薄壁微三维结构件超精密研抛技术研究

针对影响薄壁微结构件超精密研抛的工艺因素,即单次进给量、研磨轨迹、研磨膏选择和去除量精确控制,通过大量的研抛加工试验,进行研抛工艺研究,得到能实现稳定和理想加工结果的研抛工艺,很好的满足零件性能要求。     

精密和超精密加工技术

介绍当前国内外精密和超精密加工技术发展概况及其在国际经济竞争和产品革命中的重要作用。     

类芬顿反应在碳化硅光学材料研抛中的作用

本文讨论了以零价铁代替亚铁盐形成类芬顿反应(Fenton-Kind process)体系应用于碳化硅光学材料抛光过程中的反应机理,通过双转子研抛机床对SiC光学材料进行了研抛实验,验证了类芬顿反应能够有效地提高SiC材料的加工效率和加工质量。通过对比不同磨料粒度研抛液加工结果,获得了SiC材料研抛过程中化学与机械作用规律。     

赴日超精密加工技术考察

由航空科学技术研究院组织的超精密加工技术考察团对日本进行了为期15天的考察。了解了日本超精密加工和测试技术的近况,获益匪浅,很多方面值得我国借鉴。我刊从本期起将陆续报道考察的技术专题,以飨读者。     

高转速气驱研抛装置设计及研抛特性研究

针对传统磨削中电主轴体积大和转速低的问题,设计了一种高转速、小体积气驱研抛装置。通过理论计算对轴承承载力进行了分析,并在有限元软件中建立了装置的仿真模型,对装置刚度、固有频率、临界转速等静动态特性进行了分析和校核。在此基础上,采用气驱研抛装置与柔性树脂磨头对某型发动机叶片用硬质合金进行了研抛试验,研抛后工件表面粗糙度Ra达到1.395μm,研抛效果良好,证明该装置可用于高精度研抛。     

主轴零件的超精密加工

本文介绍了高精度圆柱轴最后工序的精研方法,其圆柱轴的精度可达0.1弘m。     

超精密加工技术国防科技重点实验室

超精密加工技术国防科技重点实验室中国航空精密机械研究所杨福兴，吴明根超精密加工技术国防科技重点实验室于１９９２年开始筹建，并于１９９５年９月正式通过国家验收，目前已投入正常运转。该实验室是超精密加工专业实验室，主要任务是从事超精密加工技术的基础研究，...     

超精密机床减振分析

良好的减振措施是提高机床,特别是超精密机床加工精度的重要技术之一.本文以亚微米超精密车床为研究对象,论述了该机床从结构到材料选取上的减振特点,并重点进行了空气弹簧和空气静压轴承主轴减振分析,由理论分析和实验表明:减振措施合理,减振效果良好.     

高精密和超精密机床

随着航空航天、精密仪器、光学和激光技术的迅速发展,以及人造卫星姿态控制和遥测器件、光刻和硅片加工设备等各种高精度平面、曲面和复杂形状零件的加工需求日益迫切,超精密加工的应用范围日益扩大。它的特点是可以直接加工出具有纳米级表面光洁度和亚微米级形面精度的表面,借以实现各种优化的、高成像质量的光学系统,并促使光学电子设备的小型化、阵列化和集成化。     

超精密加工中研抛分布力测量方法的探讨

在研磨盘的不同位置打深盲孔,近于贯穿,仅留下薄薄一圆形平膜片,作为抛光法向压力的敏感元件。此圆平膜片半径,厚度由位移敏感元件灵敏度及抛光所容许的外扰（对实际工作状态影响足够小）决定。在此孔中安置光纤位移传感器测量圆平膜片的变形位移,就可解算出抛光时研磨盘的局部压力。信号调制后通过多路遥测装置或电刷滑环等集流器将信号引出。     

某磁头抛光技术

根据硬盘磁头加工的特点,分析了抛光机的运动学特性及抛光盘、抛光液、磨粒在抛光过程中的摩擦学行为等对磁头表面质量的影响。     

液压主轴的温度变化与超精密加工

分析了液压主轴的发热及其所带来的加工精度的变化,提出了超精密加工中消除其影响的措施。     

平面研磨抛光轨迹研究

介绍了平面研磨抛光轨迹均匀性的研究方法,详细阐述了双轴式(包括定偏心式和不定偏心式)、直线式、摇摆式、计算机控制小工具式单面研磨抛光轨迹和行星式双面研磨抛光轨迹的数学函数及其轨迹均匀性,指出了当前轨迹研究中存在的不足.     

超精密研磨抛光机床的研究与设计

利用纯金属锡制作抛光盘,结合超精密主轴和导轨,可以对抛光盘进行超精密车削修整。同时该机床的抛光盘主轴和工件主轴均为可调速的主动驱动,既可以实现古典的平板接触式研磨,亦可实现流体浮动抛光。     

波面激光干涉仪在超精密加工中的应用

介绍了超精密加工的发展趋势和技术特点,介绍了波面激光干涉仪的测量原理及使用技巧,重点阐述了如何在超精密加工的多个环节,如工件检测、精密对刀、误差补偿中发挥波面激光干涉仪的作用。     

机床振动对高精度金刚石刀具研磨质量的影响

研磨机床的振动是影响金刚石刀具机械研磨质量的重要因素,尤其在精密研磨工序。为了提高金刚石刀具的研磨质量,针对金刚石刀具的精密研磨工序,在研磨加工时对机床施加空气隔振垫,使研磨的金刚石刀具切削刃钝圆半径从隔振前的93.8nm降到了隔振后的72.7nm,前刀面表面粗糙度则从2.4nm降到了1.0nm,研磨质量得到明显改善。     

浮法抛光在金属纳米级超光滑表面加工中的应用

介绍了浮法抛光的机械结构与抛光原理,并采用这种技术在CJY500超精密研磨机上进行长方形GCr15轴承钢工件超光滑表面的工艺试验,成功获得了无加工变质层的金属纳米级超光滑表面,拓展了浮法抛光技术的应用范围,对于金属工件纳米级超光滑表面的加工具有参考价值.     

散粒磨粒抛光运动轨迹的仿真与合理参数的选择

通过计算机模拟出磨粒的运动轨迹,从而得出影响抛光质量的因素,并提出了合理的抛光运动参数。