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接触式干涉仪是计量部门测试三等量块的法定仪器。本文介绍了一种基于接触式干涉仪的量块自动测试系统,它以光电探测替代目视估测,免除操作人员的视力疲劳,并能自动处理数据。软件系统以最新的国家检定标准编制,易学好用。 相似文献
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介绍一种新型激光干涉测头LM20应用于量块比较法检定理论的研究。LM20的大量程。高分辨力、全程测力恒定及高精度温度测量等特点,为一种"一对多"的新型量块比较检定法的实现提供了可能,从而大幅度减少标准块个数以降低检定成本。本文通过对LM20一系列实验数据的分析、计算,阐述了这种新方法的可行性。 相似文献
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讨论了接触式激光干涉议的数据采集与处理系统,其特点是性能稳定,操作灵活。实验证明,该系统满足仪器分辨率为0.01μm,重复性误差在0.03μm以内的要求。 相似文献
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介绍了一种接触式干涉仪数字化改造的方法。改造后的接触式干涉仪采用高精度电感式位移传感器采集数据,由计算机直接输出测量报告;减少了人为的读数误差和对线误差,具有测量精度高、测量速度快、操作简单易掌握等优点。 相似文献
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介绍了超精密加工的发展趋势和技术特点,介绍了波面激光干涉仪的测量原理及使用技巧,重点阐述了如何在超精密加工的多个环节,如工件检测、精密对刀、误差补偿中发挥波面激光干涉仪的作用。 相似文献
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从测量过程分析,给出了一等标准活塞式压力计有效面积的测量不确定度分析实例。 相似文献
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在对SMART-CNC磨床几何误差建模及对某双频激光干涉仪工作原理分析的基础上,针对该磨床的误差参数辨识进行了实际测量中的应用,并以检测结果作为数控机床误差补偿的前提进行几何误差补偿。 相似文献
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