硅晶片表面超精密加工中的温度控制

温度是硅晶片表面超精密加工中的关键工艺参数。深入研究化学机械抛光中温度参数对硅晶片表面状态的影响规律。实验结果表明,在30℃~35℃温度范围内的恒温工艺条件下,硅晶片表面质量较佳。以虚拟仪器LabVIEW为软件开发环境,搭建抛光设备的温度控制工艺模块,设计采取相应技术措施有效实现温度控制。实验验证该工艺模块具有启动迅速,控制精度高,恒温效果好等优点。     

半导体压力传感器电路

这里介绍的半导体压力传感器(FPM-05G)具有小型、轻量、精度高的特点。半导体压力传感器利用了硅的压阻效应。在硅晶片上扩散形成电阻层,作成硅膜片,从而提高了压力灵敏度。将扩散电阻层组合成惠斯通电桥,然后将压力转换成电信号再进行处理。     

用于下一代X波段T／R模块的20WGaN高功率放大器（HPAs）

用于未来X波段有源相控阵天线的下一代T／R模块的高功率放大器是在新型AlGaN／GaNHEMT结构的底板上实现的，该HEMT结构外延形成于Sil晶片基板上。设计和实现了作为发射链关键元件的混合和单片集成电路。 在混合电路设计基础上，可实现23W（436dBm）的最佳峰值功率电平及29％的相应功率增加效率（PAE）。在2GHz（X波段）的带宽范围内输出功率电平大于20W。 在一种更为复杂的方法中，采用新型通孔微带技术首先设计、仿真并制作了单片微波集成电路（MMICs）。在12mm^2的小型芯片上测量出了20W（43dBm）的输出功率电平以及30％的相应PAE。获得了高达36．5％的最大功率增加效率值。     

碳—高硅氧／酚醛带缠复合结构成型及其应用

介绍了碳／酚醛、高硅氧／酚醛带缠复合材料的复合结构成型工艺，以及在固体火箭发动机喷管上的应用。采用复合结构能达到简化喷管设计、降低成本和提高可靠性。     

美新载人火箭将加减震器

美国航空航天局称，用于发射“奥利安”载人飞船的新型“战神”1火箭将采用类似于汽车上用的减震设备来解决振动过大问题，以为宇航员提供更平稳的乘坐环境。工程技术人员提出了一种系统方案，即在火箭一、二级间采用弹簧与阻尼装置，并在第一级的尾裙内设置16个装在弹簧上的重物，可隔离沿结构上传的震动，把宇航员感受到的过载减至地球引力的约1／4，若不采取这一措施，     

钣金CAD／CAM软件的选用

分析比较了三种CAD／CAM软件在钣金数控设备上应用的优缺点，提出并实验了一种联合使用CAD／CAM软件的方法，发挥了各软件的优势，从而大大提高了钣金数控加工设备的生产效率。     

大电流输出DC-DC转换器瞬态响应的提高

涉及到64位微处理机使用的低压大电流输出DC—DC转换器，为了提高其动态响应而开发出同步并联倍流整流器。因此，在输出为1．3V／130A的原型机上以300A／μs的转换速率实现了50mV的输出电压偏差。     

热化学烧蚀理论在喷管碳酚醛材料上的烧蚀应用研究

针对固体火箭发动机研制中应用广泛的碳布／高硅氧布酚醛缠绕制品，采用三方程热化学烧蚀反应理论和模型，对固体火箭发动机喷管扩散段进行了热化学烧蚀研究，并在某型号发动机上进行了验证计算。研究结果表明：该计算和试验结果基本吻合，具有一定的工程指导作用。     

镍镉浸渍液中硅含量新工艺测试方法

提出并研究用氧化亚氮—乙炔火焰原子吸收光谱法分析测试镍镉浸渍液中的含硅量。并对镍镉浸渍液中硅含量的测试方法等条件进行综合考虑。新工艺测试方法具有很好的灵敏度，干扰少，重现性好，其含硅量在５～５０μｇ·ｍｌ－１范围内与吸光度呈线性关系。测定样品含硅量（３４．０μｇ·ｍｌ－１ｎ＝１０），相对标准偏差为小于２．２％。标准加入回收率均在９８％～１０３％范围内。适用于镍镉浸渍液中含硅量的控制分析和样品系统分析。在当前分析领域里，用氧化亚氮—乙炔火焰原子吸收法分析测试镍镉浸渍液中含硅量属一种先进的仪器分析测试方法。     

大展弦比双凸型曲面弹翼的CAD/CAM/CAT技术研究

某导弹大展弦比双凸型曲面弹翼是全部件采用ＣＡＤ／ＣＡＭ／ＣＡＴ技术完成的首例．弹翼为上、下整体壁板铆接装配结构，弹翼展弦比大，壁板长而薄，公差要求高，技术难度大．文中论述了其结构特点，工艺制造方案以及在ＣＡＤ／ＣＡＭ／ＣＡＴ各环节中关键问题的分析和解决方法。     

压电悬臂梁双晶片串联结构的修正模型研究

本文针对传统的压电悬臂梁参数模型的压电耦合弊端,提出了修正后的压电悬臂梁双晶片串联结构模型,引入修正因子,并给出了相应的机电耦合解析解。将传统的压电悬臂梁集总参数模型和修正后的压电悬臂梁双晶片串联结构模型进行仿真对比和实验测试,仿真结果显示:是否考虑末端质量对压电悬臂梁的压电能量采集的各项参数都有很大影响。实验测试显示:传统的集总参数模型误差值大,压电悬臂梁双晶片串联结构修正模型精度高,与实验数据误差小。     

硅基微加工工艺滤波器的研究进展

硅基滤波器在毫米波频段具有高Q值、低损耗、小体积、低成本的明显优势，并且易于与集成电路集成，是解决毫米波滤波器芯片化的绝佳手段。文章首先给出了硅基微加工工艺滤波器的设计方法分类，然后着重介绍近年来国内外硅基微加工工艺滤波器的五种不同设计方法：集总式、薄膜腔体型、带线型、自屏蔽型以及基片集成波导型。通过介绍各方法的工作原理，重点分析了各方法的研究现状及优缺点，并进行了综合对比分析，从加工工艺难度和性能上来看，自屏蔽型以及基片集成波导型硅基微加工工艺滤波器具有更大的发展空间和应用前景。     

用于可重构天线的高精密作动器研究

随着反射阵天线技术的不断发展,集成了高精密运动执行器的反射阵天线能够实现波束扫描,成为了一种新型天线的研究热点.为了便于集成及可工程化,要求执行器具有较小的体积、低功耗、快速响应、可靠性高,以及简单可控等.研究的执行器主要由压电双晶片和高精度微型齿轮组成.通过对一组双晶片交替电压载荷,执行器可以实现往复旋转.研究过程中,使用多物理场耦合有限单元法优化了执行器的结构及几何参数.通过精密机械加工技术实现执行器各组成部件的制备.双晶片由压电陶瓷和玻璃纤维材料制备而成.金属材料用于制备执行器的外壳和执行器中的微齿轮,并对制备的零部件进行装配,测试得出执行器的相关性能与设计结果对比基本一致.     

图片解读

照片是北京卫星环境工程研究所自主研制的一台石英晶体微量天平性能测试设备。该设备可用于天平及晶片的可靠性测试及筛选。它可进行天平及石英晶片的高低温循环,以获得天平的温度频率特性曲     

霍克先进中程空空导弹防空系统

在今年举行的第四届′９９阿布扎比国际防务展上，美国推出了一种新的地空导弹系统。该系统由美国雷锡恩公司和挪威康斯堡公司联合研制。系统中包括改进型霍克和先进中程空空导弹两种导弹，通用导弹发射架，火力分配中心，ＡＮ／ＭＰＱ６４三坐标雷达和ＡＮ／ＭＰＱ６１照射雷达。导弹该系统采用两种已经成熟的导弹，即霍克地空导弹和先进中程空空导弹（ＡＭＲＡＡＭ），它比采用单一导弹的防空系统具有许多长处：（１）霍克导弹的作战空域大，具有攻击小雷达反射面积目标的能力；（２）先进中程空空导弹具有攻击多目标和集群目标的能力…     

NASA研制发动机用新型铝合金材料

NASA马歇尔航天飞行中心的2名科学家研制了一种新型高强度铝-硅合金,可以减小零部件的质量和成本,降低车、船等发动机的排放量,提高里程,提高发动机的性能和耐久性。这项工作始于7年前,原本打算研制1种高强度低成本的铝合金用于活塞设计上。这种铝合金代号为MSFC-398,在500～700 F的高温下表现出的强度很大。实际上,在600 F的测试中,这种合金材料比普通的铝合金强度要大3～4倍。这种材料成本也很低,生产1磅（约0.454kg）的费用不到1美元。 这种高强度铝合金是高温铸件的理想选择,能以液态被重新铸造成不同的形状,从而可以降低铸造零     

特种陶瓷在宇航工业中的应用

随着科学技术的进步,现代陶瓷在传统工艺和组成方面都有新的发展。从天然矿物扩大到使用人工合成的化合物,从硅氧四面体发展到以铝氧、锆氧八面体和硅氧、硅炭四面体;在工艺上从含有大量液相烧结进入少含或不含液相烧结;在制造方法上从简单的手工操作到自动化等。相继出现了电子陶瓷、超硬陶瓷、高温陶瓷、生物陶瓷和电光陶瓷等等。脆性大、强度小、韧性差、高温下经不起机械冲击等弱点逐渐得到克服,这类崭新的陶瓷在美国称     

化学气相反应法在C/C复合材料抗氧化处理中的应用

通过把硅蒸气渗入预制体孔隙与碳直接反应生成SiC的化学气相反应(CVR)方法,提高初始密度和预制体结构均不同的C／C复合材料的抗氧化能力,研究了C／C复合材料的密度变化与微观结构,并对其进行了氧化试验。结果表明,因CVR温度、C／C复合材料初始密度不同,抗氧化处理后的密度增加量有显著不同。针刺炭布C／C／SiC复合材料在马福炉中于1160℃经65min氧化后,其失重率仅2．6％,而密度为1．95g／cm^3的同结构C／C复合材料相在同条件下失重率高达32％。     

锅炉火焰监控器

国外最近研制成功一种微处理机控制的锅炉火焰状态监控系统。在火力发电和大型厂矿的工业锅炉运行中得到广泛的应用。 这个系统由三部分组成: 1.扫描头——由镜头、硅电池阵构成。测试精度高。由于没有精密的机械对正装置,而且最终校验是在中央控制系统上进行,因此安装工作极为简便。     

含硼人造金刚石聚晶刀具切削高硅氧玻璃钢

玻璃钢是一种应用广泛而难加工的材料。其难，表现在刀具耐用度极低。对于表面积大的工件，尤其不易保证加工质量。本文针对这一问题，采用含硼人造金刚石聚晶块作为刀具材料，通过切削试验，与硬质合金（ＹＡ６）对比，肯定了聚晶材料的切削效果，并确定了刀具的结构形式、几何参数。推荐了切削用量并初步探讨了刀具磨损机理。提出了合适的磨钝标准，并计算了使用聚晶刀切削高硅氧玻璃钢的经济效果。