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目前针对国内薄膜瞬态热流传感器一致性较差、制备工艺不成熟等问题,提出了一种基于光刻工艺和离子束溅射镀膜工艺的制备方法,200对T型金属薄膜热电偶沉积在10mm×10mm的水冷块上,测量1μm的氧化铝热阻层温差,从而得到瞬态热流密度值。对新型高温瞬态热流密度传感器进行比对法标定,一致性误差为0.211%,即工艺的一致性约为99.79%。实验表明,研制的新型高温瞬态热流密度传感器的一致性好,制备工艺具备良好重复性和可移植性,能够满足高温瞬态热流检测需要,为热流传感器的推广应用及标准化、批量化生产提供了良好的技术支撑。 相似文献
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为应对长时间、高频响、高热流密度条件下的热流密度测试要求,通过热沉体设计发展了一种新型热阻式薄膜热电堆热流传感器,并利用对比标定的方法、采用辐射标定方式确定各个此类型传感器的灵敏度系数。标定实验数据表明:该类型热流传感器的灵敏度系数与感应面温度相关,且在高于一定温度之上校正关系式不同于以往的线性关系而呈现出二次非线性关系。通过分析可知:呈现出二次非线性校正关系式的原因主要是依赖于温度的热阻层导热系数以及薄膜热电偶Seebeck 系数。实验数据以及分析结果为该类型热流传感器的标定和优化设计提供了参考,同时确保了该类型热流传感器在使用过程中获得准确、可靠的热流测试数据。 相似文献
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《宇航计测技术》2018,(3)
为应对长时间、高频响、高热流密度条件下的热流密度测试要求,通过热沉体设计发展了一种新型热阻式薄膜热电堆热流传感器,并利用对比标定的方法、采用辐射标定方式确定各个此类型传感器的灵敏度系数。标定实验数据表明:该类型热流传感器的灵敏度系数与感应面温度相关,且在高于一定温度之上校正关系式不同于以往的线性关系而呈现出二次非线性关系。通过分析可知:呈现出二次非线性校正关系式的原因主要是依赖于温度的热阻层导热系数以及薄膜热电偶Seebeck系数。实验数据以及分析结果为该类型热流传感器的标定和优化设计提供了参考,同时确保了该类型热流传感器在使用过程中获得准确、可靠的热流测试数据。 相似文献
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本文介绍发动机热流传感器的设计和初步试验,描述了蒸发器的结构原理,从理论上并通过试验分析了影响蒸发器效率的某些因素,如:放气阀的预压力,水的充装量和散热头部的结构尺寸。试验表明,所设计的蒸发器达到了预定的性能指标。 相似文献
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介绍了塞式热流传感器的结构及测量原理。针对传感器敏感元件的形状尺寸,隔热层材料的导热系数、比热容以及两种材料的表面发射率等一系列影响测量结果的因素,利用Fluent软件对各种模型进行了传热仿真,分析了各种因素对测量结果的影响,为传感器的研制提供依据和指导。 相似文献
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基于稳态方法的对流换热系数传感器研制 总被引:2,自引:0,他引:2
基于稳态方法研制出一种对流换热系数传感器.在研究中引入一个标定端,并分析其精度,与经典的经验公式进行了对比.通过标定实验验证了此传感器的可行性,得到修正系数值 K ,修正后传感器测量值与标准值的相对误差范围为0.4%~1.7%,不同传感器的K值不同. 相似文献
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溅射薄膜热电偶在非金属结构表面瞬态温度测量中的应用研究 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了利用薄膜成型技术,在非金属试验件表面用真空离子溅射技术制作薄膜热电偶,进行表面温度测量,并探讨薄膜热电偶在瞬态加热条件下与粘贴的常规热电偶在测温结果上的区别,为今后将薄膜制作技术应用于温度、热流密度及高温应变测量打下基础。 相似文献
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F. Sabri T. Werhner J. Hoskins A.C. Schuerger A.M. Hobbs J.A. Barreto D. Britt R.A. Duran 《Advances in Space Research (includes Cospar's Information Bulletin, Space Research Today)》2008,41(1):118-128
The current generation of calibration targets on Mars Rover serve as a color and radiometric reference for the panoramic camera. They consist of a transparent silicon-based polymer tinted with either color or grey-scale pigments and cast with a microscopically rough Lambertian surface for a diffuse reflectance pattern. This material has successfully withstood the harsh conditions existent on Mars. However, the inherent roughness of the Lambertian surface (relative to the particle size of the Martian airborne dust) and the tackiness of the polymer in the calibration targets has led to a serious dust accumulation problem. In this work, non-invasive thin film technology was successfully implemented in the design of future generation calibration targets leading to significant reduction of dust adhesion and capture. The new design consists of a μm-thick interfacial layer capped with a nm-thick optically transparent layer of pure metal. The combination of these two additional layers is effective in burying the relatively rough Lambertian surface while maintaining diffuse properties of the samples which is central to the correct operation as calibration targets. A set of these targets are scheduled for flight on the Mars Phoenix mission. 相似文献
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