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合金薄膜高温压力传感器研究进展 总被引:2,自引:0,他引:2
合金薄膜压力传感器克服了粘贴式应变压力传感器的缺点,性能更优良,适应恶劣环境压力测量要求。对合金薄膜压力传感器的工作原理进行了介绍,比较了几种压力传感器的优缺点,并以应用温度范围这一指标为中心论述了镍铬、铂钨及钯铬薄膜压力传感器的性能特点及研究现状。镍铬薄膜传感器适用于中、低温介质压力测量,而铂钨、钯铬薄膜传感器适用于... 相似文献
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新型的CMOS集成硅膜压力传感器由一个含四个压阻元件的电桥电路,一个放大器和一个新设计的能抑制电源电压变化和温度漂移的激励电源电路组成。敏感元件用自准直双元硅门CMOS工艺技术制得。方形的硅膜片由异向腐蚀剂N_2H_4·H_2O经腐蚀加工而成。在0~70℃范围内,灵敏度和偏置电压的温度漂移量小于±0.5%。这些数据比常用的杂化技术制得的元件所达到的数值小。利用新设计的激励技术,当电源电压变化±10%时,灵敏的变化不超过±1.5%。 相似文献
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该文介绍硅压阻式压力传感器。利用多晶硅电阻元件补偿温度影响,该传感器工作范围广,有互换性,兼具多种优点。掺入硼杂质,调节温度系数和灵敏度等重要参量。硅片处理包括615℃时用LPCVD法形成多晶硅;两次掺硼;950℃氮中老化30分钟;湿法制作图案。给出特性参数。工作温度-30~+125℃,满刻度输出7.5mV/V。 相似文献
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随着航天技术不断发展,大推力运载火箭等精细化设计需求日益增加,飞行器高温工况结构及流场状态感知已成为当前研究的关键环节。基于法布里-珀罗干涉结构的光纤传感器在高温、高压、狭小空间等特殊环境展现出独特优势,被视为下一代高温原位测量工具。介绍了法布里-珀罗传感器的基本结构及原理,并分别从温度、应变和压力监测方面介绍了法布里-珀罗高温传感技术研究进展以及未来的发展趋势。基于石英光纤的法布里-珀罗传感器能够应用于1000°C以下环境,对于1000°C以上环境,需要以蓝宝石光纤作为敏感元件和传光介质。 相似文献
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有关压力传感器可靠性设计的若干问题 总被引:1,自引:0,他引:1
论述压力传感器的研制和应用中的经验教训。着重讨论从任务书要求,工程化设计,到生产过程有关压力信号特征、压力接口以及功能与结构相关性,功能与材料相关性等问题。 相似文献
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针对谐振器集成结构中压力和温度参量的非线性耦合问题,本文提出了一种改进的双腔室结构的声表面波温度压力复合传感器,开展了声表面波全石英压力传感器的设计与实验研究。本文基于有限元方法和微扰理论分析了石英基声表面波压力传感器的响应机理,利用耦合模理论优化设计了三谐振器型敏感元件,采用玻璃浆料键合实现了石英跨引线气密封装,实现了声表面波全石英压力传感器的制备。测试结果表明:所研制的声表面波全石英压力传感器在0 ℃~120 ℃工作温度范围内,压力量程为0~500 kPa,线性度为0.415% FS,压力灵敏度为-551 kHz/MPa,其灵敏度温度系数为-0.134%。该声表面波全石英压力传感器的研制为后续实现传感器的无线无源测量奠定了基础。 相似文献
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本文讨论分段斜率法、拟合直线法、从严估算法等三种误差估算方法,对温度影响作了修正。给出有关曲线和图样。建议按实际精度分类,否则,只按产品技术奈件的标称重复性估算误差,这是不利的。 相似文献
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低温传感器测量数据基于MATLAB的
处理与分析 总被引:1,自引:0,他引:1
文章介绍基于MATLAB的低温温度传感器测量数据的处理及分析方法,通过线性最小二乘法和无约束非线性优化法中的拟合模型工具对数据进行拟合,其中包括多项式、双曲线、幂函数、Steinhart-Hart经验公式等拟合模型工具,以低温温度传感器电阻与温度数据的曲线拟合为例,开展了各种模型的曲线拟合比较分析。最后通过剩余标准差和相关系数两项指标评价不同模型的拟合效果。 相似文献
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介绍了发动机试验水击压力测量的重要性,水击压力传感器进行现场校准方法研究的必要性.通过分析水击压力产生机理、水击压力传感器测量原理,以及对国内外动态校准系统比较分析,设计了水击压力传感器现场校准系统,提出水击压力传感器现场校准装置设计指标、工作方式,校准装置设计难点,同时介绍了现场校准系统的关键技术.并重点论述了水击压力传感器现场校准方法,对水击压力传感器现场试验数据和发动机试验数据进行了比对,分析了水击压力现场校准装置的设计可行性.最后利用校准装置进行了水击压力传感器现场校准试验,对现场校准数据进行计算分析,得到水击压力传感器灵敏度系数、系统校准曲线和上升时间等.还针对试验中水击压力测量干扰信号提出了抗干扰措施. 相似文献
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低气压温控设备用于模拟临近空间低气压和高低温环境,低气压环境的温度场控制是低气压温控设备的关键指标,也是设计难点。文章首先通过Fluent软件对无风扇扰动的低气压舱中的环境温度进行数值仿真,研究热沉开孔对舱内环境温度的影响;在低气压舱模型中增加风扇模型,分析强制换热对低气压舱内环境温度的影响。通过在低气压温控设备中进行的无强制对流的温度控制试验,研究此时空间温度的降温速率、试验舱压力和舱内试件工装对舱内环境温度的影响。数值计算和试验研究结果表明,热沉开孔、扰动风扇、试验舱压力和试件工装均对低气压舱内环境温度有影响,在低气压温控设备的研制中,需综合考虑上述因素。 相似文献
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智能传感的应用对柔性压力传感器的需求量和性能提出了更高的要求,因此,需要开发一种简单、廉价、可批量化的方法实现大范围、高灵敏压力传感器的制造。文章基于压阻效应,采用浸渍−干燥法制备了一种基于镀银碳纳米管−聚二甲基硅氧烷(Ag/CNTs-PDMS)复合结构的柔性压力传感器。研究表明,所制备的压力传感器具有较高的灵敏度(0.718 kPa-1)、较宽的工作范围(40 kPa)、较短的响应时间(1.14 s)以及良好的可重复性,有望用于在轨实时压力监测。 相似文献