纳米计量学与纳米计量测试技术（一）

从纳米计量与测试的总体概念出发，参考Ｔｅｇｕｅ等人的文章，综合国内外在这个领域的研究情况，并引用我们的科研成果，对纳米计量学与纳米计量测试技术发展现状及前景进行了讨论，讨论的问题包括：如何实现纳米尺度计量；建立纳米参考坐标系；产生纳米精度重复运动；纳米精度传感器与纳米会标参考系建立联系；各种纳米精度测量技术的不确定性限制等。     

自动化计量学大会展出的坐标测量机

介绍自动化计量学大会展出的坐标测量机及其结构，性能和使用范围。     

纳米计量与分子坐标测量机系统设计（2）

NanmetrologyandMolecularMeasuringMachineSystemDesign（2）WangJia4分子测量机计量系统STM和AFM均不是计量型仪器，而是作为位置传感器。分子坐标测量机必须采用能够溯源的超高分辨率激光外差干涉仪作为测量参考基准，并测量探针和样品之间的相对运动。激光外差可采用塞曼频率分裂，多模激光器或声光电光调制原理。干涉仪采用了光学8倍频。用相位计从时间间隔分析器中计算相位，其时间分辨率为200pa，电子细分技术实现1000细分。干涉仪的分辨率为0．075um。获得高精度的主要障碍是激光器和干涉仪光学元件中偏振态混合效应和非线性…     

纳米校准与测试——基于纳米测量机的试验性研究

主要介绍了基于纳米测量机的高阶梯差台阶标准样板和深沟槽深度标准样板计量测试和校准工作研究,包括在NMM上对两种标准样板进行计量测试和校准、在NMM上安装不同的探测传感器时纳米级深度标准样板和台阶高度样板的校准比较、以及在研航空基金项目"在NMM上实现小型非球面的坐标扫描轮廓测量方法".     

98美国质量设备展回顾②

OG2000测量系统由于采用了NIST可示踪校准棒，因此避免了系统校准错误的发生，使测量结果真实可靠。·测量仪器及CMMZeiss公司展出了品种型号众多的计量产品，其中包括首次在美展出的新型Vista坐标测量机。据公司介绍，自其6年前推出后，公司已向用户交付Eclips坐标测量机1000台、此外，公司还展出了其改进型PRISMO10坐标测量机。这种测量机在PRISMOVAST扫描系列坐标测量机中是最大的。其各轴向上的精度ul＝1．9＋L／300μm．由X、Y，Z三轴构成的测量空间为47＂×（70＂～118＂）×39＂，是用于测量大型零部件的扫描测量系统中…     

塑造测量的未来--访青岛前哨朗普测量技术有限公司总裁李洪全先生

青岛前哨朗普测量技术有限公司(Brown&Sharpe前哨 )是中国实力最强的数控三坐标测量机专业制造厂商 ,是跨国高科技制造业集团HEXAGON同中国航空工业第二集团公司下属青岛前哨精密机械公司共同投资在中国组建的国际化合作公司。该公司所提供的坐标测量机产品在航空航天、汽车工业、机床工具等领域得到了广泛应用 ,并始终致力于向着“塑造测量的未来”这一长期目标奋斗。日前 ,本刊记者采访了该公司总裁李洪全先生 ,并请他介绍了坐标测量机产品在航空领域的应用及公司为客户提供“全球化的计量解决方案”的途径     

组合坐标法精确测量微纳米台阶样板高度

微/纳米级台阶高度的精确测量是纳米计量技术领域中重要的研究工作。文中提出了一种以精确定位为前提的多区域坐标组合台阶高度测量法,应用纳米三维测量机实现了标称高度1mm的微/纳米级台阶样板高度的精确测量。结合实验数据,对影响测量结果的环节进行了分析,确定了影响测量结果的主要因素,并阐述了相应的解决办法。该技术内容对研究台阶样板的精确测量工作具有一定的技术参考价值和借鉴作用。     

基于并联机构的新型坐标测量机的研究现状及其发展趋势

由于并联运动机构具有结构刚性大、运动速度高、误差不叠加等特点 ,因而若将其应用于坐标测量机中 ,将有可能使坐标测量机的测量精度及测量效率等性能得到很大程度的改善。与常用的串联运动机构的坐标测量机相比 ,并联机构的坐标测量机具有以下特点 :①并联坐标测量机中的可动平台同时经由３根 (或６根 )可沿各自轴向伸缩的连杆支撑 ,从而使整个系统的刚度较串联机构坐标测量机有较大程度的提高 ;②各并联杆件只承受沿轴向的线性调节力的作用 ,因而其运动误差小 ,且杆件不易变形 ;③并联机构中 ,和杆件间不存在误差累积和放大关系 ,因些容易…     

坐标测量机发展的新方向--虚拟坐标测量机

虚拟坐标测量机是虚拟现实技术与坐标测量技术相结合的必然产物,是虚拟制造技术发展的需要。本文提出了三坐标测量机的一个新的发展方向－虚拟坐标测量机（ＶＣＭＭ）,介绍了虚拟坐标测量机的体系结构和基本功能以及虚拟坐标测量机仿真运行所需要的软硬件环境。     

意、美、德三家坐标测量机的改进和新性能

介绍了意、美、德三家坐标测量机结构及改进情况及测量机新的测量性能。     

坐标测量机软件质量的评定

EvaluatingSoftwareQualityofCoordinateMeasuringMachineZhouWeihu坐标测量机中广泛采用的用于处理测量数据的软件，其质量优劣悬殊很大，尤其是几何形状评定软件。相当一部分软件因质量不过关而导致用户对坐标测量机失去了信任。英国国家物理实验室的MauriceCox先生在文中论述了坐标测量机软件质量评定和比对的三种方法。坐标测量机软件一致性的测试方法可分为如下三种：证明法、利用数学特征进行自评价法以及用参考数据组（软件规）进行测试的所谓黑匣子法。所有这些测试方法都与坐标测量机的测量能力无关。证明法是将传统的数学证明…     

几种新型的三坐标测量机及软件

英国IMS公司生产的IMP坐标测量机是一种低成本的手动式三坐标测量机，可进行援触式和非接触式测量．其测量范围为400mm×500mm×400mm测量精度为3μn破照CMMA,其空间测长不确定度为3＋L／350μn．在设计上，这种坐标测量机采用了低重心及升降Y轴的铝材“半桥式”结构．同传统的桥式CMM相比，这种结构减轻了运动质量，降低了操作人员的疲劳程度．IMPCMM上可装配Reinshaw、Mondo及其它生产厂商提供的接触和非接触式测头．Vanguard是英国TTP公司推出的新型三坐标测量机．它采用了水平青式的设计结构，特别适用于大型工件的测量．除…     

一种新型的大型Discovery三坐标测量机

英国ＳｈｅｆｆｉｅｌｄＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ公司已生产出具有更大测量范围的Ｄ—２８型三坐标测量机．从而为其车间用型Ｄｉｓｃｏｖｅｒｙ系列坐标测量机产品增添了新的成员。Ｄ—２８型三坐标测量机在Ｘ、Ｙ和Ｚ轴向上的测量范围分别是７６０ｍｍ、１００００ｍｍ和６００ｍｍ,它为直接在生产现场测量大型的零部件提供了解决方案。这种新型的大型坐标测量机采用由单树脂复合铸件构成的龙门式结构,并使用了嵌入了钢筋的工作台。此外,Ｄ—２８型测量机还采用经淬火处理和磨削加工过的导轨来取代在坐标测量机中较为常用的空气轴承。一…     

便携式坐标测量系统在航空发动村关键部件检测中的应用

介绍了激光跟踪仪和关节臂坐标测量机在航空发动机关键部件检测中的应用,根据发动机部件的特点,对几类共性的检测问题提出了计量解决方案。     

领先一步的Scirocco型坐标测量机

领先一步的Ｓｃｉｒｏｃｃｏ型坐标测量机极高的结构刚度、高加速度率及快速的轴向运动，加上控制系统软件和高测量精度，使下一代面向市场的中型ＣＮＣ坐标测量机具有富有竞争性的价格／性能比。ＤＥＡ公司的Ｓｃｉｒｏｃｃｏ型坐标测量机可在加速度大于３．２ｍ／ｓ的情...     

便携式坐标测量系统在航空发动机关键部件检测中的应用

介绍了激光跟踪仪和关节臂坐标测量机在航空发动机关键部件检测中的应用,根据发动机部件的特点,对几类共性的检测问题提出了计量解决方案.     

新型坐标测量机

新型坐标测量机Ｓａｐｈｉｒ７和Ｓａｐｈｉｒ１０型坐标测量机是最新型的ＪｏｈａｎｎｓｏｎＳａｐｈｉｒ系列的三坐标测量机．首次在斯德哥尔摩技术交易会上展出时，Ｓａｐｈｉｒ系列测量机的标准型号不少于１０种，测量工件的体积从０１５～２ｍ３新型的三坐标测量机是...     

基于三坐标测量机的线结构光快速高精度点云采集方法

利用集成在三坐标测量机上的线结构光测头，提出一种针对单个工件的点云采集方法，建立了线结构光和三坐标测量机的几何坐标系转化模型，将激光测头的二维测量数据统一到三坐标测量机机器的三轴坐标上，转换为三维数据，实现点云采集。通过解决运动状态下的三轴坐标位置锁存与数据传输间的迟滞关系，实现高效采集激光-光栅数据对，得以在连续触发模式下进行快速点云采集。     

大型龙门坐标测量机的结构优化设计与仿真

为进一步提高大型龙门坐标测量机的综合性能，在对整机结构进行分析的基础上，对X轴导轨、横梁、立柱和气垫等关键零部件进行了机械结构的优化和创新性设计，并通过有限元法对新设计方案进行了应力、应变、屈曲等仿真分析，以对改进结构的强度和可靠性进行评估，降低质量风险。     

DEA坐标测量机改造

叙述了ＤＥＡ坐标测量机的改进，积累了对早期三坐标测量机维修改造的经验。