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石英挠性加速度计是惯导产品的核心器件之一,主要敏感载体运动中的加速度,为系统提供位置信息.加速度计具有力学敏感特性,其测量精度易受环境因素变化的影响.针对加速度计在不同地域测试时标度因数发生较大变化的问题,分离了加速度计异地测试过程中的时漂、温变、形变等多个环境因子后,提出了造成加速度计异地标度因数改变的主要原因是环境气压发生了较大变化.根据石英挠性加速度计的基本原理,结合加速度计检测质量摆的具体受力情况,对气压变化造成加速度计标度因数改变的机理进行了详细分析,给出了标度因数随气压变化的相对变化理论计算公式,经过验证试验,实测情况与理论分析结果一致,可以为石英挠性加速度计的优化改进提供参考依据,具有一定的工程应用价值. 相似文献
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采用石英挠性加速度计作为重力敏感器的航空/海洋重力仪是典型的重力信息采集仪器,要求石英挠性加速度计具有一次通电稳定性高、高分辨率、低噪声的特点。为了满足航空/海洋重力仪需求,首先,分析了石英挠性加速度计一次通电稳定性机理,确定了关键影响因素,并给出了优化方向;其次,建立了加速度计分辨率模型,给出了测试方法和后续优化方向;最后,通过试验确定了噪声水平,根据关键影响因素给出了优化方向。通过上述研究的开展,为石英挠性加速度计在重力测量领域中的应用奠定了基础。 相似文献
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冯惠明 《自动驾驶仪与红外技术》2001,(2):17-24
论文描述了微机械加速度计的设计、制造和测试,石英振荡加速度计(SOA)是微机械双振荡器加速度计,每一个振荡器由两个悬臂于石英挠性粱的石英块组成,它依赖静电力驱动以一个异相谐振模块传感,加速计的检测质量块联结在振动梁上,当它承受加速度和使梁受张力或拉力时,振荡器的本征频率发生漂移,该加速度正比于振荡器本征频率变化。一个体溶解晶片在玻璃化微机械过程中,通常用单晶硅制造SOA,在无引出线陶瓷基片上用真空封装SOA技术得到一个精确谐振频率。设计思想包括两个方面,一是紧封闭型,二是有限元分析。试验结果涉及振荡器本征频率,仪器品质因素,加速度灵敏度和振荡器对温度的灵敏度,实验结果和封闭型详细分析结论完全一致。 相似文献
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文章分析了影响石英挠性加速度计标度因数(K1)的长期稳定性的原因,讨论了一种将磁极片和磁钢的尺寸及磁钢材料进行改进的方法。并通过ANSYS大型有限元分析软件对改进的石英挠性加速度计的磁路进行了计算,获得了满意的结果。通过对结果的分析获得了对有关现象的直观深入的认识,为所计算加速度计的改进设计提供了线索。 相似文献
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Q-Flex quartz flexure suspension technology has evolved to produce a world class accelerometer with thousands of units delivered in 1991. The Sundstrand Model QA3000 Q-Flex design achieves a new level of inertial grade performance while maintaining a competitive market price. The specification for the QA3000, supported by actual performance data, depicts performance characteristics superior in both bias and scale factor. Long term measurements display bias and scale factor repeatability obtained across temperature over a period of three years. These data exhibit improved thermal behavior with reduced errors. Reaction time and radiation data highlight the performance of the hybrid position detector circuit 相似文献
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分体式石英谐振加速度传感器在性能提升上受到装配误差等因素的影响较大,故提出一种全石英谐振加速度计芯片结构,包括下层的硅结构和上层的石英结构。下层的硅基底仅作为支撑结构进行加工制作,敏感单元为全石英材料,硅结构与石英结构键合到一起,结构加工完成后去除硅材料,以释放石英敏感单元。整体结构为中心对称,包括质量块、音叉结构、微杠杆结构和应力分配梁,芯片通过微杠杆结构来增大传感器的灵敏度,并通过应力分配梁使石英音叉两根振梁上的内应力均匀一致。通过仿真验证了设计的有效性,仿真的差动灵敏度为35Hz/g。 相似文献
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