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蒲永祥 《航空精密制造技术》1974,(3)
本文列出对于用等光学原度的ZnS和MgF_2镀制的周期多层系统在垂直入射时阻带反射率的计算机计算结果。推导了区别阻带中心反射率的最大和最小值的普遍公式,并且推导出计算高级次反射镜的阻带宽度(作为波长的函数)的一般公式。高级次反射镜的带宽和阻带中心的反射率表示在许多图表中,它们适用于在各种折射率的基片上具有直到18层的系统。四分之一波层的增透膜作特殊情况处理。利用这些图表能够简化激光反射镜的设计过程。当用光学法监控厚度时,这些图表在蒸发的过程中也是有用的。给出一个半反镜作为例子,这用于在阻带中心处的反射率有平直的最小值,以获得在阻带的全部宽度上有几乎不变的反射率。 相似文献
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研究了激光陀螺反射镜基片表面粗糙度和波度前、后向散射的测量计算及其对散射的影响。研究结果表明:在同样的精度下,表面粗糙度比波度对散射的影响更大.因此.提高表面粗糙度的精度是降低激光陀螺反射镜或其它超高反射率镜面散射损耗的主要途径。 相似文献
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《航空精密制造技术》1997,(6)
1.多层膜反射镜是投影光刻得以实现的前提.必须解决多层膜的高反射率、带宽匹配、应力,曲面基板上膜厚随入射角变化而变化等关键问题.目前,Mo/Be和Mo/Si多层膜在11~14mm波段得到了接近70%的反射率。2.光学元件超精密加工与检测是投影光刻得以实现的另一大基础。软X射线投影光刻所用的光学元件不仅要有较高的面形精度,而且要有较低的表面粗糙度。美国Tinsley公司现在能加工面形误差精度达0.6nm的元件,这是目前世界上最高的光学加工水平。为检测所加工元件的面形误差,该公司采用了精密干涉测量法、STM和AFM技术等当今最先… 相似文献
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根据膜堆的特征矩阵,求出单层膜的光学导纳,在单层膜的基础上,进行层层递推,叠加起来,求出膜块的等交内,计算振幅反射系数,最后求出整个膜系的反射率、透射率。 相似文献
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射频磁控溅射Cr/CrN膜微结构和力学性能研究 总被引:1,自引:0,他引:1
利用射频磁控溅射制备了Cr/CrN多层薄膜,并对比单层CrN薄膜,分析研究了多层膜周期与结构和性能之间的关系。研究结果表明:多层膜中没有出现柱状晶体结构,而且结晶取向与单层CrN有显著区别;多层膜的应力普遍小于单层CrN,硬度略高于或接近于单层CrN,在外力作用下的抗变形能力远高于单层CrN;多层膜的应力和硬度随周期厚度的减小而增大,在周期15nm时硬度值达到最大23、8GPa,表明Cr/CrN多层膜的硬度与周期结果有关,而且存在使薄膜性能达到最佳的周期值。 相似文献
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为研究532nm和1064nm两种典型激光波长对纳秒脉冲激光烧蚀铝靶冲量耦合特性的影响,在建立的热传导模型和羽流膨胀流体动力学模型基础上,加入了在激光烧蚀过程中靶材吸收系数、热导率和反射率等光学和热物理参数的变化,考虑了形成的等离子体羽流对入射激光的屏蔽作用因素影响,从而建立了一个复杂的一维纳秒激光烧蚀铝靶冲量耦合物理模型。通过计算,获得了两种激光波长辐照下,烧蚀过程中烧蚀参数和物理参数的变化,分析等离子体羽流对入射激光的屏蔽效应,进一步分析得到对冲量耦合特性的影响。结果表明:短波长激光不仅有利于激光与靶材的能量耦合,同时,短波长激光辐照下形成的等离子体羽流对短波长入射激光吸收率也较低,有利于提高靶的冲量耦合;在等离子体形成初期,即等离子体吸收率较低时,分别达到两种激光波长辐照下的最优冲量耦合。 相似文献
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对磁性涂层碳纤维各向异性铺层板反射率的计算是研究其结构吸波材料性能的基础.本文基于磁性涂层碳纤维单向板的电磁特性分析,研究了电磁波在磁性涂层碳纤维复合材料板中的传输特性.首先推导了单层各向异性复合材料板中的传播常数和波阻抗,在此基础上用传输矩阵法进一步推导了适用于带有磁性涂层碳纤维复合材料铺层板的反射特性.利用此计算方法求解了各向异性复合材料铺层板在不同极化入射电场、材料板不同铺层层数、方向、厚度下的反射特性.最终根据以上算法,开发出各向异性复合材料铺层板结构吸波材料反射率的优化设计软件. 相似文献
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为研究膜层交替周期对多层膜表面硬度与耐磨性能的影响,利用金属蒸发真空弧离子源(MEVVA)和磁过滤阴极真空弧复合离子束沉积技术在AM355钢材表面制备膜层交替周期分别为5、13和26的3组CrN_x/Ti_yCr_(1-y)N膜层,利用场发射扫描电子显微镜(FESEM)和X射线衍射仪(XRD)对膜层形貌和相结构进行了分析,利用划痕仪、显微硬度计等对膜层硬度与结合力进行了测试。结果表明:采用该技术制备的CrN_x/Ti_yCr_(1-y)N多层膜结构致密,与基体结合良好;随着多层膜交替周期的增加,膜层硬度有所降低,膜层结合力则呈现先升高后缓慢降低的趋势。 相似文献
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本文分析了激光陀螺反射镜表面粗糙度对激光陀螺精度的影响,对激光陀螺反射镜超光滑表面加工方法进行了系列改进,显著提高了激光陀螺反射镜超光滑表面加工水平,对激光陀螺研制水平的提高有重要意义。 相似文献
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对多层阻抗渐变的吸波结构设计思想进行了分析,介绍了多层阻抗渐变思想在吸波层板和泡沫两类结构吸波材料设计上的应用。理论计算与试验验证结果均表明,采用多层阻抗渐变设计能够使吸波层板和泡沫的吸波带宽向低频拓展,同时显著提高吸波泡沫的吸收强度。具有三个阻抗渐变吸收层的4 mm厚吸波层板在5~18 GHz频段反射率小于-10 d B;具有六个阻抗渐变吸收层的22 mm厚吸波泡沫在2~18 GHz频段反射率小于-10 d B,其中在6~18 GHz频段反射率小于-20 d B,8~12 GHz频段反射率小于-30 d B。多层阻抗渐变设计是提高结构吸波材料吸波性能的有效手段。 相似文献
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薄,轻,宽吸波涂层的优化设计 总被引:4,自引:1,他引:4
本文从优化方法的选择、目标函数的构造和多层吸波涂层的匹配三方面研究了薄、轻、宽吸波涂层的设计规律,设计并制备了吸波涂层,在工作频带内,涂覆吸波涂层的标准样板对垂直入射电磁波的反射率低于-8dB。 相似文献
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超高反射率的激光反射镜制造中的波度 总被引:1,自引:0,他引:1
分析了超光滑反射镜基片的表面波度对反射率的影响。利用Form Talysurf轮廓仪和高分辨率激光轮廓仪对经古典抛光法加工的基片进行检测,其表面波度的波幅为5~30nm,波距为100~150μm。还分析了古典抛光法表面波度的形成规律,并给出了实测结果。 相似文献
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脉冲星导航为未来深空探测与导航提供一种可能途径,采用X射线强度关联方法对脉冲星角位置进行高精度测量,可适应高精度时空基准系统构建的发展需求,从理论上提高导航精度。X射线聚焦光学系统是脉冲星高精度测量与探测设备的核心部件,通过高效率聚焦实现对脉冲星极弱X射线光子流量的增强。首先,针对脉冲星角位置强度关联测量地面试验需求,开展了多层嵌套X射线聚焦光学系统的光学设计与性能分析,获得了设计参数对有效面积和角分辨率的影响关系,确定了反射镜几何参数与反射面材料;其次,确定了聚焦光学系统的总体制造误差标准,对高频误差和中低频误差分别进行了分配;然后,采用电铸镍复制工艺加工了超光滑芯轴与反射镜,测试了芯轴的粗糙度和面形误差,利用北京同步辐射光源测试了反射镜的反射率;最后,搭建了原位精密装调装置,完成了多层嵌套反射镜精密装调,实测角分辨率达到12.16″。经强度关联测量试验验证,聚焦光学系统显著提高了探测器接收的光子个数,满足脉冲星角位置强度关联测量的要求。 相似文献
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激光烧蚀推进是激光推进中最有应用前景的研究分支,吸引了国内外大量学者的关注。为了研究透射式激光烧蚀条件下靶材厚度和激光能量对冲量耦合性能的影响,以二极管激光器作为能量源,玻璃作为透射层,对不同厚度、不同入射激光能量条件下,掺碳质量分数为2%的PVC薄膜进行了透射式激光烧蚀实验研究。冲量耦合系数最高为65.78μN/W,与国内外相关报道的数据相比较,结果规律一致性较好。研究结果证明了双层结构靶材的透射式激光烧蚀可以提高冲量耦合系数,入射激光能量与靶材厚度对冲量耦合性能影响较大。 相似文献