简讯

压电聚合物传感器自1975年以来国外发现有机聚合物经过适当处理(定向与极化处理)之后具有很高的压电效应,具有超过一般传感器的许多优点。不久以前用这种新的多用途压电薄膜材料作敏感元件制成了结构简单的电声传感器(如微音器,超声传感器)和有极好特性的宽频带声频装置,试制成振动传感器、应变计样机。最近国外还不断介绍有关资料,如:1.压电聚合物应变计     

一种用石英多晶材料作为弹性元件的应变式压办传感器

本文介绍了一种新的应变式压力传感器,它利用石英多晶作为弹性元件,用阴极溅射法制成应变电阻。本文对传感器的结构设计、制作工艺都做了较详细的探讨和研究,并制成一个传感器样品,对其作了一系列性能测试。     

动态称重法

本文简要地分析了目前动态称重时传感器测量系统采用“静态标定,动态使用”方法存在的问题。重点介绍了近年来美、日等国为解决这一问题,提出的一个全新的称重方法,即应用微处理机的动态称重法。     

压电式压力传感器的动态校准

通常对压电式压力传感器进行静态校准是有困难的。主要原因是放大器输入级的时间常数不够大,产生的电荷易被漏掉,因而输出电压不能保持在常值上。本文叙述了一种压力校准装置,用它可对压电式压力传感器的灵敏度进行绝对法和比较法校准。该装置能在5～10ms的时间内爆发出1高达1MPa的阶跃脉冲压力。压力传感器及其测量系统对此阶跃脉冲压力的响应,用微处理机处理,可自动给出压力灵敏度、响应曲线及其有关参数。校准精度约为1％。     

脉动压力传感器研制

测量脉动压力用压阻式压力传感器，通过有限元应力分析求得灵敏度高、线性又好的双岛硅膜片结构；采用双面对准光刻工艺，各向异性腐蚀微机械加工制硅膜片等新技术。最后给出了脉动压力传感器的动、静态性能指标。     

带μP的数字压力表设计

本文分析了硅压阻式压力传感器输出特性与硅电阻元件温度之间的关系。据此,提出了用μP对此类传感器进行温度及非线性等误差补偿的有效方法,以保证采用此类传感器的数字压力表在-20～50℃温度范围内误差≤±0.10％FS,在15～25℃范围内误差≤±0.05％FS。 本文还介绍了带μP数字压力表的硬件和软件,从而较好地解决了在较大温度范围内高精度压力测量的课题。     

从美国两个传感器会议看新型传感器发展趋势

本文介绍了1990年9月在美国芝加哥举行的国际传感器展览会与克里夫兰举行的第三届国际化学敏传感器学术交流会议的概况。从会议展出的产品中概括、总结了美国传感器目前达到的水平与几类新型传感器的发展情况(如微结构传感器、光纤传感器、有机薄膜传感器、硅传感器与化学敏传感器),可供国内同行借鉴。     

基于MCA7707的智能传感器补偿系统(英文)

讨论了一种基于 MCA770 7的智能传感器补偿系统。该系统可以补偿传感器 (特别是硅压阻传感器 )温度误差的线性部分和高阶非线性部分。通过该芯片的补偿 ,可以使硅压阻式传感器的重复性误差小于 0 .2 %。该系统能够自动地记录和计算各项补偿系数 ,从而大大地简化了补偿的工作量。为了方便操作 ,系统还设计了向导式的工作界面。     

耐高温动态压力传感器与实验分析研究

采用微机械电子系统（Micro Electro-Mechanical Systems,MEMS）和硅隔离（Silicon on Insulator,SOI）技术制作出了量程为25MPa的倒杯式耐高温压阻力敏芯片,敏感电阻条与硅基底之间采用二氧化硅隔离,解决了在大于120℃高温下力敏芯片工作稳定性和可靠性的难题。设计了齐平式机械封装结构,避免了管腔效应影响,提高了传感器的动态响应频率。对研制出的耐高温动态压力传感器进行了静态性能和动态性能的标定实验,静态实验温度为250℃,得到了传感器基本性能参数,分析了传感器的不确定度,得出该传感器的基本误差为±0.114%FS（Full Scale,全量程）,不确定度为0.01794mV,计算得到了传感器的热零点漂移和热灵敏度漂移指标,由动态性能实验得到传感器的响应频率为555.6kHz,实验表明所研制的MEMS压力传感器在高温下具有良好的精度和固有频率。     

梁-膜结构微压传感器研制

由四个弹性梁和一个刚性中心膜构成的梁-膜结构,具有平面应力集中效应,与一般的结构相比,这种膜片在受到微压时即产生较大的应力集中,使传感器在测量微压时有较高的灵敏度,它的特别的结构能解决一般结构膜片在很薄时由膜应力和弯曲应力产生的严重的非线性.介绍的这种双面腐蚀形成的梁-膜结构的硅压阻式微压传感器的设计就是采用这种应力集中原理,芯片结构的力学特性分析及样件测试结果表明,这种结构的微压传感器具有较高的灵敏度和较低的非线性,成功地实现了对微小压力的测量.利用有限元仿真计算对用于100Pa压力测量的梁-膜结构硅压力传感器的结构参数进行优化,并对芯片版图设计、制作工艺技术和传感器的特性等问题进行了讨论.     

铣床微处理机控制

本文介绍用TP801-Z80单板微处理机控制铣床的控制软件。该软件通过初步调试,并经实际铣切零件后证明它能取代价格昂贵、工作不稳定的原XK-5040立铣床的BK211数控柜。而且,该控制软件还增加了尖角过渡的自动编程以及自动过象限等重要功能,使零件程序及其编制工作量大为缩减。 文中着重介绍了解决八位字长、主频2MH2微处理机运算速度跟不上的一种新的刀补方法——斜率比较法,以及用单板机键盘作数控信息输入、检查和修改的输入处理程序。     

热敏式壁面剪应力微传感器技术研究进展

基于MEMS技术的热敏式微传感器为壁面剪应力的测量提供了重要手段。本文介绍了国内外热敏式壁面剪应力微传感器技术的研究发展现状，重点从硅基和柔性聚合物基2种结构角度，对其工作原理以及不同热敏式微传感器的结构、关键工艺和性能测试进行了分析。     

“GGY”-1型高温光纤压力传感器”研制成功

南京航空学院研制成功的GGY-1型高温光纤压力传感器是国内首次研制成功的能测量高温气流压力的光导纤维传感器,主要用于航空发动机动态压力的测试,也可用来测量内燃机及压气机的高温气流动态压力。 该传感器通过光纤将膜片感受的压力信号转换成光强调制信号,并传递到硅光电池变换     

MEMS梁膜结构流量传感器设计与实现

流量是工业检测重要参数之一。流量检测技术随着微机械电子系统（MEMS）技术的发展与应用，向着小型化、高精度、智能化的方向发展。基于MEMS技术设计了一种梁膜结合的压差式流量传感器结构，分析了其基本工作原理，采用硅微加工工艺对传感器进行了流片加工，然后对封装完成的传感器样机进行了气流和水流静态性能测试。气流测试灵敏度为0.3508mV/（ms-1）2，测试基本精度为0.5885%FS；水流测试灵敏度为41.5241mV/（ms-1）2，测试基本精度为0.9323%FS。结果表明，所设计传感器具有较高的灵敏度与基本精度，从而能完成流量信号的检测。     

混沌型传感器(英文)

创造性地利用混沌的初值敏感性,提出了混沌型传感器的概念和结构,证明了将符号动力学的基本理论用于测量领域是可行的.然后,用开关电容实现了混沌型传感器的理论模型,并给出了基本的实验结果.该传感器具有灵敏度和分辨率高、结构简单,直接输出数字量的特点,开 创了混沌应用的新领域,同时也为探索新型传感器结构提供了一条可能的途径.     

航天飞机用的遥测传感器

航天飞机遥测传感器的基本要求是稳定性好、高度可靠、小型化。本文介绍了航天飞机用的遥测传感器的种类与特点,在总结国外遥测传感器选用情况的基础上提出了作者对于我国航天飞机遥测传感器未来发展的设想。     

霍尔开关集成电路在自动功率控制系统中的应用

本文通过霍尔开关集成电路在自动功率控制系统中的应用,证明了应用该种器件的电控特性的可行性,以达到进一步开发利用该种器件的目的。     

用微处理机实现某无人机遥控和程控逻辑的研究

本文介绍某无人机遥控和程控控制量逻辑关系由微处理机来实现的系统方案,接口电路、以及系统软件的设计。这是应用微机技术,取代部分机载设备的一次赏试。在系统软件设计中,对控制量的逻辑关系作了较大的更动。这样就扩大了系统的功能,提高了飞行品质和可靠性,也有利于地面领航员的指挥引导。     

硅谐振微传感器中微现象测量技术

主要论述硅谐振微传感器中微现象测量，讨论了微现象测量中有关的技术；激励功率控制，超声频谐振频率的测量，频率特性的测定，品质因数的确定，克服电热效应的不良影响，同频干扰的抑制等。     

高精度气压高度表的研制

研制了一款适用于小型飞行器和无人机的高精度气压式高度表.通过曲面拟合的方法,运用最小二乘法完成了对硅阻压力传感器的标定和误差补偿工作,提高了压力传感器的实际输出精度.对实际大气状况与标准大气不符时的气压高度原理误差进行了分析,提出了误差补偿的新方法.实验结果和理论分析吻合较好,表明气压高度表有效地补偿了压力传感器原始误差以及大气状况不符时的气压高度原理误差,提高了气压高度表高度信息的实际精度.