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IEEE推荐的线加速度计精密离心机测试规范 总被引:3,自引:0,他引:3
提供了一份关于线加速度计精密离心机测试的操作和分析指南,包括从制定计划开始的每个测试阶段。论述了可能的误差源和数据分析的典型方法。目的是提供对离心机试验中包含的影响测量精度的各种因素的详细分析,既涉及离心机自身,又涉及数据采集过程。讨论了模型方程,既涉及离心机,又涉及典型的线加速度计,每种方程都针对适应各种特定特征和各自的误差源的需求。给出了从离心机测试数据推导被测加速度计的各种模型方程系数的一套新的迭代矩阵方程解。 相似文献
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由于静电场的负刚度导致控制回路系统的不稳定,因此静电力闭环硅微加速度计控制系统设计是硅微加速度计技术的关键核心技术,也是硅微加速度计设计的难点技术之一。在硅微加速度计项目研制过程中,我们解决了仪表回路系统的稳定性问题、高增益和带宽的问题,保证了仪表启动的快速性、精度和稳定性。 相似文献
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邓宏论 《自动驾驶仪与红外技术》2004,(3):16-23
随着惯性技术的发展,它的方向发生了新的变化,微机械技术日益占据重要的地位。石英振梁加速度计正是这样的一种微机械惯性仪表,因此有必要对其进行以下全面描述。在这篇文章中介绍了惯性技术的发展方向,石英振梁加速度计的发展状况、基本原理、主要构成和主要材料、主要优点,其研制的主要技术、途径也被提到,并进行了简单的精度分析。 相似文献
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微机械加速度计的温度特性实验研究 总被引:1,自引:0,他引:1
在温度对加速度计的影响方面主要通过开机特性实验、线性度实验以及温度模型的建立研究了零位加速度计输出的重复性、稳定性与温度的关系、不同温度下的线性度、零位加速度计输出的温度模型。 相似文献
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微机械加速度计发展现状浅析 总被引:1,自引:0,他引:1
自微机电系统(MEMS)技术以IC工艺为基础发展以来,微机械加速度计便作为其中一个耀眼的应用实例大放异彩。在国外,上世纪九十年代就有低精度微加速度计产品,同时国内也开始了相关研究。时至今日,微加速度计已经按高精度、中精度、低精度三个精度等级分别发展。以麻省理工大学(MIT)Draper实验室为代表的一些国外机构已经研制出10-7g级别的高精度微加速度计样机并尝试在潜射导弹、洲际导弹再入等方面取得应用,乃至将来替代高精度摆式积分陀螺加速度计(PIGA);以COLIBRYS、Honeywell等公司为代表的商业机构,依托自身科研能力,致力于将中精度微机械加速度计推出量产化的单表和组合成品并推向低端军用和高端民用市场;以AD、ST等公司为代表的跨国公司,依托自身工艺线,推出大量的微机械加速度计,占领了消费电子市场。国内的研制分工也越来越细化,技术路线、行业分工、研究内容、需求牵引都越来越明确,其中压阻式、热对流式微机械加速度计已经产业化,微机械加速度计已有小批量的产品,硅微谐振式加速度计也显示了很好的发展前景。本文试对发展现状进行了简单评析。 相似文献
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本文介绍巴西海军研究所研制的加速度计测试站的特点和性能,该测试站的主要特点包括很多方面,其中主要的有设备研制、机械和电气设备安装等。这诸多特点使它有可能敏感和分辨世界范围内质量最好的加速计(分辨率为1微g左右)。 相似文献
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作者已征税出一种新的微型表面微机械隧道式加速度计。加速度计的结构是在单晶硅片上产生出来的,由含有静电偏转电极的单个悬臂梁及其下面的隧道式顶部组成。在空气中,100μm和250μm长的悬臂梁的噪声分辨率在500Hz条件下分别为8.3×10^-4g/Hz^1/2和8.5×10^-5g/Hz^1/2。该器件使用一种低噪声自动伺服控制电路,以力再平衡伺服状态工作,所提供的动态量程为10^4g。这种新的加速 相似文献
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现代工程中常常需要对平面的水平或斜度进行测量。目前普遍使用的测斜仪器主要有水泡式、电容传感器式、电位计传感器式等。它们测量精度低,易受外界环境的干扰,响应速度慢,难以满足实时性高的动态测量要求。本文介绍了硅微加速度计在动态测斜中的应用,叙述了应用中的几个关键技术问题,并给出了实地测量的结果。本文最后指出。硅微加速度计应用于动态测斜完全可行,通过合理的系统设计,可获得较高的精度。 相似文献
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