高灵敏度微型空气静压支承方导轨的制造技术

分析了超精密一维测量头对导轨的灵敏度要求，论述了高灵敏度小型空气静压方导轨的制造方法。采用该方法制造出来的导轨可将导轨的摩擦力控制在5mg以内，导轨的直线性控制在1μm／10mm内，这使得超精密一维测量头实现0．05μm的重复测量精度成为可能。     

电子束曝光机工作台及精密轴承——用电子束扫描提高LSI图形精度

利用电子束扫描制造LSI光刻掩膜版,已取代从前的照像制版。在技术先进国家已进入实用化阶段。而电子束光栅扫描曝光机连续移动工作台的结构及精密轴承的精度和性能,决定于减少电子束的偏转角和工作台上下往返移动寸产生的位置误差。制造材料必须用热膨涨系数小,非磁性防止磁场变化。装配和加工技术要求精密微细化。电子束曝光机整体结构要真空密封,防止外界环境干扰。传动部分采用静压空气轴承、滚珠丝杠,滚柱轴承支持V型导轨等先进技术。     

H型动压气体轴承副加工技术

Ｈ型动压气体轴承副精度要求高，材料加工困难，通过对精密磨削、精密研磨工艺、稳定化处理技术等方面的研究，可使动压气体轴承副达到超精密级的加工精度。     

精密加工与超精加工机床的发展

控制系统的零部件的加工精度要求越来越高,所使用的材料及性能的技术要求不断变化,必须有超精密机床作保证。现就超精密机床的发展概况和动向,包括精度的提高、结构材料的革新、支承系统、主轴系统、环境条件等加以论证。     

超精密轴磨削用中突中心孔加工

亚微米级切削系统，要求空气静压主轴的回转精度在０．０５μｍ范围内。为提高切削系统的加工精度，研制成功了中突中心孔结构。阐述了中突中心孔的加工和使用效果。     

带伺服滑环和空气静压轴承的转台主轴干扰力矩的实验研究

带滑环伺服系统且采用空气静压气浮轴承的高精度陀螺漂移伺服转台，其控制精度受到气浮轴承粘滞力矩、涡流力矩、轴系质量配置不当造成的静不平衡力矩和滑环伺服系统对主轴干扰力矩的影响。本文通过理论分析和实验研究认为，当主轴轴系垂直于地面放置时，其主要干扰力矩来自滑环伺服系统。论文在对实验数据进行各项检验和处理的基础上给出了主轴常值和随机干扰力矩的数学表达式，为进一步提高同类伺服转台的伺服精度提供了一条有效的途径。     

超精密加工技术

超精密加工技术,是以材料科学为基础制造工艺为中心的综合技术,对现代科学技术的发展起了重大的推动作用。 一、超精密加工的定义 什么是超精加工?究竟多大误差值才算超精密级?目前意见不一,且无明确的定义。国外有人将1～0.1μm定为精密加工;将0.1～0.01μm定为超精密加工(见日刊《精密机械》,1972,N02,津和秀夫的《超精密加工》一文)。日本在1975年提出“精密加工精度提案”     

发动机涡轮泵流体动静压轴承应用分析

针对液体火箭发动机涡轮泵特殊工作环境,讨论了流体动静压轴承可采用的结构形式和需要解决的关键技术。提出了径向轴承宜采用腔式结构,止推轴承宜采用螺旋槽或瓦块结构;并针对液氧涡轮泵动静压轴承提出了研究需要解决的关键技术。     

应用动静压混合轴承改造磨床

介绍了动静压混合轴承的结构、工作特点及电气控制原理。应用动静压混合轴承对旧磨床进行改造 ,提高了磨床的加工精度、表面粗糙度、切削能力和加工效率。     

航空发动机波瓣形轴承加工技术

波瓣形轴承是中小型航空涡轮发动机的关键零件，主要用来解决航空发动机在高速工作情况下出现的轻载打滑问题。针对这种轴承的外圈波瓣形滚道的加工情况，提出了一个采用直线电机直接驱动进行数控磨削的加工方案，解决了加工的关键技术问题。该方法已用于某型号航空发动机主轴轴承的加工，效果良好。     

航天铝基复合材料零部件超精密加工技术研究

针对航天高碳化硅铝基复合材料零部件采用聚晶金刚石PCD刀具进行了超精密车削加工试验，用原子力显微镜AFM和扫描电子显微镜对其进行了检测，分析了零部件表面粗糙度值的大小及影响因素、SiCw变形破坏机理、已加工表面微观结构及加工变质层特性。结果表明，超精密车削高碳化硅铝基复合材料零部件可以获得超精密级加工表面（如Ra11．5nm）；超精密车削过程中SiC，存在着三种主要变形破坏机理：直接剪断型、拔出型和压入型，且以直接剪断型为主。直接剪断的SiCw对表面粗糙度值影响最小，而后二者是影响表面粗糙度值达到超精密级的主要障碍；超精密加工零部件表面仍会产生很薄的加工变质层。     

军工精密与特种加工技术交流会

2007年7月24-26日由航空超精密重点实验室和中国兵工学会特种加工分会主办的将在“军工精密及特种加工技术交流会”苏州(暂定)举办。     

温度对铝合金零件精加工尺寸的影响

一、概述 近年来,随着精密加工的发展,人们对超精加工机床的研制和新型刀具材料的选用,已相当重视,但对加工中工艺系统热变形对产品精度的影响重视还不够。在超精加工中,热变形对零件的影响是十分显著的。据统计,热变形引起的误差,占总加工误差的40％～70％。热变形不仅严重地降低了加工精度,而且影响生产效率。国外在设计超精加工机床时,考虑工     

小不对称物体配平性能风洞实验研究

用阶跃响应法,在风洞中测量小不对称物体配平性能的实验原理、实验装置、数据处理及部分实验结果。 模型支承于空气静压轴承。在模型内部设有电磁机构,在一次吹风中,可以阶跃方式多次提供不对称量。由高精度、非接触的感应同步器数字测量模型俯仰角变化历程。用修正Newton-Raphson法处理数据,求出小不对称量引起的配平角δ_o、俯仰力矩C_mo和气动刚度C_ma、气动阻尼C_mq等参数。 对11°斜切锥,钝度比分别为0.06及0.16的模型进行了风洞实验。实验M数为33.5和4。实验结果表明,所采用的实验原理、设备及方法可提供较好的精度及分辨率。实验还求出了配平性能(δ_o,C_mo)以及C_ma,C_mq随M数的变化。     

光学非球面超精密磨削质量控制技术研究

对光学非球面超精密磨削技术和表面加工质量控制技术进行了理论分析和实验研究.通过对MSG-325金刚石超精密车床的技术改造,可以对各种光学表面进行超精密磨削加工,尤其适合于光学非球面的超精密加工,在较短时间直接达到光学零件的表面质量要求.采用改造的磨削系统,加工出左端为抛物面,右端为双曲面的微晶玻璃内非球面,加工表面粗糙度Ra3 nm.     

光学非球面超精密磨削质量控制技术研究

对光学非球面超精密磨削技术和表面加工质量控制技术进行了理论分析和实验研究。通过对MSG-325金刚石超精密车床的技术改造，可以对各种光学表面进行超精密磨削加工，尤其适合于光学非球面的超精密加工，在较短时间直接达到光学零件的表面质量要求。采用改造的磨削系统，加工出左端为抛物面，右端为双曲面的微晶玻璃内非球面，加工表面粗糙度Ra3nm。     

超精密加工技术的现状及发展前景

一、概述 超精密加工技术和超精密测量技术是极为重要的基础技术,是衡量一个国家科学技术和武器发展水平的一个重要标志。一个国家如不掌握超精密加工技术并具备相应的生产能力,就很难涉足于现代尖端技术领域。因此,各国政府和军工部门对超精密加工技术都十分重视。近10年来超精密加工技术得到了加速发展,目前已成为强大的行业。超精密加工在美国     

超精密切削刀具的特性及其制造方法

超精密加工最关键的问题是超微量切削技术。要达到极限的加工精度和极限的加工速度,刀具是一项关键研究课题。单晶金刚石是目前超微量切削加工中最常用的切削刀具材料。金刚石刀具是超精密加工技术的开发重点之一。单晶金刚石刀具切削刃的几何形状是根据被切削材料和加工形状等特定要求而制作的。金刚石刀头可分为直线刃刀头、圆弧刃刀头和特殊形状刀头三种。金刚石刀具的制造大致有以下几个步骤:1.坯料的选择;2.定向;3.研磨;4.检验。     

新型狭缝节流球形静压气体陀螺轴承的动态特性

针对新型结构气浮陀螺,对其中的狭缝节流球形静压气体轴承,采用小扰动法进行动态特性分析,通过相容性条件将狭缝气膜与球形支撑气膜统一,建立动态Reynolds方程的伽辽金余量弱解公式,有限元求解有关弱解公式的耦合非线性方程组,得到动态特性系数,进行仿真并分析了该结构球形静压气体轴承的动态特性系数随扰动频率v(挤压数σ),转子转速ω(压缩数Λ)以及偏心率Eh的变化规律,从而在理论上确定了该结构气体轴承动态特性系数的影响因素及变化规律。     

电火花加工中心加工超行程工件技术

简要介绍了利用一加长板构件实现了在现有设备上同基准加工超行程工件，较好地解决了“东三”二馈喇叭阵、接收层、发射层因设备行程不够而带来的工件重复装夹、加工基准不重复、工件精度难以保证等问题。加长板构件的简单、可靠性，保证了我所“东三”二馈任务的进度。