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微振动试验中所用的加速度传感器简称高精度加速度传感器,其相比于常规加速度传感器测量量级很低,可以达到10-5g量级甚至更低,用常规的加速度动态标定技术无法实现该量级水平的标定,也无从验证其测量精度的准确性。针对高精度加速度传感器测试精度的标定难题,文章提出在气浮台上设置比对梁的方法,通过激光测振仪和高精度加速度传感器对同一测点进行测量,并将两者的测量结果进行比对分析,以标定高精度加速度传感器的低量级测试精度。同时设计试验对手头现有的微振动加速度传感器进行标定以验证该方法的有效性,试验结果表明:利用激光测振仪标定现有高精度加速度传感器得到的比对结果符合预期;高精度加速度传感器测得的时域波形及频域波形与激光测振仪测得的基本一致,比对偏差在10%左右,满足标定方法要求。 相似文献
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提出一种哥氏力原理与光纤干涉测量相结合的新型微光机电陀螺仪,以达到更高的角速度测量精度。根据哥氏力原理微机电振动部分将输入角速度转换成为微型质量块的单轴简谐振动,再由高精度光纤干涉位移读出系统对由转动所引起的振动位移进行测量,进而间接读出输入角速度。这里建立的数学模型和推导出的公式具有一般性,可用于各种不同的设计和结构,并且推导出角速度与光干涉输出光强之间的关系。光纤干涉读出系统在位移测量精度上要优于电容式读出系统,而且随着新型微型光源和光探测器的发明,光学系统已经具备和现有微机电系统结合的可能性。
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电容式硅微机械加速度计系统的特性研究 总被引:3,自引:0,他引:3
微硅电容式加速度计是目前微硅加速度传感器发展的主流,影响其性能有多方面的因素。现详细分析了电容式微加速度计敏感模态的工作原理,阐述了不同情况下提高加速度计静态灵敏度所应采取的措施,给出了加速度计三种振动模态的谐振频率与结构参数之间的关系,通过对加速度计集总模型分析,得到了反映和影响加速度计性能的阻尼、灵敏度、分辨率和吸附电压等关键物理量的具体表达形式。从而可知,加速度计的性能和梁的尺寸,检测质量块质量、极板面积、开孔数目等因素有关。 相似文献