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当前,硅微机械器件引起导航与控制系统传感器开发者们越来越密切的关注,微硅加速度计和角速率传感器最根本的优势在于其体积小,功耗低,相对成本较低,而且与微电睡的组合成本低,可实现。本文介绍了RDC在微硅加速度计和多用传感器研制方面的成果,介绍了硅平衡式加速度计和频率输出型开环加速度计的基本特性,同时,探讨了今后导航和控制系统中硅微机械应用的技术路线。 相似文献
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冯惠明 《自动驾驶仪与红外技术》2000,(2):19-25
本文论述微机械加速度计,主要介绍它们的工作原理和设计规范,以及各种装置的结构,装配技术以及设备的技术,封装和界面电子电路,还有微机械惯性传感器在商业化过程中的发展行情,惯性传感性能在不断提高,如今的微加速度计的分辨率达ug级,电路和封装技术的发展满足了惯性传感器发展的需求。 相似文献
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汪宝宁 《自动驾驶仪与红外技术》1995,(1):20-24
光纤传感器发展很快,它作为测量元件被应用到惯性技术中,除光纤陀螺外,光纤加速度计的应用成为必然。光纤加速度计与机电加速度计相比,精度高,灵敏度好,它集光机电技术于一体。文中简述了开环和闭环光纤加速度计的工作原理,技术难点,及应用前景。 相似文献
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风子 《航空精密制造技术》1995,(3)
离子淀积可提高表面粗糙度等级在切削刀具上采取等离子体辅助的离子强制淀积(IAD)技术,可以得到更均匀的、较好粘附力和极光滑表面的TiN涂层。与PVD(物理气相渡积)涂层比较,用IAD技术所获涂层显著地降低刀具的摩擦,即减少刀具的磨损.这就排除了PVD... 相似文献
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陶健美 《自动驾驶仪与红外技术》2002,(1):20-24
本文描述了一种新型谐振式加速度计,该加速度计中的横梁和振动摆耦合为一体,且横梁受内置式压敏电阻激励后,传感摆的振动变化,加速度使振动摆偏移原始位置。造成传感器内部件特征应力变化,使谐振频率发生改变,本文着重研究谐振梁振动特征,在高振幅非线性区域,理论与实际地处理显示结果,该加速度计电-热干扰可以相互消除谐振传感原理保证了该传感器的准数字信号输出,高灵敏度以及完整的力学试验,先进的自动安全系统和电子伺服系统要求传感器结构可靠。传感器自测试性能,在运行中内部元件无需结构调整。自测试理论也可用于非谐振式结构的传感器。 相似文献
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《航空精密制造技术》1995,(2)
激光硬质合金涂层硬化法国Techogenic公司开发出一种用激光在薄的和不规则表面上涂上一层硬质合金硬化层的新技术.涂层时采用球形硬质合金粉末.该工艺能在复杂几何形状的薄的零件上淀积抗磨损涂层。以前,只能以高能级技术涂上厚的涂层,在薄的零件上淀积将会... 相似文献
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硅微加速度计作为一种新型惯性传感器,它在体积、重量、成本、功耗、可靠性和寿命方面都具有传统加速度计无可比拟的优势。本文阐述了MS8000硅微加速度计结构和工作原理,并对其重要性能参数进行了测试和分析。 相似文献
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冯惠明 《自动驾驶仪与红外技术》2002,(3):28-34
本文描述未来太空飞行器中的加速度计,采用的高灵敏度位置传感器的结构和性能,其机电转换机构的原理是一种电容位置传感结构,它在静电加速度计中探测“质量块”的移动。有一种所谓“面积变化电容器”的系统,在质量块上的反作用力很小,位置传感器分辨率在0-1Hz频带宽度范围内达到十分之几的皮米(10^-12米),用δ-△转换器把位置数字化后反馈给加速度计控制器。 相似文献
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静电驱动是实现微米光栅加速度计小型化和闭环力反馈控制的关键, 其引
入的静电刚度对加速度计灵敏度有着重要影响。对基于静电刚度的微米光栅加速度计灵
敏度特性进行分析。首先, 建立了基于静电刚度的微米光栅加速度计灵敏度模型。其
次,通过MATLBA 仿真,得到静电驱动电压与传感器灵敏度的理论关系。最后,对理论
分析结果进行了实验验证,结果表明静电刚度可以改善系统刚度,静电电压从1.25V 到
2.05V 等间隔变化时, 加速度计的灵敏度由871mV/g 变化为1148mV/g, 分别相对于未加
电时的灵敏度783mV/g 提高了0.46dB 到1.66dB,提高了微米光栅加速度计的灵敏度。本
文研究内容对集成式闭环微米光栅加速度计的研究提供参考。 相似文献
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方次尹 《航空精密制造技术》1995,(2)
PVD CrN改进工具的寿命和性能15年前开发出CVD(化学气相淀积)后,CVD和继之研制的PVD(物理气相淀积)成为改进刀具和模具性能及寿命的两个重要的技术手段.但是合理应用这些工艺及其涂层需要设计师在多种涂层材料(TiN、TiC、TiCN、TiC... 相似文献
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美国联信航宇公司正就客户对它研制的一种适用于惯性测量装置的新型数字式速率和加速度传感器的兴趣进行调研。这种仍处于研制初期的传感器采用科氏(Coriolis)加速度来测量速率。每个采用微机械加工称为FIX(微型)Sciras的硅科氏传感器包含两个作为单块结构一部分的加速度计,这两个加速度计以恒定频率的幅值抖动来感测科氏加速度。三个传感器以正交方式安排可精密测量三轴的线加速度和角速度。据公司称,若采用直接数字接口,传感器及转换精度为每小时几度。 相似文献
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丰子 《航空精密制造技术》1995,(1)
PCD和CVDD切削刀具多晶体金刚石(PCD)和化学气相淀积金刚石(CVDD)刀具,都是一种新的切削工具。PCD刀具制造方法类似于WC-Do硬质合金.所不同的是,WC—Co硬质合金通过烧结技术把WC晶体用连接相Co结合在一起,而PCD实质上是借助于富... 相似文献
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在航空及其他国防工业的测试技术领域里,振动冲击过程的测试是一个重要课题。对于脉冲作用时间较长(100毫秒以上)、频谱范围较低(几十赫芝以下)的振动冲击量,常用压电晶体式加速度计测量,但不能测量波形的直流分量,无法正确反映振动冲击过程的全貌,它的使用受到限制。张丝式加速度计是一种非粘贴式应变传感器,能够测量波形的直流分量,有较好的动态特性,比较适宜于作用时间较长、频谱范围较低的振动冲击过程 相似文献