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安卫 《航空精密制造技术》1996,(3)
新的微细加工技术美国国家标准技术研究所和哈佛大学正在研究一种新的微细刻蚀方法,即用粒子束代替光束.目前,用光刻的方法剜蚀集成电路可达035pm的尺寸.在10年内,光刻尺寸将达到013pm的极限.使用新的加工方法可$J蚀出具有几十纳米尺寸的图形.光刻尺... 相似文献
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实现微细加工的基础技术 总被引:1,自引:0,他引:1
实现微细加工的基础技术中国航空信息中心饶勤目前,汽车、电子、航空航天、光学和医疗器械中的许多零件均具有小于1毫米的整体尺寸和微米级的内部结构尺寸,微细加工技术则是制造这类微型零件的唯一手段。有三项基础技术是微细加工能否成功的关键。一、运动控制技术要实... 相似文献
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Bao Huaiqian a b Xu Jiawen a Li Ying a c aJiangsu Key Laboratory of Precision Micro-Manufacturing Technology Nanjing University of Aeronautics Astronautics Nanjing China bCollege of Mechanical Electric Engineering Shandong University of Science Technology Qingdao China cSchool of Mechanical Electrical Engineering Jinling Institute of Technology Nanjing China 《中国航空学报》2008,(5)
为了寻求航空精密微细制造新技术并实现绿色制造和精密微细制造,对一种新型微细电解加工方法——纯水微细电解加工进行了研究。基于水解离机理,在新研制的试验装置上,采用不同的试验条件,进行了一系列工艺试验,探索并揭示了实现纯水微细电解加工的必要工艺条件和工艺规律,加工了圆孔和字母"PW-ECM";还研究了超声振动—纯水电解复合加工新方法,进而在不锈钢薄片上加工出三角、方形盲孔、三角通孔;试验研究结果证明了纯水微细电解加工的可行性。 相似文献
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《航空精密制造技术》1995,(3)
激光的微细加工据日刊报道,美国马里兰州的NationalInstituteofStandardandTechnology的研究人员正在向零件小型化的极限挑战,他们主要以激光技术为手段.使用激光光波可在硅表面配铬原子的行列,其行列宽度仅约65mm.细度... 相似文献
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探讨在超精密微小型铣床上进行微结构的精密微细铣削的可行性,使用不同类型的微小刀具在高分子材料上成功的加工出不同的微结构阵列,使用扫描电子显微镜和激光共聚焦显微镜观察并分析了精密微细铣削加工的微结构阵列. 相似文献
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对国内外微细电火花线切割加工技术的研究现状和发展趋势进行了系统的分析,有助于该技术的进一步发展和应用。 相似文献
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冷等离子体射流中微细电火花加工在一定程度上获得了比纯气体介质中更好的加工性能。然而由于放电脉冲能量小,造成放电间隙小,使得电蚀产物排出困难,短路、拉弧等不正常放电现象仍然频繁发生,严重影响了加工的质量和稳定性。为此,提出在工件上施加超声振动的方法以改善冷等离子体射流中微细电火花加工过程的稳定性,并探究其加工特性。针对电火花加工的击穿距离、材料去除率、表面粗糙度以及工具电极相对损耗率等工艺指标,进行了工艺试验。试验结果表明:工件施加超声振动以后,熔融的电蚀产物更容易从工件表面剥离;当以冷等离子体和压缩空气混合射流为加工介质时,超声辅助等离子体中微细电火花加工性能得以明显改善,材料去除率提高13%,表面粗糙度降低19%,电极相对损耗率降低13%。 相似文献
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微细电火花线切割加工工艺研究 总被引:3,自引:0,他引:3
通过对微细电火花线切割加工极间放电状态的分析,提出了微细电火花线切割加工伺服进给系统的特点,并总结了微细电火花线切割加工的工艺规律,为实现生产领域的高精度、高效率加工提供了可靠的工艺保障。 相似文献
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《航空精密制造技术》1995,(1)
超微细加工仿真系统再现原子级切削加工日本松下技研(株)与西东京科大的堂山昌男教授合作共同开发出超微细加工仿真系统.该系统根据原子三维模型的分子动力学原理,实现了正规的微细切削加工的仿真,为开发超精密机床提供了强有力的支持.为了能高效率、损伤少地切削加... 相似文献
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荣烈润 《航空精密制造技术》2009,45(6)
越来越多的产品向着微型化、精密化的方向发展.促使微细孔加工技术也得到了飞速发展.本文对当前世界上利用激光加工微细孔的技术及其在航空航天领域中的应用作了介绍. 相似文献
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微细电解加工系统设计及实验研究 总被引:1,自引:0,他引:1
针对微细电解加工的特殊工艺要求研制了微细电解加工系统,包括机床本体及配套的电气控制系统,采取直接进给加工和周期循环加工两种不同的运动控制方案进行微细孔电解加工试验,并对结果进行比较分析。 相似文献
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分析了柔性铰链及压电陶瓷的原理和特点,指出了压电陶瓷-柔性铰链机构在微进给中具有高响应频率、高精度和无间隙等优点,满足微细电火花加工的要求。并将压电陶瓷与整体式柔性铰链相结合,设计出一种压电驱动蠕动式微进给机构。 相似文献