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光纤F—P腔压力传感器因其独有的优点广泛应用于军事、民用领域。国内外诸多高校、科研院所都在对其进行研究。本文介绍了光纤F—P腔压力传感器的研究进展,对全光纤结构F-P压力传感器、激光加工微型光纤压力传感器、二氧化硅膜片压力传感器的结构和制作过程进行了总结,并对利用MEMS制作压力传感器的工艺进行了详述,对比分析了不同加工工艺下传感器的性能及其优缺点。 相似文献
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光纤传感器及其在常规兵器试验中的应用 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍了光纤传感器的一般原理,详细了强度调制光纤压力传感器和波长调制温度传感器的传感机理。给出了光纤传感器在爆炸冲击波压力测量、爆炸燃烧和炮管的温度测量、环境湿度测量、爆炸速度测量中一些应用实例。 相似文献
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基于拉曼散射的分布式光纤温度传感技术的研究 总被引:3,自引:0,他引:3
论述了基于拉曼散射的分布式光纤温度传感器的基本工作原理、结构、系统特点及信号处理方法。该结构及信号处理方法具有一定的空问分辨率,保证了系统的实用性。将分布式光纤传感器与传统的复用温度光纤传感器阵列进行了比较。通过使用分布式光纤温度传感器信号处理系统和信号处理软件相结合进行实验,得出结论。 相似文献
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利用半导体光吸收原理,设计出一种光纤温度传感器,它可实现强电磁干扰下高空无人机内的环境温度测量,具有体积小,结构简单的特点。该测试仪用GaAs晶片作为温度敏感元件,采用透射式结构,利用双光束补偿原理消除了光路扰动产生的误差。实验结果表明该传感器在-20-85℃的范围内有良好的温度响应。 相似文献
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光纤传感器在测量领域的发展与应用 总被引:5,自引:0,他引:5
光纤传感器是近年来发展起来的一种新型传感器的技术,本文介绍了两种不同类型的新型光纤传感器的结构原理及在不同领域的应用,并介绍了光纤传感器在测量领域广阔的应用前景。 相似文献
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膜片式F-P腔光纤压力传感器是基于法布里-珀罗干涉原理,采用微电子机械系统(MEMS)技术加工而成。在实际应用中,不同的测试环境对传感器灵敏度的要求各不相同,如果针对不同灵敏度,分别采用MEMS工艺批量化生产,则会造成生产成本过高,经济化效益降低。本文利用湿法腐蚀的方法对传感器进行膜片减薄试验,在一定范围内提高了传感器的压力灵敏度,从而满足了不同的测试需求。膜片减薄后,传感器的灵敏度可达34.2 nm/kPa,压力标定曲线的线性度为0.9997,传感器的非线性误差为0.05%,能够实现0~120 kPa(绝压)范围内压力的准确测量。 相似文献
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一种高温性能良好的GGY—2型高温光纤压力传感器已由南京航空学院研制成功,于最近通过了部级技术鉴定。鉴定组的专家认为,这种传感器在国内处于领先地位,达到90年代初国际先进水平。 该传感器具有良好的高温性能,在非冷却情况下,可以直接测量气体温度为300℃的动态压力;在冷却情况下,可以测量1700~1800℃燃气的脉动压力,非常适用于压气机失速喘振时压力变化过程、航空发动机燃烧室压力的测试,在内燃机、压缩机等高温气流动态压力的测试中也具有很大的实用价值。这种技术上先进的高温动态压力传感器,灵敏度高,工作频率范围宽,精度高,安装使用方便, 相似文献
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普通单模光纤波片及偏振控制器的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
本文介绍了基于普通单模光纤弯曲双折射效应而构成的光纤波片装置原理及设计方法。通过实验研究得到了对氦氖激光(波长0.6328μm)光纤半波片及1/4波片的最佳结构参数。这种光纤波片制作简单,尺寸小,是干涉型光纤传感器中进行偏振态控制以实现全光纤系统的重要元件。 相似文献
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梁-膜结构微压传感器研制 总被引:1,自引:0,他引:1
由四个弹性梁和一个刚性中心膜构成的梁-膜结构,具有平面应力集中效应,与一般的结构相比,这种膜片在受到微压时即产生较大的应力集中,使传感器在测量微压时有较高的灵敏度,它的特别的结构能解决一般结构膜片在很薄时由膜应力和弯曲应力产生的严重的非线性。介绍的这种双面腐蚀形成的梁-膜结构的硅压阻式微压传感器的设计就是采用这种应力集中原理,芯片结构的力学特性分析及样件测试结果表明,这种结构的微压传感器具有较高的灵敏度和较低的非线性,成功地实现了对微小压力的测量。利用有限元仿真计算对用于100Pa压力测量的梁-膜结构硅压力传感器的结构参数进行优化,并对芯片版图设计、制作工艺技术和传感器的特性等问题进行了讨论。 相似文献
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针对复合材料气瓶应变检测的需求,提出了一种光纤光栅传感器植入碳纤维缠绕铝合金内衬的复合材料气瓶的方法,首先在室温下将光纤光栅传感器粘接在经过喷砂处理的铝合金内衬外表面,然后对粘接了光纤光栅传感器的铝合金内衬进行高温老炼,最后进行碳纤维缠绕和固化。开展了8只光纤光栅应变传感器植入复合材料气瓶的试验,其中6只传感器在复合材料气瓶150 ℃/1.5 h固化后保持存活,实现了复合材料气瓶固化、水压疲劳、高温试验等过程中的应变检测。结果表明,所提出的方法可以减小内衬的粗糙外表面导致的光纤光栅信号衰减,验证了光纤光栅传感器植入复合材料气瓶进行应变检测的可行性。 相似文献
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为了提高微机电系统(MEMS)压力传感器的测量精度,研究了压力传感器非线性补偿和温度补偿算法,提出了一种基于单片机的传感器非线性矫正方法,设计了一款集成数据采集系统、修正系统和传输系统的柔性压力片。采用一款商用MEMS压力传感器BME680进行了试验,利用Matlab软件对采集的数据进行分段多项式拟合,基于压力片MCU实现传感器误差的非线性补偿和实时修正。试验结果表明,温度补偿算法效果明显,压力传感器的静态输出精度提高明显,10℃及10℃以上,提高到0.207%FS;10℃以下,提高到1.39%FS,达到了预期要求。 相似文献
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将光纤光栅传感器与碳纤维复合材料进行一体化集成设计,在碳纤维复合材料内部植入光纤光栅传感器,验证了埋置工艺的可行性,确认了其可实时监测环境温度值,研究了植入光纤光栅传感器后碳纤维复合材料的结构强度变化及光纤光栅的信号传递率。试验结果表明:碳纤维复合材料埋入光纤光栅传感器前后结构强度变化率小于10%,光纤应变信号传递率高于90%,光纤光栅传感器可以作为碳纤维复合材料结构进行从加工固化、使用过程直至破坏的全寿命周期的结构强度监测的有效手段。 相似文献
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南京航空学院302教研室在国内首先研制成功GGY-1型高温光纤压力传感器,并已通过了部级技术鉴定。 该传感器主要用于航空发动机压气机及燃烧室的压力测量,也可用宋测量内燃机及压缩机的高温气流动态压力测量。其工作原理是:光导纤维将膜片感受的压力信号转换成光强调制信号,并传递到硅光电池变换成微电流信号,经微电流放大器、差分放大器放大后输出与压力呈线 相似文献