动态杂光判别算法,提升了杂光轨迹随被测对象动态变化时的仿真效率.仿真结果表明,该算法的实时性和准确性均可满足大型柔性太阳翼振动测量相机的杂光分析需求.     

精密“光机—光电”位移传感器的研究与设计

提出了一种在普通扭簧比较仪上增加光学传动元件和新颖光电传感元件的精密“光机光电”位移传感器的设计新思路。这种传感器具有很高的灵敏度和分辨力，有较高的线性度和示值稳定性。     

一种大量程比高精度差动变压器式位移传感器设计

为了满足伺服系统反馈测量元件安装空间受限但测量范围大的需求,专门设计了一种大量程比的高精度差动变压器式位移传感器。阐述了位移传感器的原理和结构,系统的分析了现有差动变压器式位移传感器线圈绕制方法,并提出了一种新型的线圈绕制方案。与传统差动变压器式位移传感器相比,具有更大的测量范围,但外形尺寸并未相应增加,有效测量长度达测杆的70%。经试验验证,该产品在满足大量程比测量的基础上,线性度达到0.6%。     

FOLS—200型光导纤维液位计

一、绪言近年来,光技术的发展异常显著。在光导纤维通信等方面,由于光源和光导纤维的进步,日本发展了从纵贯光导纤维线路网直至工厂内的光缆。此外,随着光通信的发展,对利用光的计测和传感的应用也广泛开展,开发了许多光纤传感器。     

光纤光源温度动态特性分析及控制

根据半导体热电致冷器(TEC)工作的基本原理,分析了光纤光源模块的温度动态特性,建立了与之对应的数学模型.对光源模块进行了实际实验测试,采用多点频率的工作电流驱动TEC模块,通过光源模块内部的热敏元件采样光源管芯温度的动态数据,用最小二乘法进行数据拟合,得到了与数学模型十分接近的结果,因此可以确定数学模型中的待定参数.采用 MAX1978单片TEC控制器,根据温度动态特性数学模型设计了最优的比例积分微分(PID)补偿网络,实现了光纤光源的温度控制系统,得出了TEC温度控制系统对光源有良好的控制精度和稳定性.      

精密离心机半径值动态测试系统

精密离心机半径值动态测试系统采用量块法测量其静态半径值，与动态下利用线位移传感器组件测量其微位移量之和的方法相比较，其工作半径值测量的相对误差达３．３×１０￣（－６）。对静态半径测量所采用的量块法及动态下采用线位移传感器组件测量补偿量的原理、方法、数据处理及误差分析进行了详细论述。此法可推广应用到其他类似的大量程动态测试系统中。     

基于掺铒超荧光光纤光源的高精度光纤陀螺

针对高精度光纤陀螺的需求,采用一种在1?550?nm波段长波反射的截止型薄膜滤波器研制出高性能的掺铒超荧光光纤光源,通过仿真确定了滤波器的特征参数,在-40℃~+60℃的温度范围内,光源中心波长稳定性为2.58×10^-6℃,输出功率稳定性优于1％.研究了这种光源的强度噪声,并采用一种噪声相减技术对光纤陀螺的噪声进行抑制,光纤陀螺的随机游走系数减小约20％.在此基础上,研制出高精度闭环全保偏光纤陀螺样机.Allan方差分析显示,研制出的样机零漂为0.004?5(°)/h、随机游走系数为0.003?5(°)/h ^{1 2} 、标度因素误差小于11×10^-6,已能满足高精度陆用惯性系统的要求.     

用声表面波振荡器测量位移

利用声表面波(SAW)延迟线振荡器能制成一个位移传感器。这种延迟线振荡器具有两块铌酸锂(LiNbO_3)板,每一块板的表面带有一个叉指式换能器(1DT),把两块板的传播表面的一部分相互搭接在一起。在声表面波传感器中,振荡频率取决于声表面波元件的传播途径长度,这个长度通过移动振荡器的两块铌酸锂板中的一块板来改变。本文所说的声表面波位移传感器具有很高的灵敏彦,达300Hz/μm 和1.0kHz/μm。它是通过在 Y—X 两块铌酸锂板的表面上分别用6.5对(间距为0.55mm)和5对(间距为0.4mm)的叉指式换能器来实现的。声表面波延迟线振荡器的模态转换在某个给定的传播途径长度上出现,可用频谱分析仪观察。